• 제목/요약/키워드: GeO$_2$

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$Si/In/CeO_2/Si$ 박막의 Indium 분포와 photoluminescence

  • 문병식;양지훈;김종걸;박종윤
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.104-104
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    • 1999
  • Cerium dioxide 박막의 포토루미네슨에 관해서는 Cerium 4f band에서 oxygen 2p band로의 transition에 의한 발광(400nm) 현상이 보고되었다. 또한 Indium Oxide 박막의 발광(637nm0 현상이 보고되었다. 본 연구에서는 3족인 Indium을 Si/In/CeO2/Si 구조와 CeO2/Si 구조에 도핑하여 포토루미네슨스 현상을 관찰하였다. E-beam evaporator를 사용하여 Silicon(111) 기판에 Cerium dioxcide 박막을 성장시킨 경우의 두가지 시료를 분석하였다. 포토루미네슨스 관찰을 위해서 Ge-Cd laser (325nm)가 사용되었으며 Indium의 도핑양과 분포 상태를 알기 위해 SIMS와 ADP를 이용하여 분석하였다. Indium양에 대한 포토루미네슨스 변화와 열처리 후의 indium의 분포의 변화에 의한 포토루미네슨스 변화를 관찰하였다. 상온에서 In/CeO2/Si 시료와 Si/In/CeO2/Si 시료에 대한 포토루미네슨스 현상을 관찰한 결과 Si/In/CeO2/Si 시료에서만 500nm(2.5eV)에서 발광 현상이 관찰되었다. 도핑된 indium은 ADP에서는 검출되지 않고 SIMS에서만 검출되어 ADP의 detection range(1-0.1%) 이하의 양이 도핑된 것으로 추측된다. 도핑된 Indium의 양이 증가할수록 포토루미네슨스의 Intensity가 증가하였다. 또한 열처리(110$0^{\circ}C$, 1min) 후 포토루미네슨스의 peak위치가 390nm(3.18eV)로 변화하였다. Si/In/CeO2/Si에서 포토루미네슨스 현상이 관측되고 Intensity가 indium의 양에 의존하므로 완전하지 못한 Cerium dioxide의 CeOx 구조와 indium과의 결합이 포토루미네슨스의 원인으로 추측된다. 열처리 후 SIMS의 분석결과 indium의 분포가 변화하였으며 이는 포토루미네슨스의 변화의 원인으로 판단된다.

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The Study on the Precursor Adsorption using in-situ Nanoparticle-assisted Attenuated Total Reflectance Infrared Spectroscopy

  • Shin, Jae-Soo;Park, Myung-Su;Jung, Won-Jun;Park, Hee-Jung;Yun, Ju-Young;Kim, TaeWan;Kang, Sang-Woo
    • Applied Science and Convergence Technology
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    • 제24권4호
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    • pp.90-95
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    • 2015
  • The adsorption behavior of tris (dimethylamino)-cyclopentadienyl-zirconium (Cp-Zr) precursor using an in-situ attenuated total reflectance-Fourier transform infrared spectroscopy (ATR-FT-IR) was studied. In attempt to improve the detection intensity of an adsorbed precursor, nanoparticles were uniformly distributed on the Ge ATR crystal surface employing the spray method. The absorption characteristics studies were carried out over the Ge crystal temperature in the range of $30{\sim}50^{\circ}C$. Upon increasing the temperature, a reduction of absorption was observed. Based on the peak intensities of ATR-FT-IR spectroscopy, higher-$ZrO_2$ absorption efficiency occurs when the nano-particles are utilized compared to pure Ge crystal.

