한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.2
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- Pages.1111-1114
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- 2003
Langmuir Probe를 이용한 유도결합형 플라즈마의 전자 밀도 측정
Electron Density Measurement of Inductively Coupled Plasma Using Langmuir Probe
- 이영환 (원광대학교 전기 전자 및 정보 공학부) ;
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조주웅
(원광대학교 전기 전자 및 정보 공학부) ;
- 김광수 (원광대학교 전기 전자 및 정보 공학부) ;
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박대희
(원광대학교 전기 전자 및 정보 공학부)
- Lee, Young-Hwan (School of Electrical Electronic and Information Engineering, Wonkwang Univ.) ;
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Jo, Ju-Ung
(School of Electrical Electronic and Information Engineering, Wonkwang Univ.) ;
- Kim, Kwang-Soo (School of Electrical Electronic and Information Engineering, Wonkwang Univ.) ;
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Park, Dae-Hee
(School of Electrical Electronic and Information Engineering, Wonkwang Univ.)
- 발행 : 2003.07.10
초록
In this paper, electrical characteristics of inductively coupled plasma in an electrodeless fluorescent lamp were investigated using a Langmuir probe with a variation of argon gas pressure. The RF output was applied in the range of