• 제목/요약/키워드: Dry/wet technique

검색결과 96건 처리시간 0.019초

결정립 식각 기술을 이용한 다결정 실리콘 부착 방지 구조 (Polysilicon anti-sticking structure by grain etching technique)

  • 이영주;박명규;전국진
    • 전자공학회논문지D
    • /
    • 제35D권2호
    • /
    • pp.60-69
    • /
    • 1998
  • Polysilicon surface mdoification tecnique is developed to reduce the sticking of microstructures fabricated by micromachining. Modified anti-sticking grain holes are simply formed by two-step dry eth without additional photolithography nor deposition of thin films. Both process-induced sticking and in-use sticking are successfully reduced more than two times by adopting grain holed polysilicon substrate. A sticking model for cantilever beam is derived. This model includes bending moment stems from stress gradient along the thickness directionof structural polysilicon. Because the surface tension of rinse liquid and the surface energy of the solids to be stuk tend to decrease in recently developed anti-sticking techniques, the effect of stress gradient will play an important role to analyze the sticking phenomena. Effect of the temperature during post-release rinse and dry is modelled and verified experimentally. Based on developed anti-sticking polysilicon structure and the sticking model, sticking of microstructure, fabricated by simple wet process including sacrificial layer etch and rinse with deionized water without special equimpment for post-release rinse and dry was alleviated more than 3.5 times.

  • PDF

A Novel Technoque for Characterization of Membranes

  • Webber, Ronald;Jena, Akshaya;Gupta, Krishna
    • 한국막학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국막학회 2001년도 제14회 심포지엄 : 제2회 분리막 표준화(The 2nd Standardization of Membranes)
    • /
    • pp.39-50
    • /
    • 2001
  • The performance of membranes is governed their pore struture. Pore structures of porous materials can be determined by a number of techniques. However, The novel technique, capillary folw porometry has a number of advantages. In this technique, the sample is brought in contact with a liquid that fills the pores in the membrane spontaneously. Gas under pressure is used to force the liquid from the pores and increase gas flow. Gas flow rate measured as a function of gas pressure in wet and dry samples yield data on the largest pore size, the mean flow pore size, flow distribution and permeability. Pore characteristics of a number of membranes were measured using this technique. This technique did not require the use of any toxic material and the pressure employed was low. Capillary flow porometry is a suitable technique for measurement of the pore structure of many membranes.

  • PDF

공간적(空間的) 확률구조(確率構造)를 고려(考慮)한 일강수량(日降水量)의 모의발생(模擬發生)에 관한 연구(硏究) (A Study on the Simulation of Daily Precipitation Considering Spatial Probability Characteristics)

  • 이재준;이원환
    • 대한토목학회논문집
    • /
    • 제6권3호
    • /
    • pp.31-42
    • /
    • 1986
  • 본(本) 연구(硏究)는 장래(將來) 예상(豫想)되는 유역내(流域內)의 수자원(水資源) 수요문제(需要問題)에 대처(對處)하여 수자원(水資源)의 기초(基礎)가 되는 강수(降水)를 공간적(空間的)으로 모의발생(模擬發生)(Simulation)하기 위한 모델을 개발(開發)한 것으로서, 유역(流域)의 중심(中心) 관측소(觀測所)인 기간관측소(基幹觀測所)와 그 주변의 준기간(準基幹) 관측소간(觀測所間)의 강수현상(降水現像)에 대(對)한 공간적(空間的) 확률구조(確率構造)로부터 준기간(準基幹) 관측소(觀測所)의 강수계열(降水系列)를 모의발생(模擬發生)하였다. 섬진강 유역(流域)을 대상(對象)으로 기간(基幹) 관측소(觀測所)로는 하동(河東)을 택(擇)하고 준기간(準基幹) 관측소(觀測所)로는 임실, 보성, 순창, 동복, 구례를 택(擇)하여 강수(降水)의 공간적(空間的) 모의발생(模擬發生) 모델을 검토(檢討)하였으며 얻어진 성과(成果)를 요약(要約)하면 다음과 같다. 1) 강수상태(降水狀態)의 공간적(空間的) 분리(分離)는 강수상태별(降水狀態別)(강수(降水)-강수계(降水系), 무강수(無降水)-강수계(降水系), 강수(降水)-무강수계(無降水系), 무강수(無降水)-무강수계(無降水系)) 발생확률(發生確率)이 안정(安定)된 값을 보여 공간적(空間的) 모의발생시(模擬發生時) 유효(有効)한 방법(方法)임을 알았다. 2) 기간(基幹) 관측소(觀測所)의 일강수계열(日降水系列)로부터 모의발생(模擬發生)한 준기간(準基幹) 관측소(觀測所)의 일강수계열(日降水系列)은 연평균(年平均) 강수량(降水量)의 경우(境遇) 관측치(觀測値)와 비슷한 결과(結果)를 보였으나, 하계(夏季)의 강수량(降水量)은 약간(若干) 과소(過少)하게 나타났다. 3) 준기간(準基幹) 관측소(觀測所)의 월강수량(月降水量)에 대한 Correlogram과 Power Spectrum은 관측표본(觀測標本)과 잘 맞고 있어 주기성(周期性)의 재현(再現)은 충분(充分)한 것으로 생각된다.

