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잉곳의 방향성 응고를 위한 주조 로 개발 (Development of Casting Furnace for Directional Solidification Ingot)

  • 주진영;이승준;백하니;오훈;조현섭;이충훈
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제13권2호
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    • pp.808-816
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    • 2012
  • 본 논문은 열 해석 시뮬레이션과 주조로의 구조 변경을 통한 실리콘 잉곳의 방향성 응고에 대한 연구이다. 열 해석 시뮬레이션에 의한 결과, 용융은 유지 시간이 80분일 때 실리콘이 전체적으로 고르게 용융 온도에 도달하였고 냉각은 상부 냉각 온도가 $1,400^{\circ}C$와 60분 냉각 시 가장 좋은 결과 값을 나타내었다. 제작된 웨이퍼가 기존의 상용웨이퍼보다 결정립계에서의 에칭이 훨씬 적게 이루어졌다. FTIR 측정결과 산소와 탄소 모두 모두 임계값 이하의 불순물로 존재함을 확인하였다. NAA 분석 결과 총 18가지 금속 불순물이 검출 되었지만, 농도 분포는 같은 위치에서 위와 아래의 차이는 크게 나지 않고, 어떤 특정한 위치에서 한쪽으로 집중되거나 어떤 경향성 없이 전체의 샘플의 모든 부분에서 농도가 거의 일정하게 분포를 나타냈다.

종자결정을 활용한 다결정 규소 잉곳 내의 구조적 결함 규명 (Structural defects in the multicrystalline silicon ingot grown with the seed at the bottom of crucible)

  • 이아영;김영관
    • 한국결정성장학회지
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    • 제24권5호
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    • pp.190-195
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    • 2014
  • 방향성 응고법으로 잉곳을 성장시킬 때 발생하는 온도 구배에 의해 잉곳 내에 결함이 생성되고 잔류 응력이 남게 된다. 이 결함과 잔류 응력은 잉곳의 성장 조건에 따라 달라지며, 웨이퍼의 특성에 큰 영향을 미칠 수 있다. 성장 속도의 변화에 상관 없이 대부분의 잉곳에서는 하부 영역에 비해 상부 영역에서 결정립과 쌍정경계의 크기가 작았으며, 결정립계뿐만 아니라 결정립 내에도 전위 밀도가 높았다. 이것은 상부 영역에서 성장 중에 받는 열 응력이 하부 영역보다 크다는 것을 암시한다. 두 잉곳 간의 차이를 보았을 때에는 성장 속도가 느린 잉곳에서 전위 밀도가 감소하였으며, 웨이퍼의 평탄도, 뒤틀림, 휨, 절단자국이 낮게 측정되었다. 따라서 다결정 성장 공정에서는 냉각 속도가 결함이나 잔류 응력의 발생에 미치는 영향이 크며, 그로 인하여 웨이퍼의 특성이 달라지는 것을 알 수 있었다.

$91PbO-9WO_3$가 과잉첨가된 $40Pb(Mg_{1/3}Nb_{2/3})O_3-30PbTiO_3-30Pb(Mg_{1/2}W_{1/2})O}3$계 세라믹스의 미세구조와 유전특성 (Microstructure and Dielectric Properties in $40Pb(Mg_{1/3}Nb_{2/3})O_3-30PbTiO_3-30Pb(Mg_{1/2}W_{1/2})O}3$ Ceramics with Excess $91PbO-9WO_3$ Addition)

  • 길영배;이응상
    • 한국세라믹학회지
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    • 제34권3호
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    • pp.281-288
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    • 1997
  • 유전율이 높고 온도안정성이 우수하다고 알려져 있는 40Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-30PbTiO3-30Pb(Mg1/2W1/2)O3계 세라믹스에 소결온도를 낮추기 위하여 저온에서 액상을 형성하는 91PbO-9WO3를 과잉첨가하여 소결성, 미세구조 및 유전성의 변화에 대하여 조사하였다. 91PbO-9WO3의 첨가량이 증가함에 따라 소결온도가 저하하였으며 6 mol%첨가시는 875$^{\circ}C$에서 소결이 가능하였다. 유전율은 기본조성에서 16,400이었고, 첨가제가 1 mol% 과잉첨가된 경우 18,500으로 최대값을 나타냈으며 이후 첨가량이 증가함에 따라 감소하였다. 첨가제의 첨가량이 2~4mol%인 시편의 온도에 따른 유전율 변화곡선에서 double peak maxima가 나타났으나, 첨가량이 5 mol% 이상인 시편에서는 입계에 텅스텐을 많이 포함하고 있는 결정상이 생성되었고 double peak maxima는 나타나지 않았다.

