• 제목/요약/키워드: Cross-sectional analysis

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고혈압 환자에서 혈장 고분자량 아디포넥틴 농도와 심장-대사위험인자와의 관련성 연구 (Plasma Levels of High Molecular Weight Adiponectin are Associated with Cardiometabolic Risks in Patients with Hypertension)

  • 정혜경;신민정
    • Journal of Nutrition and Health
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    • 제41권8호
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    • pp.733-741
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    • 2008
  • 고혈압 환자 110명을 대상으로 혈장 고분자량 아디포넥틴과 총 아디포넥틴 농도를 측정하고 심장-대사위험인자와의 관련성을 비교 평가한 연구 결과를 요약하면 다음과 같다. 1) 비만군과 비비만군으로 나누어 비교한 결과, 고분자량 아디포넥틴 농도는 비만군에서 유의적으로 낮았으나 총 아디포넥틴 농도는 두군간 유의적인 차이를 보이지 않았다. 2) 비만도를 나타내는 BMI 및 허리둘레의 경우 고분자량 아디포넥틴과 음의 상관관계를 보였으나 혈장 아디포넥틴과는 유의적인 상관관계를 보이지 않았다. 3) 혈액 지질 수준과의 상관성 평가시, 고분자량 아디포넥틴은 중성지방과 음의 상관관계를, 고밀도 콜레스테롤과는 양의 상관관계를 보였으며 혈장 아디포넥틴의 경우 단지고밀도 콜레스테롤과 유의적인 양의 상관관계를 보였다. 4) 인슐린 저항성 지표인 HOMA-IR의 경우 고분자량 아디포넥틴 및 혈장 아디포넥틴 모두와 음의 상관관계를 보였다. 5) 염증지표와의 상관성 분석 시, 고분자량 아디포넥틴은 C-반응성 단백질, IL-6과 강한 음의 상관 관계를 TNF-${\alpha}$, ICAM-1과 음의 경향을 보였으나 혈장 아디포넥틴은 C-반응성 단백질외에는 상관관계를 보이지 않았다. 또한 회귀분석 결과, 혈장 고분자량 아디포넥틴 농도는 C-반응성 단백질 수준을 예측하는 독립적 인자였다. 위의 결과로 보아 고분자량 아디포넥틴은 혈장 아디포넥틴보다 전반적으로 심장-대사위험인자와 더 많은 상관성을 보여주었다. 따라서 심혈관 질환 및 대사성증후군을 예측하고 반영하는 데 혈장 고분자량 아디포넥틴 수준이 총 아디포넥틴 수준보다 민감하고 정확한 지표로 활용될 수 있을 것이다.

Hydroxyapatite 피막 처리된 임프란트에 대한 여러가지 기계적 표면처리방법이 임프란트 표면조도 및 성상에 미치는 영향 (EFFECT OF VARIOUS MECHANICAL TREATMENTS OF HYDROXYAPATITE-COATED IMPLANT SURFACES)