전계 유도 방향성 결정화법을 이용한 Sil-xGex 박막의 결정화 (Crystallization of Sil-xGex Films Using Field Aided Lateral Crystallization Method)

  • 조기택;최덕균
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2003년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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    • pp.73-73
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    • 2003
  • 최근 LCD(liquid crystal display)분야에서 고해상도와 빠른 응답속도를 가지는 다결정 실리콘 박막트랜지스터에 대한 연구를 하고 있다. 그러나, poly-Si은 poly-Sil-xGex에 비해 intrinsic carrier mobility가 낮고 고온의 결정화 공정을 필요로 한다. 따라서, Poly-Si을 대체할 재료로 poly-SiGe에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 전계에 의해 결정화가 가속되고 한쪽 방향으로 결정화를 제어하여 채널내 전자나 정공의 이동도를 향상시 킬 수 있는 새로운 결정화 방법인 전계 유도 방향성 결정화법을 이용하여 Ge 함량에 따른 a-Sil-xGex(0$\leq$x$\leq$0.5)의 결정화 특성을 연구하였다. 대기압 화학 기상 증착법으로 5000$\AA$의 산화막(SiO$_2$)이 증착된 유리 기판상에 플라즈마 화학 기상 증착법을 이용하여 800$\AA$의 비정질 실리콘을 증착한 후 RF magnetron sputtering법을 이용하여 Ge 함량에 따른 Sil-xGex 박막을 1000$\AA$ 증착하였다. Photolithograph방법을 이용하여 금속이 선택적으로 증착될 수 있는 특정 Pattern을 가진 mask를 형성한 후 금속을 DC magnetron sputtering법을 이용하여 상온에서 50$\AA$.을 증착하였다. 이후 시편에 전계를 인가하기 위해 시편의 양단에 전극을 형성한 후 DC Power Supply를 통해 전압을 제어하는 방식으로 전계를 인가하였다. 결정화 속도는 광학현미경을 이용하여 분석하였으며 결정화된 영역의 결정화 정도는 micro-Raman spectroscopy로 분석하였다.

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홍삼(紅蔘).포도(葡萄) 병용투여가 면역반응에 미치는 영향 (Effects of the Combined-administration of Ginseng Radix Rubra and Vitis Fructus on Immune Response)

  • 박훈;이경아;전용근;임재윤;신태용;소준노;안문생;권진;은재순
    • 동의생리병리학회지
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    • 제20권2호
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    • pp.420-427
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    • 2006
  • Immunological activities of the combined-administration of Ginseng Radix Rubra and Vitis Fructus were examined in C57BL/6 mice. Ginseng Radix Rubra and Vitis Fructus were extracted with distilled water or 40% ethyl alcohol. Ginseng Radix Rubra water extracts (GW), the mixture (1:1) of Ginseng Radix Rubra and Vitis Fructus water extracts [GVW(1:1)], the mixture (1:3) of Ginseng Radix Rubra and Vitis Fructus water extracts [GVW(1:3)], 40% ethyl alcohol extracts of Ginseng Radix Rubra (GE), the mixture (1:1) of Ginseng Radix Rubra and Vitis Fructus 40% ethyl alcohol extracts [GVE(1:1)] and the mixture (1:3) of Ginseng Radix Rubra and Vitis Fructus 40% ethyl alcohol extracts [GVE(1:3)] were administered p.o. once a day for 7 days, respectively. GVW(1:1) and GVW(1:3) decreased the viability of thymocytes increased by GW, but GVE(1:1) and GVE(1:3) increased the viability of thymocytes decreased by GE. GVW(1:1) and GVW(1:3) increased the viability of splenocytes decreased by GW or GE. Also, GVW(1:1) and GVE(1:1) enhanced the population of helper T cell in thymocytes, and GVE(1:1) and GVE(1:3) decreased the population of cytotoxic T cells increased by GE. Furthermore, GVW(1:1), GVW(1:3), GVE(1:1) and GVE(1:3) enhanced the population of $B220^+$ cells decreased by GW or GE, and decreased the population of $Thyl^+$ cells increased by GW or GE, and decreased the population of splenic $CD4^+$ cells increased by GW or GE. In addition, GVW(1:1) and GVW(1:3) decreased the phagocytic activity and the production of nitric oxide in peritoneal macrophages increased by GW, but GVE(1:1) and GVE(1:3) enhanced the phagocytic activity and the production of nitric oxide in peritoneal macrophages decreased by GE. These results suggest that Vitis Fructus has an regulative action on immune response of Ginseng Radix Rubra.