  • PDF

격자 기반의 물리적 분포형 모형을 이용한 댐 유입량 모의 (Simulation of dam inflow using a square grid and physically based distributed model)

  • 최윤석;최시중
    • 한국수자원학회논문집
    • /
    • 제57권4호
    • /
    • pp.289-300
    • /
    • 2024
  • 본 연구의 목적은 물리적 분포형 유출 모형인 GRM (Grid based rainfall-Runoff Model)을 이용하여 댐 유입량을 모의함으로써 연속형 모의에 대한 GRM 모형의 적용성을 평가하는 것이다. GRM 모형은 기존에 강우-유출 사상의 모의를 위해서 개발되었으나, 최근에 연속형 모의가 가능하도록 개선되었다. 대상 유역은 충주댐 유역, 안동댐 유역, 용담댐 유역, 섬진강댐 유역이며, 500 m × 500 m의 공간 해상도로 유출 모형을 구축하였다. 모의 기간은 21년(2001년~2021년)이다. 모의결과의 평가는 17년 기간(2005년~2021년)에 대해서 수행하였으며, 17년 전체 자료(total duration), 풍수기(6월~9월, wet season), 갈수기(10월~5월, dry season)의 3개 자료 기간으로 구분하고, 각 댐의 관측된 일유입량과 비교하였다. 모의결과의 적합도 평가는 Nash-Sutcliffe efficiency 계수(NSE), Kling-Gupta efficiency 계수(KGE), 상관계수(CC), 총용적 오차(VE)를 사용하였다. 모의된 댐 유입량의 평가결과 total duration과 wet season에서 관측자료를 잘 재현할 수 있었으며, dry season에서도 저유량 자료의 불확실성을 고려할 때 양호한 모의결과를 나타내었다. 연구결과 GRM 모형의 연속형 모의기법은 적절히 구현된 것으로 판단되었으며, 본 연구의 댐 유입량 모의에 충분히 적용성이 있는 것으로 나타났다.

Optimization of Reverse Engineering Processes for Cu Interconnected Devices

  • Koh, Jin Won;Yang, Jun Mo;Lee, Hyung Gyoo;Park, Keun Hyung
    • Transactions on Electrical and Electronic Materials
    • /
    • 제14권6호
    • /
    • pp.304-307
    • /
    • 2013
  • Reverse engineering of semiconductor devices utilizes delayering processes, in order to identify how the interconnection lines are stacked over transistor gates. Cu metal has been used in recent fabrication technologies, and de-processes becomes more difficult with the shrinking device dimensions. In this article, reverse engineering technologies to reveal the Cu interconnection lines and Cu via-plugs embedded in dielectric layers are investigated. Stacked dielectric layers are removed by $CF_4$ plasma etching, then the exposed planar Cu metal lines and via-plugs are selectively delineated by wet chemical solution, instead of the commonly used plasma-based dry etch. As a result, we have been successful in extracting the layouts of multiple layers within a system IC, and this technique can be applicable to other logic IC, analog IC, and CMOS IC, etc.

DP 가공조건이 면직물의 역학적 성질과 태에 미치는 영향 (Effect of DP Finishing Conditions on the Mechanical Properties and Hand of Cotton Fabrics)

  • 신윤숙
    • 한국의류학회지
    • /
    • 제24권3호
    • /
    • pp.440-447
    • /
    • 2000
  • The effects of DP finishing conditions including process technique and finishing agent on the mechanical properties and hand of cotton fabrics were investigated. 100% cotton fabrics were treated with NMA/DMDHEU and NMA/YF using wet-fixation and steam-fixation process. For comparison, conventional pad-dry-cure process was used with DMDHEU. After DP finishing, tensile and compressional resilience increased and bending hysteresis decreased, resulting in the improvement of dimensional stability of cotton fabric. WF and SF process rendered fabrics better shear properties, tensile energy, and compressional linearity and energy than PDC process. However, SF process produced fabrics with higher geometrical roughness than WF process. After DP finishing, primary hand values except Koshi increased, resulting in the increase of total hand value of cotton fabric.