  • 양경란;정오철;이재목;서조영
    • Journal of Periodontal and Implant Science
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    • 제24권1호
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    • pp.131-143
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    • 1994
  • 구강내 노출된 임프란트를 건강한 상태로 유지하기 위해서는 임프란트 매식체 표면을 처치하여 주위조직과 잘 적합할 수 있는 표면구조를 만들어 주어야 한다. 실패한 임프란트의 처리방법으로 구연산이나 air-abrasive system과 같은 여러 가지 방법이 소개 되었으나 HA 피막 처치된 임프란트와 같은 거친 표면이 구강내로 노출된 경우에는 구연산이나 air-abrasive system을 이용한 표면 처리방법을 세균독소 제거에는 효과적이나 HA 피막 처리된 매식체의 거친 표면 제거는 어렵기 때문에 계속되는 치태침착을 방지하기에는 효과적이지 못하므로 세균독소를 제거하는 한편 표면성상을 변화시키지 않고 평활한 표면을 만들기 위한 처리방법들을 알아보고자 하였다. IMZ사에서 제작한 HA 피막 처리된 disc에 high speed diamond bur, low speed diamond bur, stone bur, rubber point, jetpolisher를 처치하고 표면평활도를 알아보기 위하여 표면조도측정 및 주사전자현미경으로 표면상태를 관찰하고 표면성분 변화 유무를 알아보기 위하여 EDX를 이용하여 표면성분을 분석한 결과 다음과 같은 결과를 얻었다. 각 시편에 대한 표면조도 측정 결과는 실험 I군 $2.11{\mu}m$, 실험 II군 $4.17{\mu}m$, 실험 III군 $7.28{\mu}m$, 실험 IV군 $8.61{\mu}m$, 실험 V군 $39.44{\mu}m$의 최대높이값을 나타내므로써, I, II, III, IV, V군 순으로 표면이 평활하게 나타났다. 주사전자현미경 관찰에서는 실험 I군은 비교적 평활한 면을 보였고, 실험 II군은 HA 입자가 거의 삭제되었으나 잔존하는 일부의 HA 입자로 인하여 I군보다 약간 거친 표면을 보였다. 실험 III군과 IV군은 삭제되지 않고 잔존하는 HA 입자가 많아 거친 양상을 보였으며 실험 V군인 HA 피막 처리된 면의 경우는 깊은 홈과 돌출된 부분을 가진 매우 불규칙한 표면 구조를 보였다. 시편의 단면 관찰에서는 실험 I군은 균일한 면을 보였으며 실험 III군과 IV군에서는 삭제되지 않고 잔존하는 다량의 HA 입자로 인해 거친 표면을 보였으나 HA 피막의 두께는 상당량 감소되어 나타났다. 또한 실험 II군과 I군과 유사한 양상을 보였다. 실험 V군의 경우는 일정하지는 않지만 약 $40{\mu}m$의 두께를 보였다. EDX에 의한 표면성분 분석 결과, 삭제가 가장 우수한 실험 II군에서는 calcium과 phosphorus가 소량 나타났고, 삭제가 완전하지 않은 실험 III, IV군에서는 calcium peak와 phosphorus peak를 보였다. 모든 군에 나타난 aluminum은 제조과정 중의 혼입으로 사료된다. 모든 실험군에서 titanium, aluminum, calcium, phosphorus 이외의 다른 성분은 나타나지 않았다.

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객관구조화 임상시험을 활용한 간호수행능력의 Six Dimension Scale과 간호학생 스트레스 평가지수의 도구 평가-천식 및 1형 당뇨 모듈을 중심으로 (Psychometric Evaluation of a Six Dimension Scale of Nursing Performance and Student Nurse Stress Index Using an Objective Structured Clinical Examination - Modules for Asthma and Type 1 Diabetes)

