1 |
S. R. IN and H. J. Shim, J. Kor. Vac. Sci. Technol. 7, 27 (2003)
|
2 |
Vacuum pumps acceptance specifications part 5 - Refrigerator cooled cryopumps, PNEUROP PN5ASRCC/5
|
3 |
K. M. welch, B. Andeen, J. E. Rijke, C. A. Foster, U. H. Hablanian, R. C. Longsworth, W. E. Millikin, Jr., Y. T. Sasaki, and C. Tzemos, J. Vac. Sci. Technol. A17, 3081 (1999)
DOI
|
4 |
R. C. Longsworth and R. J. Webber, J. Vac. Sci. Technol. A9, 2766 (1991)
DOI
|
5 |
C. Juhnke, H. H. Klein, S. Schreck, U. Timm, H. U. Haefner, M. M. Klosson, and H. J. Mundinger, Vacuum 44, 717 (1993)
DOI
|
6 |
S. R. IN and T. S. Kim, J. Kor. Phys. Soc. 51, 907 (2007)
DOI
|