A Study on Emission Characteristics of Ar Gas Using a Single Langmuir Probe Method in Radio-Frequency Inductively Coupled Plasma (13.56MHz ICP에서 단일 탐침법에 의한 Ar 가스의 발광특성 연구)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 한국전기전자재료학회 2004년도 추계학술대회 논문집 Vol.17
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- pp.611-615
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- 2004