Responses and Modal Analyses of Micro Double Cantilever Beams Interacted by Elctrostatic Forces (정전기력을 받는 마이크로 이중 외팔 보의 응답 및 모드 해석)
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- Transactions of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering
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- v.15 no.2 s.95
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- pp.199-205
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- 2005