PREFERRED ORIENTATION AND MICROSTRUCTURE OF MOD DERIVED SrBi$_{2x}$Ta$_2$O$_9$ THIN FILMS WITH Bi CONTENT x

  • Yeon, Dae-Joong;Park, Joo-Dong;Oh, Tae-Sung
    • 한국표면공학회지
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    • 제29권6호
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    • pp.621-627
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    • 1996
  • $SrBi_{2x}TaO_9$ ferroelectric thin films were prepared on platinized silicon substrates using MOD proces, and crystallization behavior of the films was investigated with variation of the annealing temperature and Bi content x. Crystalline phase of bismuth layered perovskite structure was formed even by baking the films at $800^{\circ}C$ for 5 minutes in air, and was not changed by annealing at temperatures raning from $700^{\circ}C$ to $900^{\circ}C$ for 1 hour in oxygen ambient. When $SrBi_{2x}TaO_9$ thin films ($0.8\lex\ie1.6$) were annealed at $800^{\circ}C$, Preferred orientation of the films along c-axis was observed with $x\ge1.2$. With increasing Bi content x, surface morphology of the films was changed from equiaxed grains to elongated grains.

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Mn-V2O5/TiO2 촉매의 NH3에 의한 NO의 저온 선택적 촉매환원 (Low-Temperature Selective Catalytic Reduction of No with NH3 over Mn-V2O5/TiO2)

  • 최상기;최성우
    • 한국환경과학회지
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    • 제15권4호
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    • pp.333-340
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    • 2006
  • A (5 wt.%)Mn-(1 wt.%)$V_{2}O_{5}/TiO_{2}$ catalyst were prepared by co-precipitation method and used for low-temperature selective catalytic reduction (SCR) of $NO_x$ with ammonia in the presence of oxygen. The properties of the catalysts were studied by X-ray diffraction (XRD), temperature programmed reduction (TPR) and scanning electron microscope-energy dispersive X-ray spectroscopy (SEM-EDS). The experimental results showed that (5 wt.%)Mn-(1 wt.%)$V_{2}O_{5}/TiO_{2}$ catalyst yielded 81% NO conversion at temperature as low as $150^{\circ}C$ and a space velocity of $2,400\;h^{-1}$. Crystalline phase of $Mn_{2}O_3$ was present at ${\ge}\;15%$ Mn on $V_{2}O_{5}/TiO_{2}$. XRD confirmed the presence of manganese oxide ($Mn_{2}O_{3}$) at $2{\theta}=32.978^{\circ}(222)$. The XRD patterns presented of (5 wt.%)Mn-(1 wt.%)$V_{2}O_{5}/TiO_{2}$ did not show intense or sharp peaks for manganese oxides and vanadia oxides. The TPR profiles of (5 wt.%)Mn-(1 wt.%)$V_{2}O_{5}/TiO_{2}$ catalyst showed main reduction peat of a maximum at $595^{\circ}C$.

Structure and Magnetic Properties of Cr2O3/CrO2 Nanoparticles Prepared by Reactive Laser Ablation and Oxidation under High Pressure of Oxygen

  • Si, P.Z.;Wang, X.L.;Xiao, X.F.;Chen, H.J.;Liu, X.Y.;Jiang, L.;Liu, J.J.;Jiao, Z.W.;Ge, H.L.
    • Journal of Magnetics
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    • 제20권3호
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    • pp.211-214
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    • 2015
  • $Cr_2O_3$ nanoparticles were prepared via one-step reactive laser ablation of Cr in oxygen. The metastable $CrO_2$ phase was obtained through the subsequent oxidation of $Cr_2O_3$ nanoparticles under $O_2$ with gas pressures of up to 40 MPa. The as-prepared $Cr_2O_3$ nanoparticles are spherical or rectangular in shape with sizes ranging from 20 nm to 50 nm. High oxygen pressure annealing is effective in producing meta-stable $CrO_2$ from as-dried $Cr_2O_3$ nanoparticles, and the $Cr_2O_3$ nanoparticles exhibit a weak ferromagnetic behavior with an exchange bias of up to 11 mT that can be ascribed to the interfacial exchange coupling between uncompensated surface spins and the antiferromagnetic core. The $Cr_2O_3/CrO_2$ nanoparticles exhibit an enhanced saturation magnetization and a reduced exchange bias with an increasing faction of $CrO_2$ due to the elimination of uncompensated surface spins over the $Cr_2O_3$ nanoparticles when exposed to a high pressure of $O_2$ and/or possible phase segregation that results in a smaller grain size for both $Cr_2O_3$ and $CrO_2$.