  • 박경옥;안영미;강나래;이미진;손민
    • Child Health Nursing Research
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    • 제19권2호
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    • pp.85-93
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    • 2013
  • 목적 본 연구의 목적은 Six Dimension Scale of Nursing Performance (Six-D Scale)와 간호학생 스트레스 평가지수 (SNSI)의 한국어 버전 개발 과정을 기술하고, 천식 및 1형 당뇨 모듈을 내용으로 한 시뮬레이션 기반 객관구조화시험(OSCE)을 이용하여 신뢰도 및 타당도를 평가하기 위함이다. 방법 본 연구는 단편적 서술연구이며, 4년제 간호학과 4학년 학생 51명을 대상으로 수행되었다. 도구의 신뢰도는 Chronbach's 를 이용한 내적 일관성을 평가하였고, OSCE는 검사자간 신뢰도를 계산하였다. 타당도 평가는 Six-D Scale과 SNSI의 하부영역을 OSCE, 평점 및 자아효능감과의 상관관계를 분석함으로써 구성타당도로 확인하였다. 결과 두 도구의 Chronbach's ${\alpha}$는 .82-.95였고, OSCE의 검사자 간 신뢰도는 .75 (천식)-.87 (당뇨)이었다. Six-D Scale은 OSCE (r=.109-.272) 및 자아효능감과(r=.005-.161)는 양의 상관관계를, 평점과는 음의 상관관계를(r= -.246 ~ -.394) 보였으나, 통계적으로 유의하지는 않았다. SNSI는 OSCE (r= -.007 ~ -.238), 평점(r=-.092 ~ -.426) 및 자아효능감(r=-.246 ~ -.394) 모두와 음의 상관관계를 나타냈으며, OSCE를 제외하고는 모두 통계적으로 유의하였다. 결론 본 연구의 결과 간호수행능력의 Six-D Scale, SNSI 모두 적절한 신뢰도를 보였다. 타당도 검증 결과, 간호학생스트레스 도구는 적절한 타당도를 나타내었으나, Six-D scale은 적용에 신중을 기해야 하는 것으로 판단되었다. 따라서 자가 보고형 임상수행능력 평가는 좀 더 다양한 학생들을 대상으로 타당도 검증이 더욱 깊이 있게 평가되어야 할 것이며, 간호학생의 스트레스는 학생들의 임상수행능력에 영향을 미치는 주요한 변수로 간주되어 연구 및 교육에 적극 고려되어야 할 것이다.

만성폐쇄성폐질환 환자에서 우울과 불안심리 평가 (Depression and Anxiety in Outpatients with Chronic Obstructive Pulmonary Disease)

  • 류연주;천은미;심윤수;이진화
    • Tuberculosis and Respiratory Diseases
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    • 제62권1호
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    • pp.11-18
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    • 2007
  • 연구배경: 만성폐쇄성폐질환(chronic obstructive pulmonary disease, COPD) 환자군에서 우울증 및 불안장애의 유병률이 높고, 이는 치료경과 및 사망률에도 영향을 주는 것으로 알려져 있다. 저자들은 국내연구가 미비한 COPD환자들의 우울과 불안심리에 대한 평가를 하고자 하였다. 방 법: 2005년 9월부터 2006년 8월까지 이화의료원 호흡기내과에서 외래치료 중인 72명의 COPD환자와 정상 대조군 50명에서 Beck Depression Inventory (BDI)와 State-Trait Anxiety Inventory (STAI)로 설문조사를 시행하였고, 임상기록을 분석하였다. 결 과: 1) 연령과 체질량지수, 혈청 알부민 수치는 환자군과 대조군간의 유의한 차이를 보이지 않았다(p>0.05). 우울심리는 BDI점수가 환자군 16(0-37), 대조군 12(1-30)으로 환자군에서 유의하게 높았고(p=0.001), 21점 이상의 우울집단은 환자군이 36%로 대조군 6%에 비해 많았다(p<0.0001). 환자군에서는 경증군 18%(4/22), 중등증군 30%(6/20), 중증군 52%(13/25), 심한 중증군 60%(3/5)로 중증일수록 빈도가 높았다(p=0.008). 2) 불안심리는 환자군에서 SAI 점수 44(20-67), TAI점수 47(20-66)로 각각 대조군 39(26-65), 44(33-90)보다 유의하게 높았다(p=0.005, p=0.022). 환자군에서 BDI와 STAI점수는 상관관계를 보였고(p<0.001), 우울집단에서 불안점수가 유의하게 높았다. 3) COPD환자군에서 우울집단은 비우울집단보다 체질량지수, 기관지확장제후 $FEV_1$의 예측치가 유의하게 낮았고, 현재 흡연자의 비율과 중증도, STAI점수가 유의하게 높았다(p<0.05). 4) 연령과 성별을 통제한 다변량 로지스틱 회귀분석상 95% 신뢰구간으로 비차비는 체질량지수 0.9(p=0.311), 현재 흡연자 3.2(p=0.051), 중증군이상 3.9로(p=0.027), 중증이상의 중증도가 유일한 우울증 발생의 독립적 위험요인이었다. 결 론: COPD환자군에서 우울증과 불안심리가 흔하게 관찰되며, 체질량지수, 폐기능, 현재 흡연력이 우울관련 요인으로 특히 중증도가 높을수록 우울증과 불안장애의 관리가 필요함을 보여주었다.