  • PDF

엑사이머 레이저를 이용한 웨이퍼 크리닝에 관한 고찰 (The Study on Wafer Cleaning Using Excimer Laser)

  • 윤경구;김재구;이성국;최두선;신보성;황경현;정재경
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국정밀공학회 2000년도 춘계학술대회 논문집
    • /
    • pp.743-746
    • /
    • 2000
  • The removal of contaminants of silicon wafers has been investigated by various methods. Laser cleaning is the new dry cleaning technique to replace wafer wet cleaning in the near future. A dry laser cleaning uses inert gas jet to remove contaminant particles lifted off by the action of a KrF excimer laser. A laser cleaning model is developed to simulate the cleaning process and analyze the influence of contaminant particles and experimental parameters on laser cleaning efficiency. The model demonstrates that various types of submicrometer-sized particles from the front sides of silicon wafer can be efficiently removed by laser cleaning. The laser cleaning is explained by a particle adhesion model. including van der Waals forces and hydrogen bonding, and a particle removal model involving rapid thermal expansion of the substrate due to the thermoelastic effect. In addition, the experiment of wafer laser cleaning using KrF excimer laser was conducted to remove various contaminant particles.

  • PDF

외기와 면하는 욕실 내측벽에 압출 발포폴리스티렌 패널을 사용한 단열시공기술에 관한 연구 (A Study of Thermal insulation method using extruded and expanded Poly-ethylene panel contacted to the bathroom inner wall facing on the outside)

  • 이종진;오창원;여승의
    • 한국건축시공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국건축시공학회 2005년도 추계 학술논문 발표대회
    • /
    • pp.11-16
    • /
    • 2005
  • This study is for the insulation construction of inner wall in a bathroom facing on the outside in the housings. This new dry construction method can be constructed by a dry panel which is bonded tiles on the extruded and expanded poly-ethylene panel in stead of the existing wet construction method. Compared to the existing method, this panel is light movably and is constructed simply. These representative construction merits are getting wide span in a bath due to reducing wall thickness and saving construction period.

  • PDF

비교원성 단백질이 상아질 접착제의 결합강도와 교원질의 형태에 미치는 영향 (THE EFFECT OF THE REMOVAL OF CHONDROITIN SULFATE ON BOND STRENGTH OF DENTIN ADHESIVES AND COLLAGEN ARCHITECTURE)

  • 김종률;박상진;최기운;최경규
    • Restorative Dentistry and Endodontics
    • /
    • 제35권3호
    • /
    • pp.211-221
    • /
    • 2010
  • 본 연구는 상아질의 비교원성 단백질을 chondroitinase ABC (C-ABC)를 이용하여 제거함으로써 비교원성 단백질의 제거가 상아질 접착제의 미세인장결합강도와 교원질망의 형태에 미치는 영향을 상아질의 다양한 습윤상태에 따라 평가하고자 시행하였다. 비교원성 단백질의 상아질접착제의 미세인장강도에 대한 영향을 평가하기 위해 제 3대구치의 상아질을 노출시키고, 두 군으로 나누고 한 군은 C-ABC, 다른 군은 증류수를 $37^{\circ}C$에서 48시간 동안 적용한 후, 상아질의 습윤상태(wet, dry 및 re-wet)와 상아질 접착제(Single Bond 2, One Step Plus)를 다르게 이용하여 복합레진을 수복하였다. 24시간 후 가로 1 mm, 세로 1mm의 시편을 제작하고 미세인장강도를 측정하였다. 상아질 교원질의 형태변화를 관찰하기 위하여 상아질 시편에 산부식을 시행하고 C-ABC 적용 후, 시편을 제작하였고 미세인장강도 측정후 파괴된 접착면의 파괴양상과 각 접착제의 접착계면 관찰을 위하여 FE-SEM 관찰하였다. C-ABC 처리여부와 관계없이 습윤한 상아질면에 접착한 군은 모든 접착제에서 통계학적으로 유의성있는 미세인장결합강도의 차이를 나타나지 않았다(p > 0.05). C-ABC를 적용하였을 경우, Single Bond 2에서는 재수화한 상아질면에 접착한 군이 습윤한 상아질면에 접착한 군에 비해 미세인장결합강도가 감소하였다(p < 0.05). FE-SEM 관찰결과, C-ABC를 적용후에는 접착성 파괴가 주로 일어났으며, 교원질 섬유간 거리가 증가하였으며 부분적으로 교원질 섬유들간에 응집된 양상이 관찰되었다.

Fat Harvest Using a Closed-Suction Drain

  • Amin, Kavit;Zakeri, Roxana;Mallucci, Patrick
    • Archives of Plastic Surgery
    • /
    • 제43권3호
    • /
    • pp.288-290
    • /
    • 2016
  • We propose a safe, simple, and novel method to harvest fat using a standard liposuction cannula and a Redivac or alternative closed-suction drain. The authors have used this technique for both 'dry' and 'wet' liposuction. This technique is both easy to perform and cost-effective whilst providing both a silent and relatively atraumatic fat harvest. The lower negative pressure compared with traditional harvesting systems likely preserves fat integrity for lipofilling. This method maximises resources already held within a hospital environment.