Electron beam lithography is one of the importnat technologies which can delineate deep submicron patterns. REcently, electron beam lithography is being applied in delineating the critical layers of semiconductor device fabrication. In this paper, we present a development simulation program for electron beam lithography and study the development profiles of resist when resist is exposed by the electron beam. Experimentally, the development parameter of positive and negative resists are measured and the data is applied to input parameter of the simulation program. Also simulation results are compared of the process results in the view of resist profiles. As a result, for PMMA and SAL 601 resist, the trend of simulation to the values of process parameters agree with real process results very well, so that the process results can be predicted by the simulation.
Parallel and distributed simulation is concerned with the efficient execution of large-scale discrete event simulation models on multiprocessors and distributed platforms. After the development of WWW, many efforts in the parallel and distributed simulation have been made for modeling, particularly building simulation languages and creating model libraries that can be assembled and executed over WWW. However, web-based parallel and distributed simulation is restricted by heterogeneous computing environments. Recently, the advent of XML and web services technology has made these efforts enter upon a new phase. Especially, the web services as a distributed information technology have demonstrated powerful capabilities for scalable interoperation of heterogeneous systems. This paper aims to develop and evaluate the parallel and distributed simulation using the web services technology. In particular, a prototype multi-pass simulation framework is implemented using Java-based web services technology. It focuses on the efficiency of multi-pass simulation used for optimization through the distribution of simulation replication to several simulation service providers. The development of parallel and distributed simulation using web services will help solve efficiently large-scale problems and also guarantee interoperability among heterogeneous networked systems.
저탄소 녹색성장의 시대를 맞아 철도 교통의 중요성이 강조되고 있다. 하지만 차량기지 시뮬레이션에 대한 연구는 부족한편이다. 본 논문은 경량전철(LRT:Light Rail Transit) 차량기지에 대한 동적 시뮬레이터 개발에 관한 논문이다. 시뮬레이션툴에 대한 요구사항 분석, 시뮬레이션 툴 아키텍처, 데이터베이스 설계, 시뮬레이션 알고리즘, 시뮬레이션 툴 설계 및 개발에 대해 설명하고 있다. 경량전철 차량기지 동적 시뮬레이터는 선로정보, 열차정보, 신호 및 분기기 정보, 열차작업정보, 역사정보 등을 편집하는 네트워크 편집기와 열차주행 알고리즘을 연산하는 시뮬레이터, 시뮬레이션 결과를 표 및 그래프로 조회하는 리포터와 시뮬레이션 결과를 동적으로 애니메이션을 통해 확인할 수 있는 애니메이터의 4가지 모듈로 구성되어 있다. 경량전철 차량기지 동적 시뮬레이터에 대한 구조 및 설계, 개발에 대한 전반적인 내용을 다룬 본 연구는 시뮬레이터를 새로 개발하는 경우 좋은 참고자료로 활용될 수 있을 것으로 보인다.
국방 M&S 분야에서 모의 기반 획득 방법이 필수적인 정책으로 인식되면서 획득 단계별 M&S 적용을 위한 협업이 필요해지고 M&S 컴포넌트를 쉽게 개발하고 공유하기 위한 공통 기반환경의 구축이 필요하게 되었다. 이를 위하여 본 연구에서는 모델 개발 재사용성 향상을 위한 형식론 기반의 시뮬레이션 프레임워크와 신속 개발을 위한 GUI 기반 모델링 환경을 제안한다. 제안하는 프레임워크는 플러그인 기반으로 동작하며 XML 기반 객체 모델을 바탕으로 하고 있기 때문에 모델의 개발과 변경에 대해 유연한 설계를 할 수 있으며 외부체계 연동, 모델 데이터 로깅과 같은 시뮬레이션 지원 기능을 구현하는데 효과적이다. 본 논문에서는 이러한 프레임워크 및 모델링 개발 도구의 구조와 기능 요소들에 대해 설명한다.
The purpose of this study is making Proto-type development of BIM based Architectural Construction Simulation System. This study suggest a new schedule access method for overcoming limitation of current Simulation Program focused on visualization. The method made from analysis of current Simulation Program. This program is based on Visual Basic .Net language.
A real time simulation is an effective tool for use in design, performance evaluation, and testing of the vehicle dynamic system. An alternate approach is to use a computer system designed specifically to provide an integrated simulation environment in which all aspects of hardware-in-the-loop simulation task have been taken into account.