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분류유동이 있는 채널 난류유동의 LES 해석 (LES for Turbulent Channel Flow with Blowing Velocity)

  • 나양;이창진
    • 한국항공우주학회지
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    • 제35권8호
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    • pp.699-705
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    • 2007
  • 최근의 실험 결과를 통해 하이브리드 로켓 연료의 표면에 연소가 진행되지 않은 채 남아있는 고립된 부분들이 존재함을 확인하였다. 이러한 불규칙적인 spot은 연료의 기화로 인한 분출유동(blowing velocity)과 산화제의 유동 사이에서 발생하는 경계층 교란에 의한 현상인 것으로 여겨진다. 본 연구에서는 22,500의 높은 Reynolds수와 벽면분출 현상을 효과적으로 처리할 수 있도록 LES 기법을 이용하여, 연료 표면 근처의 난류 유동 및 열전달 특성을 해석하였다. 비록 원형 그레인 아닌 단순채널 형상을 고려하였으며 화학반응이 없는 경우의 난류유동을 해석하였으나, 연료 표면에서 발생하는 불규칙한 spot의 발생은 경계층과 분출되는 유동이 상호 간섭함으로써 난류구조들의 기구학적 특성을 변경시키기 때문인 것으로 추측되는 결과들을 얻을 수 있었다.

용융상태에서의 silicon과 carbon의 반응에 관한 연구 (A study on th reaction between silicon in melt and carbon)

  • M.J. Lee;B.J. Kim;S.M. Kang;J.K. Choi;B.S. Jeon;Keun Ho Orr
    • 한국결정성장학회지
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    • 제4권4호
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    • pp.336-346
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    • 1994
  • 용융 silicon과 carbon 입자가 어떠한 반응관계를 나타내는가를 알아보기 위하여 sili-con만으로 된 powder와 silicon에 carbon을 0.2wt%의 비율로 혼합한 powder와 silicon에 carbon을 0.2wt%의 비율로 혼합한 powder를 silicon의 용융점 이사의 고온인 $1450^{\circ}C, 1550^{\circ}C, 1650^{\circ}C, 1700^{\circ}C$에서 각각 1시간, 4시간을 유지시킨 다음 quenching시켜 각각의 조건에 따른 반응의 정도 및 상의 분포와 morphology의 분석을 통해 melt sili-con의 morphology 변화,carbon이 함유된 silicon의 조건에 따른 물성변화 및 SiC의 형성여부를 조사하기 위하여 광학현미경과 SEM, XRD등을 이용하여 시편의 미세구조 및 결정화 양상을 관찰하였다. 용융점 이상의 온도에서 quartz는 연화하여 분해반응을 일으켜 산소를 내놓고 이것이 silicon과 결합하여 SiO로써 기체상태로 휘발하게 되어 silicon melt에 산소침투로 인항 표면결함을 형성하며, liquid silicon속에 용융되어 있던 carbonrhk 불순물로써 grain boundary를 따라 존재 하고 있는 미반응의 carbon이 용융상태 silicon과 반응하여 SiC를 형성한다. SiC 결정은 고화계 면에서 발생하게 되며 생성되는 결정은 ${\alpha}-SiC$이었다.

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Laser 용접한 스테인리스강의 용접부위의 부식특성에 관한 평가 (Evaluation of Corrosion Property of Welding Zone of Stainless Steel by Laser Welding)

  • 문경만;원종필;박동현;김윤해;이명훈;김진경
    • 한국해양공학회지
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    • 제26권4호
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    • pp.64-69
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    • 2012
  • Laser welding was carried out on austenitic 304 (STS 304) and 22 APU stainless steels. In this case, the differences between the corrosion characteristics of the welding zones of the two stainless steels were investigated using electrochemical methods. The Vickers hardness values of the weld metal (WM) zones in both cases, the STS 304 and 22 APU stainless steels, showed relatively higher values than those of other welding zones. The corrosion current densities of the heat affected zone (HAZ) of the 22 APU and the base metal (BM) zone of the STS 304 exhibited the highest values compared to the other welding zones. It is generally accepted that when STS 304 stainless steel is welded using a general welding method, intergranular corrosion is often observed at the grain boundary because of its chromium depletion area. However, when laser welding was performed on both the STS 304 and 22 APU stainless steels, no intergranular corrosion was observed at any of the welding zones. Consequently, it is considered that the intergranular corrosion of stainless steel can be controlled with the application of laser welding.

