고온에서 제조된 실리콘 주입 p채널 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기 특성 변화 연구 (A Study on Electric Characteristics of Silicon Implanted p Channel Polycrystalline Silicon Thin Film Transistors Fabricated on High Temperature)
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- 한국전기전자재료학회논문지
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- 제24권5호
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- pp.364-369
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- 2011