• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.1
• /
• pp.233-236
• /
• 2003

수소 가스발생을 위한 마이크로 수소 발생기 개발에서 MEMS 공정을 이용하여 기판에 반응 유로를 위해 HAR(High Aspect Ratio) 구조물을 형성하고 Ru(ruthenium) 박막을 증착하여 수소 발생량을 측정하였다. Pyrex glass 기판상에 sand blast 방법으로 반응 구조물을 만들었으며, 그 위에 sputter system을 이용하여 Ru 박막을 $5500{\AA}$었다. 수소 발생량은 촉매 박막이 증착된 기판 재질과 기판의 표면 상태 그리고 마이크로 수소 발생기에 두께로 증착하였다. 반응 구조물의 전체 크기가 가로 2.0 cm, 세로 2.0cm의 면적에서 약 12.3 ml/min의 수소가 측정되 형성한 구조물의 형상에 의존하였다. Pyrex glass 기판을 사용하여 HAR로 반응 구조물을 형성한 경우에 단위 면적당 Ru 박반응 막의 반응 표면적이 증가되어 기존에 구조물을 형성하지 않은 평면 기판에 비교하여 약 5.5배 이상의 수소 발생이 증가하였다.

• 응용통계연구
• /
• 제35권1호
• /
• pp.49-62
• /
• 2022

실현 변동성은 강한 종속성을 가짐이 잘 알려져 있으며, 글로벌 금융 시장과 유기적으로 연관이 되어 있을 뿐만 아니라 환율, 유가, 이자율 등의 거시적인 지표와도 밀접한 관계가 있다. 본 논문은 이러한 실현 변동성의 효과적인 예측을 위해서 오토인코더를 이용한 FAHAR (autoencoder factor-augmented heterogeneous autoregressive, AE-FAHAR) 모형을 제안한다. AE-FAHAR 모형은 강한 종속성을 HAR 구조로 반영하고, 외부 효과에 대한 영향을 오토인코더를 사용하여 몇 개의 요인으로 추출하여 이를 반영한다. 오토인코더는 비선형 방법으로 요인을 추정하기에 많은 계산 시간이 필요하지만 복잡하고 비정상성을 가질 수 있는 고차원 시계열 자료의 요약에 더 적합하다. 이는 곧 실증 자료 분석을 통해 AE-FAHAR 모형이 예측 오차를 줄임을 확인할 수 있었다. 또한 계산 시간을 줄이고 추정 오차를 줄이기 위해 오토인코더에 사전학습 및 앙상블을 적용하는 등의 방법에 대해서도 논의하였다.

• 대한기계학회논문집A
• /
• 제40권8호
• /
• pp.731-736
• /
• 2016

본 연구에서는 의용생체공학에 널리 사용되는 미소바늘과 같은 3차원 고종횡비 미소구조물을 용이하게 제작할 수 있는 하이브리드 자외선 노광법에 대해 기술한다. 하이브리드 자외선 노광법은 기존에 사용되고 있는 경사노광, 회전노광 및 역노광을 혼합한 방법으로, 경사 및 회전노광은 경사진 축대칭 형상을 가지는 3차원 미소구조물의 제작이 가능하도록 하고 역노광은 자외선 노광공정 중 필연적으로 발생하는 하부기판에서의 자외선 반사를 최소화 시킨다. 자체 개발한 자외선 노광시스템과 SU-8 음성감광제를 이용하여 하이브리드 자외선 노광법의 다양한 공정조건이 최종 제작된 3차원 고종횡비 미소구조물 형상(종횡비, 선단의 곡률반경 등)에 미치는 효과를 확인한다. 또한 SU-8의 소프트 베이킹(soft baking) 조건과 미소구조물 선단 형상 사이의 관계에 대해서도 논의한다.

• 한국재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국재료학회 2003년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
• /
• pp.69-69
• /
• 2003

최근 trench capacitor, isolation trench, micro-electromechanical system(MEMS), micro-opto-electromechanical system(MOEMS)등의 다양한 기술에 적용될 고종횡비(HAR) 실리콘 식각기술연구가 진행되어 지고 있다. 이는 기존의 습식식각시 발생하는 결정방향에 따른 식각률의 차이에 관한 문제와 standard reactive ion etching(RIE) 에서의 낮은 종횡비와 식각률에 기인한 문제점들을 개선하기 위해 고밀도 플라즈마를 이용한 건식식각 장비를 사용하여 고종횡비(depth/width), 높은 식각률을 가지는 이방성 트랜치 구조를 얻는 것이다. 초기에는 주로 HBr chemistry를 이용한 연구가 진행되었는데 이는 식각률이 낮고 많은양의 식각부산물이 챔버와 시편에 재증착되는 문제가 발생하였다. 또한 SF6 chemistry의 사용을 통해 식각률의 향상은 가져왔지만 화학적 식각에 기인한 local bowing과 같은 이방성 식각의 문제점들로 인해 최근까지 CHF3, C2F6, C4F8, CF4등의 첨가가스를 이용하여 측벽에 Polymer layer의 식각보호막을 형성시켜 이방성 구조를 얻는 multi_step 공정이 일반화 되었다. 이에 본 연구에서는 SF6 chemistry와 소량의 02/HBr의 첨가가스를 이용한 single_step 공정을 통해 공정의 간소화 및 식각 프로파일을 개선하여 최적의 HAR 실리콘 식각공정 조건을 확보하고자 하였다.

