Differentiating Plasma Regions Through the non-Linear Relationship between the Band-gap and the Deposition-rate of a-Si Thin Films (a-Si 막의 Band-gap과 Deposition-rate간의 비선형 거동을 통한 플라즈마 영역의 경계 규명)
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- 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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- 2010.06a
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- pp.72.1-72.1
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- 2010