Analysis of residual thermal stress in an aluminosilicate core and silica cladding optical fiber preform

  • Shin, Woo-Jin;K. Oh
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2000년도 제11회 정기총회 및 00년 동계학술발표회 논문집
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    • pp.214-215
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    • 2000
  • As silica based optical fibers and preforms are processed at a high temperature, residual stresses are bulit in the strucure when cooled down to the room temperature. The magnitude of the residual stress depends on the difference in the thermal expansion coefficients between core and cladding glass as well as on the temperature difference. Residual stress distribution determines the intrinsic strength and could affect the long term reliability of optical fibers. And furthermore, stress can introduces anisotropy into optical fibers by photoelastic effects. The analysis of thermal stress has been intensively studied for multimode fibers$^{(1)}$ and the authors and co-wokers recently reported the stress distribution in a depressed inner cladding structure$^{(2)}$ . The compositions of the glass in the previous studies, however, have been restricted to conventional glass formers, such as GeO2, B2O3, P2O5, Fluorine. (omitted)

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Co-interlayer와 $SiO_2$ 상부막의 유무에 따른 Nickel Germanosilicide의 열안정성 연구

  • 조유정;한길진;오순영;김용진;이원재;이희덕;김영철
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 춘계 학술대회
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    • pp.215-218
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    • 2005
  • Co-interlayer와 $SiO_2$ 상부막이 nickel germanosilicide 박막의 열안정성에 미치는 영향을 연구하였다. Nickel germanosilicide는 SiGe 기판 위에 Ni(8nm)/TiN(25nm), Ni(6m)/Co(2nm)/TiN(25nm)을 증착하여 각각 one step RIP($500^{\circ}C$)와 two step RTP(500. $700^{\circ}C$)로 형성되었다. 50과 10nm 두께의 $SiO_2$ 박막을 실리사이드 위에 증착하고, 550, 600, $650^{\circ}C$에서 30분간 열처리한 후 면저항 값을 측정하여 열안정성을 평가하였다.

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한국산 가느잎말이나방족(나비목, 잎말이나방과)의 분류 (Korean Species of the Tribe Cochylini(Lepidoptera, Tortricidae))

  • 변봉규;박규택;이범영
    • Animal Systematics, Evolution and Diversity
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    • 제12권1호
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    • pp.1-15
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    • 1996
  • 한국산 가는잎말이나방족의 분류학적 연구를 위해 전국적으로 채집을 실시하였으며 현재까지 채집되어 곤충계통분류연구센터와 농업과학기술원 등에 소장되어 있는 전표본을 검경하였다. 그 결과 8속 26종이 확인되었으며 이중 7종은 한국미기록종들이었다. 또한 가는 잎말이나방족내에서 가장 큰 Phalonidia속은 최근 9미기록종을 포함하여 15종으로 정리, 발 표된바 있어 본고에서는 제외하였다. 금번에 Phalonidia속을 제외하고 종합적으로 정리된 26 종 중 우리나라 미기록종인 7종의 암수생식기를 도해하고 각 종의 특징을 간략히 기술하였 으며 그 목록은 다음과 같다. 1. Aethes citreoflavus Kuznetsov 회백색가는잎말이나방(신 칭) 2. Cochylidia heydeniana(Herrich-Sch$\ddot{a}$ ffer) 망초가는잎말이나방(신칭) 3. Cochylidia moguntiana(R$\ddot{o}$sler) 쑥가는잎말이나방(신칭) 4. Eupoecilia angustana(H$\ddot{u}$bner) 미역취가는잎 말이나방(신칭) 5. Eupoecilia kobeana Razowski 인동가는잎말이나방(신칭) 6. Pseudargyrotoza calvicaput(Walsingham) 쥐똥나무가는잎말이나방(신칭) 7. Stenodes cuspidatus Ge 꼬마백색가는잎말이나방(신칭)

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