인천지역 대표 중고등학교 여자 선수의 운동경기 종목별 건강 및 식습관에 관한 조사 (A Survey on Self-reported Health and Eating Habit of Elite Female Adolescent Athletes in Incheon by Sport Type)

  • 성현이;장경자
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제34권3호
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    • pp.366-373
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    • 2005
  • 인천지 역 대표선수인 중ㆍ고등학교 여 자 펜싱 , 사격 , 육상, 수영 선수 총 102명을 대상으로 건강과 식습관에 대해 설문조사를 시행하였으며 그 결과는 다음과 같다. 전 체 조사대 상자 중 35.9%가 현재 비타민 및 철분 보충제를 섭취하고 있다고 응답하였으며, 육상선수의 섭취율이 62.5%로 운동경기 종목별 유의적 차이를 보였다. 본인이 인식하는 건강상태는 전체 조사대상자의 65.3%가 '보통이다', 21%가 '좋다'고 응답하였고, 건강에 대한 관심정도는 전체 조사대상자의 69.5%가 보통이다', 25.3%가 '많다'고 응답하였다. 운동이 정신적 스트레스의 주요원인으로 나타났으며 운동과 관련된 스트레스가 펜싱&gt;사격&gt;육상)수영 순인 반면에 훈련 중 신체적 부담에 대해서는 수영&gt;육상&gt;펜싱&gt;사격 순으로 나타나서 운동경기 종목별 유의적 차이를 보였다. 훈련 중 현기증을 느낀 적이 있는가에 대해 사격선수가 다른 종목에 비해 유의적으로 적게 느끼는 것으로 나타났고, 생리 주기의 규칙성에 대해 절반이상이 "불규칙하다"고 응답하였다. 가장 문제가 되는 식습관에 대해 결식&gt;폭식&gt;편식&gt;맵고 짠 음식선호 순으로 응답하였다. 주로 결식하는 끼니로 펜싱과 사격선수는 아침식사를, 육상과 수영선수는 저녁식사를 주로 걸러서 유의적 차이를 보였다. 결식빈도에 대해 펜싱&gt;사격&gt;육상&gt;수영 순으로 자주 결식하는 것으로 나타나서 운동경기 종목별 유의적 차이를 보였다. 아침식사의 규칙성에 대해 펜싱과 사격선수가 육상과 수영선수에 비해 '불규칙하다'고 응답한 비율이 유의적으로 높았다 주로 섭취하는 간식으로는 스낵 및 과자류, 탄산음료, 초콜릿, 사탕류&gt;우유, 요구르트, 아이스크림 등 유제품&gt;빵, 케이크, 떡(볶이)&gt;라면&gt;햄버거, 피자 순으로 나타났다. 이상의 결과로부터 인천지역 대표 여자 운동선수의 건강과 식습관은 운동종목별로 차이가 있는 것으로 나타났다. 그러므로, 이들 청소년 대표 여자 운동선수의 운동수행 능력과 건강을 위해 올바른 식습관 형성을 위한 영양상담 및 교육프로그램이 운동종목별로 다양하게 개발되어 실용화되어야 할 것이다.

