Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Development of White Light Scanning Interferometry Autofocusing equipment for LCD part Inspection

LCD 부품 검사를 위한 백색광 주사 간섭계(White light Scanning Interferometry) autofocusing 장치 개발

  • Lee, S.H. (Dept. of Control & Measurement. Eng., Sunmoon Univ.) ;
  • Ko, K.W. (Dept. of Control & Measurement. Eng., Sunmoon Univ.) ;
  • Ko, K.C. (Dept. of Control & Measurement. Eng., Sunmoon Univ.) ;
  • Cho, S.Y. (Dept. of Control & Measurement. Eng., Sunmoon Univ.)
  • 이성훈 (선문대학교 제어계측공학과) ;
  • 고국원 (선문대학교 제어계측공학과) ;
  • 고경철 (선문대학교 제어계측공학과) ;
  • 조수용 (선문대학교 제어계측공학과)
  • Published : 2006.10.18
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