• Superconductivity and Cryogenics
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• v.14 no.2
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• pp.7-12
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• 2012

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.19 no.3
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• pp.169-176
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• 2010

Cryopumps can provide economical profits with a relatively high pumping speed per size. However, it is somewhat doubtful that pumping performance of cryopums, which is very sensitive to the temperature of the adsorption panel, can be maintained or recovered fast for large continuous or impulsive gas loads. The official evaluation items indicating cryopump performance for gas loads are the maximum throughput and the crossover value. There are two other, unofficial but widely used, items, the Ar recovery time and gulp characteristics. Although these evaluation items look absolutely different with each other, there are close relations and even duplications in their test schemes. Therefore, it is necessary to study how to improve practically each test procedure, and combine or unify some procedures.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2009.08a
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• pp.315-315
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• 2009

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.50-50
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• 2000

당사는 1970년 제우스 콤 상사로부터 출발하여 1988년 12우러 주식회사 제우스로 법인 전환한 후 현재 한국반도체 산업협회 및 회원으로 등록 활동하고 있다. 이번 발표에서는 회사에 대한 소개와 함께 취급품목을 설명하고자 한다. 취급품목은 Ion beam sources(CSC), E-beam evaporator & E-beam source(Temescal), Residual Gas Analyzer(SPECTRA), Cryopump & Waterpump(CTI-Cryogenics), Thickness Monitor & Controller, Electrical Feedthrough, RTP system, Thin Film Analyzer, PECVD, RIE 등이다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.101-101
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• 2012

본 논문은 현재 제품화 단계로 진행 중인 터보 분자펌프(turbo-molecular pump, TMP)와 극저온 펌프(cryopump)의 고장 방지 및 예지 보수를 위한 상태 진단 시스템에 대하여 소개를 한다. 본 상태 진단 시스템은 고진공 펌프들의 다중 상태변수 즉 흡/배기부의 진공 압력, 부위별 온도, 소비 전류(혹은 전력), 그리고 부위별 진동 신호들을 실시간으로 측정하는 상태변수 수집장치, 수집된 시계열 상태변수들이 저장된 database, 그리고 저장된 상태변수를 이용한 고진공펌프의 상태진단 프로그램으로 구성되어 있다. 금번 연구에서 구축한 상태변수 체계의 특징 중 하나는 진동신호를 상태변수로 측정하여 이를 상태진단에 활용하는 점이 기존의 접근방법과 상이한 점이다. 실시간 신호 수집장치는 NI사 PXI 시스템 기반의 16채널 24-bit 동시 전압신호 측정 모듈, 8부위의 온도 측정장치(Lakeshore 218S, RS-232C 통신), 그리고 펌프의 소비전류/전력 측정장치(Hioki 3169, RS-232C), 그리고 고진공 펌프의 흡입 및 배기구의 진공도 측정장치로 구성하였다. 신호 수집용 프로그램은 NI사 Labview를 이용하여 작성하였다. 본 장치는 Nano-Fab 센터의 협조 하에 turbo-molecular 펌프와 cryopump측정 단에 각각 1대를 설치 완료하였으며 현재까지 운용 중이다. PC에 저장된 시계열 상태변수 database는 기 개발된 적응형 인자모델을 이용한 매개변수로 변환되며, 상태진단은 변환된 매개변수를 이용하여 수행할 예정이다.

• Progress in Superconductivity and Cryogenics
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• v.12 no.2
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• pp.29-33
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• 2010

The experimental results of the 2 stage Gifford-McMahon(GM) type pulse tube refrigerator (PTR) or cryopump are presented in this paper. The objectives of his study are to develop design technology of the integral type 2 stage PTR which rotary valve is directly connected to he hot end of the regenerator and acquire its improved performance. Design of the 2 stage PTR is conducted by FZKPTR(Forschungs Zentrum Karlsruhe Pulse Tube Refrigerator) program for the design of pulse tube refrigerators. The fabricated PTR has U-type configuration and incorporates orifice valve, double-inlet valve and reservoir as phase control mechanism. Rotary valve is used to make pulsating pressure and is directly connected to inlet of $1^{st}$ stage regenerator. From experiments, cooling performance map and pressure waveform at each point were measured for different operating frequencies. Experimental results show the best cooling performance with 2 Hz operation in spite of small pressure amplitude. The lowest temperatures of the 2 stage PTR were 16.9 K at the second stage and 58.0 K at the first stage. The cooling capacities achieved were 14.4 W at 79 K, the first stage and 3.6 W at 29 K, the second stage.