지역사회 거주 50세 이상 성인의 동맥경직도와 염증반응인자와의 관련성 (Cross-Sectional Relations of Arterial Stiffness and Inflammatory Markers in Korean Adults Aged 50 Years and Older)

  • 류소연;신민호;이영훈;이정애;최진수;박경수;남해성;정슬기;권순석
    • 농촌의학ㆍ지역보건
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    • 제36권2호
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    • pp.101-112
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    • 2011
  • 50세 이상 건강한 성인을 대상으로 baPWV로 측정한 동맥경직도 수준과 염증인자와 동맥경직도와의 관련성을 파악하기 위하여 본 연구를 수행하였다. 2007년과 2008년에 수행된 광주광역시 동구연구(Dong-gu Study)의 기반조사에 참여한 50세 이상 주민 4617명을 대상으로 하였으며, 다중회귀분석을 시행하여 전통적인 심뇌혈관질환 위험요인을 통제한 상태에서 baPWV와 CRP, GGT와 WBC 등의 염증반응인자와의 관련성을 알아보았다. 평균 baPWV는 남자 $17.0{\pm}4.0\;m/s$, 여자 $16.2{\pm}3.6\;m/s$로 남, 여 간에 통계적으로 유의한 차이가 있었고, 연령이 증가할수록 baPWV는 통계적으로 유의하게 증가하는 경향을 보였다. 성, 연령, 흡연상태, 체질량지수, 수축기혈압, 공복혈당, 고혈압 또는 당뇨병의 투약 여부, 혈청 지질, 요산과 ALT 등의 전통적인 심뇌혈관질환 위험요인을 통제한 상태에서 WBC (${\beta}$=0.158, p<0.0001), hs-CRP(${\beta}$=0.244, p=0.026)와 GGT (${\beta}$=0.003, p<0.0001)는 baPWV와 통계적으로 유의하게 독립적인 관련성이 있음을 알 수 있었다. 결론적으로 baPWV로 측정한 동맥경직도 지표는 염증반응인자와 관련이 있음을 알 수 있었다. baPWV 등의 동맥경직도 측정 지표는 동맥 기능의 초기변화를 반영하고 일반적으로 알려져 있는 심혈관질환 위험요인과 유의한 상관관계를 가지고 있어, 이를 이용하여 심혈관질환의 위험을 예측하는데 활용할 수 있을 것으로 생각된다.

한국 성인의 수면무호흡 증상 유병률 및 위험요인 : 3개 농촌지역을 대상으로 한 단시적 연구 (Obstructive Sleep Apnea Symptoms Prevalence and Sleep Apnea-Associated Factors in Korean Adult Population: A Cross-sectional Survey of Three Rural Communities)

  • 손창호;정도언;성주헌;장성훈;이건세;이원진;신해림;이부옥;조수헌
    • 수면정신생리
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    • 제5권1호
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    • pp.88-102
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    • 1998
  • 연구배경 및 방법 : 충청북도 충주시의 노운면과 산척면 그리고 경상남도 함안군 여항면에 거주하는 농촌 성인 중에서 집락추출법으로 선정한 총 1,441명을 대상으로 코골이 및 수면무호흡 증상 유병률에 관해 설문조사법을 이용한 역학조사를 1996년 7월 2주간에 걸쳐 실시하였다. 결과 : 대상군의 14.1%에서 거의 매일 코골이가 있었으며, 2.9%에서는 거의 매일 수면무호홉 증상이 있다고 보고하였다. 수면무호흡 증상은 남성, 45 세 - 64 세의 연령대, 비만한 사람, 흡연자, 주 1회 이상 음주자에서 유의하게 흔하였다. 다중 로짓 회귀분석에서 남성, 45 세 - 64 세의 연령대, 비만이 상호독립적으로 코골이와 수면 무호흡증상에 영향을 미치는 인자임을 알 수 있었다. 또한 코골이 및 수면무호흡 증상군에서 코를 골지 않는 군에 비해 헤모글로빈 및 적혈구수치가 정상범위내이기는 하지만 증가되어 있었다. 이완기 혈압의 상승소견도보여서 수면무호흡증상이 심혈관계에 상당한 영향을 준다는 것을 알 수 있었다. 그러나 수면무호홉 증상에 따른 주관적 이차증상의 발생빈도는 수면 무호흡증상군과 코를 골지 않는 군사이에 차이가없었다. 결론 : 국내에서도 상당한 정도의 수면 중 호흡장애가 실재하며 심혈관계 등에 유의한 영향을 끼치고 있음을 알 수 있었다.