Park, Jin-Hyoung;Kim, Hongtae;Lee, Dongkon;Lee, Jong-Gap;Park, Beom-Jin
한국시뮬레이션학회:학술대회논문집
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한국시뮬레이션학회 2001년도 The Seoul International Simulation Conference
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pp.444-449
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2001
There have been many accidents of passenger ships on the sea and they have caused a big loss of human lives. Maritime Safety Committee(MSC) of International Maritime Organization(IMO) made evacuation analysis of Ro-Ro passenger ships mandatory in order to save as many lives as possible at the time of accident. But this is a temporary regulation and HSC/IMO ties to introduce a performance-based regulation to improve the effect of regulation. Simulation-based evacuation analysis is the basis of performance-based regulation. In this paper, we performed a simulation-based evacuation analysis on a passenger ship, which is usually used in the plying between land and islands in Korea, with EXODUS system. Through inspecting the results from this analysis in more detail, we can make a proposal to improve the safety of passenger ship. Finally we describe the features of IMEX(Intelligent Model for Extrication Simulation), a new evacuation model being developed in KRISO.
본 논문은 과학 및 공학에서 폭넓게 연구되고 있는 다규모 모사(multiscale simulation; MSS)에 대하여 간단하게 그 현황을 살펴본 후, 이러한 MSS를 공정개발에 효과적으로 적용하기 위하여 공정개발을 위한 PD-MSS (MSS for process development)를 제시한다. 4단계로 제시된 PD-MSS는 PLS(공정수준모사), FLS(유체수준모사), mFLS(미세유체수준모사), 그리고 MLS(분자수준모사) 로 구성된다. 각 규모의 특징과 주요 기법들, 그리고 이들 4개 규모 간 연관성을 설명한다. PD-MSS의 예로서 흡수탑, 유동층 반응기, 그리고 흡착공정의 모사가 소개된다. 성공적인 다규모 모사(MSS)를 위하여 다규모적 화학공학 문제들에 대한 이해, 각 규모 및 규모간 자연현상을 표현할 수 있는 모델 개발, 수학적 모델을 전산상에서 구현할 수 있도록 하는 소프트웨어 개발, 그리고 계산을 수행하는 하드웨어에서의 조화로운 발전이 필요하다. 다규모 모사는 모사결과의 정확도(accuracy), 컴퓨터의 계산능력(computation capacity), 그리고 효율성(efficiency)을 제한 조건으로 주어진 문제에 접근해야 할 것이다. 거시적 규모와 미시적 규모는 상대적으로 잘 정리되어 있지만, 이들 사이인 중간규모(mesoscale) 에서의 모델은 병목현상을 보이고 있다. 따라서 물리적 현상을 신뢰성 있고, 정확하게 예측하기 위하여 중간규모에 대한 많은 연구가 요구된다. 시작단계에 불과한 PD-MSS는 공정개발에 있어서 시간과 비용을 절감할 수 있는 지속 가능한 기술로서 자리잡게 될 것이다.
During the assembly and function inspection of missile system, flight simulation process is required. In the conventional flight simulation check of missiles, an inertial navigation system simulator was used to transmit the navigation output data acquired in HILS. There are several disadvantages in terms of check configuration complexity and data synchronization when using the simulator. So we proposed a new flight simulation method that utilizes the nonvolatile built-in memory of the aviation control unit. The data processing procedure and operation procedure of the proposed method for type I and type II missiles are presented. And we analyzed the causes of the difference between proposed method result and the HILS result for type II missile. By comparing the results obtained by the experiments using the proposed method with the results of HILS, the validity of proposed method was confirmed.
Since traditional derivative-based optimization for noisy simulation shows bad performance, evolutionary algorithms are considered as substitutes. Especially in case when outputs are binary, more simulation trials are needed to get near-optimal solution since the outputs are discrete and have high and heterogeneous variance. In this paper, we propose a genetic algorithm called SARAGA which adopts dynamic resampling and fitness approximation using surrogate. SARAGA reduces unnecessary numbers of expensive simulations to estimate success probabilities estimated from binary simulation outputs. SARAGA allocates number of samples to each solution dynamically and sometimes approximates the fitness without additional expensive experiments. Experimental results show that this novel approach is effective and proper hyper parameter choice of surrogate and resampling can improve the performance of algorithm.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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