• 한국콘텐츠학회논문지
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• 제16권7호
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• pp.689-699
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• 2016

LCD 수요 증가에 따라 LCD 생산 효율성 개선을 위한 검사장비의 중요성이 지속적으로 부각되고 있다. 패턴 검사기는 라인 스캔 카메라와 같은 광학 장비를 통해 미세한 패턴 결함을 빠른 속도로 검출하는 장비이다. 이러한 패턴 검사기는 실시간 검사를 위해 패턴 내에서 단일 기준값을 사용하여 픽셀 단위의 결함 여부를 판단하고 있다. 하지만 패턴 내 각 영역별 특징을 반영하여 서로 다른 기준값을 적용하는 적응적 이진화를 이용하는 경우 결함 검출 성능을 크게 향상시킬 수 있다. 이러한 적응적 이진화를 적용하기 위해서는 특정 검사 대상 픽셀이 어떠한 영역에 속하는지에 대한 정보를 필요로 한다. 이를 위해 본 논문에서는 각각의 검사 대상 픽셀이 어떠한 영역에 속하는지를 판단하는 영역 매칭 알고리즘을 제안한다. 제안된 알고리즘은 머신 비전의 실시간성을 고려한 패턴 정합에 기반을 둔 알고리즘으로 실제 시스템에 적용될 수 있도록 GPGPU를 이용하여 구현된다. 모의실험을 통해 제안된 방법이 실제 시스템이 요구하는 처리 속도를 만족시킬 수 있을 뿐만 아니라 결함 검출의 성능을 개선할 수 있음을 보인다.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2009년도 9th International Meeting on Information Display
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• pp.1383-1385
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• 2009

This paper suggests that testing method and equipment structure to detect potential failures of LCD cells. LCD Cell Aging Tester is the unique process to detect failures related with ASG circuits. This system consists of four components that is Aging chamber, work table, probe contact unit, and pattern generator. The key factor of the concept is temperature aging and HVS driving. Complicated combination of test parameters including voltage, temperature and frequency provided practical burn-in conditions eligible for prediction of mass production.

• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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• 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 추계학술대회 발표 논문집
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• pp.68-77
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• 2003

TFT-LCD 모니터 및 TV의 핵심부품인 TFT/Color Filter를 제조하는 공장라인에서 제품의 품질에 중요한 역할을 하는 것은 유리기판에 TFT와 Color Filter을 형성시키는 노광공정(Exposure)이다. 이러한 TFT/Color Filter를 생산하는 공정내에서 노광기는 핵심기술이므로 진동에 대하여 엄격하게 관리되어지고 있다. 그리고, TV 및 TFT-LCD 모니터의 크기가 큰 것을 사용자의 요구로 TFT/Color Filter 생산 공장은 세대가 거듭될수록 사용되어지는 유리기판의 크기도 따라서 커지고 있다. 이러한 유리기판의 크기 증가는 공정라인에서 진동에 더욱더 취약해지는 결과를 초래하므로 보다 엄격하게 진동관리가 필요하게 된다. 이에, 본 논문에서는 기존 세대인 1～5세대 TFT-LCD 공장 현장에서 노광기의 진동실태를 수집하여 파악하고 Maker에서 제시하는 자료와 비교/평가하고, 문제점을 확인한다. 이를 기초로 수정/보완되어야 할 사항을 검토하며, 차세대인 6∼7세대 노광기에 대한 진동저감 대책을 위한 시스템을 설계하는 절차서에 대한 예를 들었으며, 최적의 진동저감 대책에 대한 설계안의 방향을 제시하였다.

• 제어로봇시스템학회논문지
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• 제14권6호
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• pp.535-542
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• 2008

This paper presents a high efficiency half-bridge DC-DC converter for an LED backlight drive system of LCD module inspection equipment. The proposed converter improves the converter efficiency using characteristics of the asymmetrical half-bridge converter and the self-driven synchronous rectifier, and thus improves the total efficiency of the LED backlight drive system. The synchronous rectifier applied to the proposed converter is the new topological synchronous rectifier, which changes slightly the transformer structure and the synchronous switch connection in the asymmetrical half-bridge converter with a conventional self-driven synchronous rectifier. Since the proposed converter utilizes the transformer leakage inductor as its resonant inductor, its structure is simplified. The proposed converter well operates under the universal DC input voltage ($250{\sim}380V$). The operational principle and a design example for a 100W prototype are discussed in detail, respectively. Experimental results are shown for the designed prototype converter under universal DC input voltage.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7
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• pp.432-433
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• 2006

