ALD법으로 성장시킨 $Al_2$ O$_3$ 박막의 특성분석
(Characteristic Analysis of $Al_2$ O$_3$ Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition)
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- 대한전자공학회:학술대회논문집
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- 대한전자공학회 2001년도 하계종합학술대회 논문집(2)
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- pp.185-188
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- 2001