금속후 어닐링 방법이 Si-$SiO_2$ 계면 전하 농도에 미치는 영향
(Effect of Post-Metallization Anneal (PMA) on Interface Trap Density of Si-$SiO_2$ )
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- pp.157-158
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- 2007