Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference (한국소음진동공학회:학술대회논문집)

  • 2004.05a
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  • Pages.247-251
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  • 2004
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  • 1598-2548(pISSN)
The Korean Society for Noise and Vibration Engineering (한국소음진동공학회)
권호 표지

A Study on the Dynamic Stiffness Criteria of Exposure Equipment for next TFT-LCD Fab

차세대 TFT-LCD 노광기 기초의 구조물 동강성허용규제치 결정

  • 김강부 (알엠에스 테크놀러지(주)) ;
  • 박해동 (알엠에스 테크놀러지(주)) ;
  • 강현승 (알엠에스 테크놀러지(주)) ;
  • 이홍기 (알엠에스 테크놀러지(주))
  • Published : 2004.05.01
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Abstract

최근 정밀장비의 진동허용규제치 및 동강성허용규제치는 제작사가 사용자에게 반드시 제출해야 하는 하나의 사양으로 정착되고 있지만, 대부분 국내외의 장비 제작자가 제시하는 진동허용규제치는 부정확할 뿐만 아니라 통일된 양식을 갖추고 있지 못하고 있는 실정이다. 따라서, 본 연구에서는 장비제작사에서 제시하는 동하중에 의한 기준과 진동측정을 통한 평가 동하중에 따른 기준으로 노광기의 기초에서 진동허용규제치를 만족시키기 위한 건물의 요구 이너턴스를 평가하여 차세대 노광기에 대한 정량적인 동강성규제치를 제안하였다.

Keywords