• 한국통신학회논문지
• /
• 제34권6C호
• /
• pp.619-625
• /
• 2009

이 논문은 ITU-T Recommendation J.83 Annex B에서 패킷 동기화와 에러 검출을 위해 사용된 패리티 체크섬 생성기의 병렬 구조를 제안한다. 제안된 병렬 처리 구조는 기존의 직렬 처리 구조에서 일어나는 병목현상을 제거하여 패리티 체크섬을 생성하는데 필요한 처리 시간을 상당히 줄여준다. 실험 결과는 제안된 병렬 처리 구조가 16%의 면적증가로 처리 속도를 83.1%나 줄일 수 있다는 것을 보여준다.

• 한국소성가공학회:학술대회논문집
• /
• 한국소성가공학회 2007년도 추계학술대회 논문집
• /
• pp.356-359
• /
• 2007

Continuing improvements in integrated circuit chip density and functionality have mostly contributed toward a very large-scale integrated circuit(VLSI) and display device. In order to test (pass or fail) all of the high integrated semiconductor chip and display device, fine pitch probes are used. Fine pitch probes are manufactured by electroforming process of a Ni alloy in an electrolytic bath. In this paper, we expect that the electric field in bath with the Finite Element Method and applying the FEM result. So, we can obtained the probes that have high aspect ratio of 10 : 1

• 대한기계학회:학술대회논문집
• /
• 대한기계학회 2004년도 춘계학술대회
• /
• pp.497-502
• /
• 2004

This paper presents applications of the objective stress rates to stress update algorithms for transient shell dynamic analysis within the context of explicit time integration. The hypo elasto-plastic materials are assumed in establishing constitutive equations. The derivation of the objective stress rates are investigated by use of the Lie derivative. Comparison results are given between the Kirchhoff and Cauchy stress formulation. The Jacobian determination algorithm proposed in this paper is presented in association with the Belytschko-Lin-Tsay shell theory. Several numerical examples are demonstrated including contact and non-contact examples, by which proposed algorithms are compared with respect to the accuracy and effectiveness.

• 대한기계학회논문집A
• /
• 제30권10호
• /
• pp.1314-1319
• /
• 2006

This paper describes the novel fabrication method of the high-aspect-ratio nano structure which is impossible by conventional method using a shadow mask and a Deep X-ray Lithography (DXRL). The shadow mask with $1{\mu}m-sized$ apertures is fabricated on the silicon membrane using a conventional UV-lithography. The size of aperture is reduced to 200nm by accumulated low stress silicon nitride using a LPCVD (low pressure chemical vapor deposition) process. The X-ray mask is fabricated by depositing absorber layer (Au, $3{\mu}m$) on the back side of nano shadow mask. The thickness of an absorber layer must deposit dozens micrometers to obtain contrast more than 100 for a conventional DXRL process. The thickness of $3{\mu}m-absorber$ layer can get sufficient contrast using a central beam stop method, blocking high energy X-rays. The nano circle and nano line, 200nm in diameter in width, respectively, were demonstrated 700nm in height with a negative photoresist of SU-8.

• 한국콘텐츠학회논문지
• /
• 제12권2호
• /
• pp.182-195
• /
• 2012

사진은 다양한 목적으로 활용되지만 특히 설득의 도구로 큰 역할을 한다. 사진은 실제를 재현하는 매체라는 독특한 특성 때문에 비교적 설득이 용이하다. 본 논문은 의사 결정에 있어 중요한 역할을 하는 감성을 사진이라는 매체에 대입하여 설득의 역할을 강화하는데 그 목적이 있다. 이를 위해 사진 이미지의 감성구조를 파악하여 긍정적인 감성을 유발하는 요인을 구체적으로 도출하고자 하였다. 특히 사진 이미지의 감성을 구성하는 여러 가지 요인들에 내포적 의미를 부여하고 다양한 요인에 대해 우선순위를 정하여 서열화하는 연구를 수행하여 연구 결과에 대한 실질적인 활용도를 높일 수 있도록 하였다. 사진의 감성은 다양한 원인에 따라 다르게 인지되는데, 사진을 촬영한 대상과 사진을 구성하고 있는 구체적인 화질 속성의 영향이 크다. 따라서 본 논문에서는 다양한 촬영 대상과 화질 속성을 갖는 이미지를 실험 자극으로 활용하여 보다 범용적이고 구체적인 결과를 얻을 수 있도록 하였다.

• 대한기계학회논문집A
• /
• 제29권10호
• /
• pp.1407-1415
• /
• 2005

Strength change of an over-aged A12024 material was studied after being subjected to stages of severe plastic deformation by ECAP (Equal Channel Angular Pressing). Various kinds of strength value were measured using the conventional tensile test, Rockwell and Vickers hardness and the SP (small punch) test Due to limitation of the specimen size, tension test in transverse direction could not be conducted. Hence, SP test was employed for assessing the strength in transverse direction. Based on TEM observation the measured strength characteristics were explained based on the relation between microstructure, dislocation and strength. As the number of ECAP pass increases, the strength of A12024 was also increased. However, considerable change of strength, which is generally predicted, was not observed in this study. For the strength in transverse direction even decrease of the strength was observed after 6 passes of ECAP. It was argued that this decrease was due to dynamic recovery of dislocation density during or after ECAP processes at $150^{\circ}C$. The strength assessment equation proposed by the authors in the previous paper was shown to be very accurate. This argument was supported by comparing the results of conventional tensile test with those of SP test. It was also pointed that the Rockwell har(3ness value seemed to be able to represent the strength in the transverse direction.