저온 공정 PVP게이트 절연체를 이용한 고성능 플렉서블 유기박막 트랜지스터의 계면처리 효과 (Interface Treatment Effect of High Performance Flexible Organic Thin Film Transistor (OTFT) Using PVP Gate Dielectric in Low Temperature)

  • 윤호진;백규하;신홍식;이가원;이희덕;도이미
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제24권1호
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    • pp.12-16
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    • 2011
  • In this study, we fabricated the flexible pentacene TFTs with the polymer gate dielectric and contact printing method by using the silver nano particle ink as a source/drain material on plastic substrate. In this experiment, to lower the cross-linking temperature of the PVP gate dielectric, UV-Ozone treatment has been used and the process temperature is lowered to $90^{\circ}C$ and the surface is optimized by various treatment to improve device characteristics. We tried various surface treatments; $O_2$ Plasma, hexamethyl-disilazane (HMDS) and octadecyltrichlorosilane (OTS) treatment methods of gate dielectric/semiconductor interface, which reduces trap states such as -OH group and grain boundary in order to improve the OTFTs properties. The optimized OTFT shows the device performance with field effect mobility, on/off current ratio, and the sub-threshold slope were extracted as $0.63cm^2 V^{-1}s^{-1}$, $1.7{\times}10^{-6}$, and of 0.75 V/decade, respectively.

Magneto-transport Properties of La0.7Sr0.3Mn1+dO3-Manganese Oxide Composites Prepared by Liquid Phase Sintering

  • Kim, Hyo-Jin;You, Jae-Hyoung;Choi, Soon-Mi;Yoo, Sang-Im
    • Journal of Magnetics
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    • 제19권3호
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    • pp.221-226
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    • 2014
  • Significantly enhanced low-field magnetoresistance (LFMR) and maximum dMR/dH {$(dMR/dH)_{max}$} values were successfully achieved from $La_{0.7}Sr_{0.3}MnO_3$(LSMO)-manganese oxide composite samples prepared by liquid phase sintering, compared with those of the same composites prepared by solid state reaction. For this study, pure LSMO and LSMO-manganese oxide composites with various nominal compositions of (1-x)LSMO-$xMn_2O_3$ (x = 0.1, 0.2, 0.3, 0.4, and 0.8) were sintered at $1450^{\circ}C$, above the eutectic temperature of $1430^{\circ}C$, for 1 h in air. The highest LFMR value of 1.28% with the highest $(dMR/dH)_{max}$ value of 21.1% $kOe^{-1}$ was obtained from the composite sample with x = 0.3 at 290 K in 500 Oe. This enhancement of LFMR and $(dMR/dH)_{max}$ values is ascribed to efficient suppression of magnetic disorder at the LSMO grain boundary, by forming a characteristic LSMO-manganese eutectic structure.

용강 및 슬래그에 의한 지르코니아/흑연계 침지노즐의 침식기구 (Corrosion mechanism of zirconia/graphite SEN by molten steel and slag)

  • 선우식;김환;이종국
    • 한국결정성장학회지
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    • 제10권3호
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    • pp.226-232
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    • 2000
  • 침지노즐(SEN)의 재료로 사용되는 지르코니아/흑연 재질에서 용강 및 슬래그에 의한 침식의 형태를 살펴본 결과, 침식의 첫번째 기구는 부분안정화 지르코니아 내 안정화제인 CaO가 용강 및 슬래그에 의해 용해되면서 입방정 안정화 지르코니아가 단사정상으로 상전이하여 일어났는데, 상전이 시 부피팽창에 의한 균열이 발생하고 파괴가 진행되었고, 이로 인하여 미세 $ZrO_2$입자의 용해 및 탈락이 촉진되었다. 침식의 두 번째 기구는 슬래그가 큰 c-$ZrO_2$입자의 입계를 따라 침투하여 작은 입자들로 분리시키고, 작은 입자들이 용강과 슬래그에 탈락되어 진행되었다. 마지막 기구로는 입방정 지르코니아와 흑연이 반응하여 다공질의 미세한 ZrC 상을 형성하고, 이들이 slag에 용해되면서 침식이 진행되었다.

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발열 위치에 따른 잉곳의 방향성 응고 평가 (Estimation of Directional Solidification Ingot with Heating Position)

  • 전호익;조현섭
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제14권4호
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    • pp.1915-1920
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    • 2013
  • 본 논문은 열 해석 시뮬레이션과 주조로의 구조 변경을 통한 실리콘 잉곳의 방향성 응고에 대한 연구이다. 열 해석 시뮬레이션에 의한 결과, 용융은 유지 시간이 80분일 때 실리콘이 전체적으로 고르게 용융 온도에 도달하였고 냉각은 상부 냉각 온도가 $1,400^{\circ}C$와 60분 냉각 시 가장 좋은 결과 값을 나타내었다. 제작된 웨이퍼가 기존의 상용 웨이퍼보다 결정립계에서의 에칭이 훨씬 적게 이루어졌다. FTIR 측정결과 산소와 탄소 모두 모두 임계값 이하의 불순물로 존재함을 확인하였다. NAA 분석 결과 총 18가지 금속 불순물이 검출 되었지만, 농도 분포는 같은 위치에서 위와 아래의 차이는 크게 나지 않고, 어떤 특정한 위치에서 한쪽으로 집중되거나 어떤 경향성 없이 전체의 샘플의 모든 부분에서 농도가 거의 일정하게 분포를 나타냈다.