Electro-optical (EO) characteristics of twisted nematic (TN) - liquid crystal display (LCD) on the NDLC thin film using obliquely ion beam (IB) exposure as new ion beam (IB) type system (DuoPIGatrion ion source). A good uniform alignment of the nematic liquid crystal (NLC) alignment with the ion beam exposure on the NDLC thin film was observed. In addition, it can be achieved the good EO properties of the ion-beam-aligned TN-cell on polyimide surface ; the stable VT curve in the ion-beam-aligned TN cell on the NDLC thin film with ion beam exposure using new type IB equipment was obtained. and the fast response time in the ion-beam-aligned TN cell on the NDLC thin film with ion beam exposure using new type IB equipment was obtained.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2004년도 춘계학술대회논문집
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• pp.247-251
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• 2004

최근 정밀장비의 진동허용규제치 및 동강성허용규제치는 제작사가 사용자에게 반드시 제출해야 하는 하나의 사양으로 정착되고 있지만, 대부분 국내외의 장비 제작자가 제시하는 진동허용규제치는 부정확할 뿐만 아니라 통일된 양식을 갖추고 있지 못하고 있는 실정이다. 따라서, 본 연구에서는 장비제작사에서 제시하는 동하중에 의한 기준과 진동측정을 통한 평가 동하중에 따른 기준으로 노광기의 기초에서 진동허용규제치를 만족시키기 위한 건물의 요구 이너턴스를 평가하여 차세대 노광기에 대한 정량적인 동강성규제치를 제안하였다.

• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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• 한국반도체및디스플레이장비학회 2004년도 춘계학술대회 발표 논문집
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• pp.195-201
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• 2004

In design stage of high precision manufacture/inspect ion FAB building, it is necessary to investigate the vibration allowable limits of high precision equipment and to study a structure dynamic characteristics of C/R and Sub-structure in order to provide a structure vibration environment to satisfy thess allowable limits. The aim of this study is to investigate the dynamic characteristics of PC-Type mock-up structures designed for next TFT LCD FAB through vibration measurement and analysis procedure, therefore, to provide a proper dynamic structure design for high precision manufacture/inspection work process, which satisfy thess allowable limits.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2006년도 추계학술대회 논문집
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• pp.1-2
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• 2006

• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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• 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 춘계학술대회 발표 논문집
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• pp.116-119
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• 2003

본 연구에서는 LCD 공정에 사용되는 ball spacer를 전해 연마(Electro-Polishing, EP) 처리된 스테인리스(stainless)관 내부에서 마찰대전으로 하전시켜 하전량을 측정하는 하전 메커니즘과 하전 특성을 관찰하였다. Ball spacer의 농도를 일정하게 하고, 유입하는 공기의 유량을 201pm, 301pm으로 변화시키면서 실험하였다. 유입되는 공기의 유량은 일정하게 하여 ball spacer의 농도를 분진공급장치(dust feeder)를 통해 변화시키면서 하전수를 측정하였다. 이 때 측정결과는 EP 처리된 스테인리스관에 유입되는 공기의 유량이 증가했을 때, 하전이 더 많이 되는 것을 보여주었다. 또한 일정한 공기의 유량에서 주입되는 ball spacer의 농도가 증가했을 때 입자당 하전수가 증가하였다.

• 대한전자공학회논문지SD
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• 제46권6호
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• pp.31-38
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• 2009

휴대용 기기의 소비 전력을 낮추고 영상의 질을 개선하기 위해, 주변 밝기에 따라서 LCD 모듈의 백라이트를 조정하는 방법을 사용할 수 있다. 이를 효과적으로 구현하기 위해서 LCD 패널에 광 센서와 신호취득 회로를 집적하고자 했으며, LTPS TFT 공정을 이용하여 설계했다. 서로 다른 LCD 패널의 광 센서에 대한 특성 편차를 보정하기 위해 새로운 개념의 start-up 보정 방식을 제안하였다. 이와 더불어 광 전류 정보를 디지털 형태로 전달하기 위해 time-to-digital 방식을 사용하였으며, 이를 start-up 보정 방식과 효과적으로 결합하는 dual slope 보정 방법을 제안하였다. LTPS TFT 공정을 이용하여 최종적인 신호취득 회로를 구현하고자, 간단하고 안정적인 회로 구조와 타이밍을 제안하고 설계 및 검증을 진행했다. 설계한 신호취득 회로는 별도의 검사 설비 없이 광 센서 편차의 보정이 가능하며, 60dB 범위의 입력 광에 대해 10배수 구간 마다 4 단계의 디지털 데이터를 출력한다. 신호취득 속도는 100Hz이며, 디지털 변환의 선형 오차는 18% 미만이다.