Electron Density Measurement of Inductively Coupled Plasma by Ar Gas Pressure |
이영환
(원광대 전자재료공학과)
김광수 (원광대 전자재료공학과) 조주웅 (원광대 전자재료공학과) 박대희 (원광대 전기전자 및 정보공학부) |
1 | 林泉, 'フラマ 工學', 朝倉書店, 1987 |
2 | 堤井信力, 'フラマ 基礎工學', 內田考鶴圃, 1986 |
3 | 박철웅, '플라즈마 온도 측정에 관한 연구', 석사학위 논문, 서울대학교, 1987 |
4 | 엄무수, '음극 재질에 따른 직류 플라즈마 시스템의 글로우 방전 특성 및 진단에 관한 연구', 박사학위 논문, 울산대학교, 1996 |
5 | 추장희 외, '무전극 황 방전등에서 고압 이 원자 황의 자체 역전 효과', 대한 전기학회지, 49C권 11호, 2000 과학기술학회마을 |
6 | 김영철 외, 'Argon 유도 결합 플라즈마의 광학적, 전기적 특성에 관한 연구', 대한 물리학회, Vol.39, No.3, 1996 과학기술학회마을 |
7 | I. Langmuir and H.M. Mort-Smith, Gen Elec. Rev., 27, 1924 |
8 | I. Weaver, G.W. Martin, W.G. Graham, T. Morrow and C.L.S. Lewis, 'The Langmuir probe as diagnostic of the electron component within low temperature laser ablated plasma plums', Rev. Sci. Instrum., Vol.70, No.3, pp. 1801-1805, 1999 DOI ScienceOn |