• Progress in Superconductivity and Cryogenics
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• v.9 no.2
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• pp.35-38
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• 2007

A single-stage and two-stage pulse tube refrigerators have been designed for cryopump application. The different diameters of pulse tube and regenerator have been investigated at single-stage pulse tube refrigerator(PTR). Experiments have been performed on single-stage PTR to reach minimum temperature with optimum valve opening at a few frequencies. And the two-stage pulse tube refrigerators have been assembled with tested single-stage pulse tube and tested. When orifice turn is opened to 9 and double inlet is opened to 3 at a single-stage, the lowest temperature of 33.7 K is achieved. The cooling capacity at single-stage is 38 W at temperature of 80 K. A two-stage pulse tube refrigerator has 16.3K at the second stage and 59.7K at the first stage. The cooling capacity achieved is 16.5 W at 80 K, the first stage and 0.6 W at 20 K, the second stage. Some details on the design of pulse tube refrigerator and the experimental apparatus are given.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.2 no.2
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• pp.139-144
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• 1993

The dynamic calibration system which can calibrate the ultrahigh vacuum pressure down to $10^{-10}$torr has been fabricated. The production and control of minute flow of $10^{-6}~10^{-9}$torr L/s range is done by a porous plug connected to the high vacuum standards system. The base pressure of the UHV standards system down to $10^{-11}$torr range was obtained by refrigerator type cryopump, whose pumping speed is known to be constant. By using the UHV standards system, 2 extractor gauges and 1 nude ion gauge were calibrated and their linearities and scatterings were studied.

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2006.05a
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• pp.399-402
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• 2006

한국 원자력 연구소는 PEFP(Proton Enginnering Frontier Poject)라고 하는 프로젝트를 수행 중이며, PEFP는 고에너지 양성자 가속기에 대한 프로젝트이다. 양성자 가속기에 대한 제어 시스템은 안정적인 운전 제어를 위해서 장치의 상태를 주기적으로 모니터링 할 뿐만 아니라 장치상태를 저장하여 일정시간 후에 확인이 요구되면 저장된 데이터를 이용하여 이전 정보를 추적할 수 있어야한다. 따라서 양성자 가속기 제어시스템에서는 실시간으로 들어오는 진공 데이터 정보를 저장 및 저장된 데이터를 열람이 가능한 저장 시스템으로 구성하였다. 저장된 데이터들은 RFQ(Radio Frequency Quadrupole) Cryopump, Turbo Pump, Press Gauge, Gate Valve, Compressor와 DTL(Drift Tube Linac) Multi-Gauge, Turbo Pump등의 진공도 및 제어변수 등이 있다. 이들 각각의 진공장치로부터 전달되는 진공 데이터들을 저장하기 위해 EPICS Extension toolset중에서 저장하는 기능을 가진 Channel Archiver를 양성자 가속기 제어 시스템에 추가하였다

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.19 no.11
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• pp.18-23
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• 2002

고품질의 극저온 환경의 생성 및 유지는 고품질 대용량 정보통신, 의료진단, 초전도 및 고집적반도체 제조공정 등의 차세대 유망 산업 분야에서 필수적인 요소로 자리 잡고 있으며, cryopump, 민수용 및 군수용의 적외선 검지기 및 초전도 RF 필터의 효과적 냉각을 위해 보다 높은 신뢰성과 수명, 고효율의 극저온 냉동기에 대한 수요는 점차 증대될 것으로 기대된다. 스터링 냉동기 및 맥동관 냉동기는 짧은 역사에도 불구하고, 다양한 분야에서 기존의 한제 및 극저온 냉동기를 대치하여 활용될 수 있을 것으로 전망된다.