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폐결핵환자에서 초치료실패에 대한 요인 분석 (Analysis of Causes for Primary Treatment Failure of Pulmonary Tuberculosis)

  • 박승규;최인환;김천태;송선대
    • Tuberculosis and Respiratory Diseases
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    • 제44권6호
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    • pp.1234-1244
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    • 1997
  • 배 경 : 최근 약제내성결핵이 결핵의 치료에 문제가 되고 있으며 그 수도 증가하고 있다. 불규칙 복약, 잘못된 처방 그리고 불량한 치료순응도가 주된 원인으로 생각되고 있다. 그러나 표준단기초치료 처방으로 규칙적인 복약을 했음에도 치료에 실패하는 경우도 적지 않으며 이에 대한 임상적 자료를 살펴보고 가능한 요인을 알아보고자 하였다. 방 법 : 1996년 10월 현재 국립마산결핵병원에서 치료중인 환자중 표준단기초치료 처방으로 규칙적인 복약을 하였음에도 불구하고 초치료에 실패한 환자 50명을 대상으로 나이 및 성별, 항결핵제 치료중 음주 및 흡연력, 결핵의 가족력, 처음 결핵을 진단받은 계기 및 의료기관, 의료기관으로부터 결핵의 치료과정에 대한 충분한 설명을 들었는지의 여부, 초치료가 실패했다고 판단되는 시점에서의 흉부 X-선 사진상 병소의 특징 및 부위, 과거치료력 그리고 약제감수성검사의 결과등에 대해 descriptive cross-sectional study를 시행하였다. 결 과 : 1) 연령별로는 19세에서 67세까지 비교적 고른 분포를 보였으나 20대가 16명으로 34%를 차지하였으며 성별로는 남자가 44예 그리고 여자는 6예로 남자가 압도적으로 많았다. 2) 초치료기간중 흡연과 음주여부에 대해서는 22예에서 흡연을, 24예에서 음주를 하였다. 3) 17예에서 가족력이 있었다. 4) 최초진단을 받은 의료기관은 보건소가 27예로 가장 많았다. 5) 결핵을 진단받게된 증상이 있었던 경우가 42예로 가장 많았으며 자각증상이 없이 우연히 발견하게된 경우는 8예였다. 6) 결핵 및 치료과정에 대한 경우는 38예였다. 7) 흉부 X-선 사진상 병소의 부위 및 특정은 양측성이 24예(48%)로 가장 많았고 43예(86%)에서 공동이 있었다. 8) 과거치료력은 29예에서 있었으며 모두 규칙적으로 복약하였다. 9) 약제감수성검사는 알 수 있었던 41명의 환자 전 예에서 약제내성이 있었으며 이 중 초회내성이 21예, 획득내성이 20예였으며 INH와 RFP을 포함하는 2가지 이상의 약제에 내성을 보인 경우는 36예였다. 결 론 : 20대의 남자환자, 결핵의 가족력, 흉부 X-선 사진상 양측성 병소 혹은 잔존하는 공동성 병변 그리고 약제 감수성검사에서 INH와 RFP에 내성을 보이는 경우는 초치료실패의 요인이 될 가능성이 높을 것으로 생각된다.

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일개 국립결핵병원에 입원치료를 받은 폐결핵환자의 임상양태에 관한 연구 - 1995년과 2002년 비교연구 - (Clinical Observational study of Pulmonary Tuberculosis for admitted patients at a National Tuberculosis Hospital - Comparison with the previous results in 1995 -)

  • 박승규;이인희;김병주
    • Tuberculosis and Respiratory Diseases
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    • 제58권4호
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    • pp.392-398
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    • 2005
  • 배 경 : 1995년 제7차 전국 결핵실태조사가 마지막으로 시행된 이 후 2000년 6월 결핵정보감시체계가 도입되었다. 결핵정보감시체계에서는 기존의 전국결핵실태조사에 포함된 균양성 유병율, 약제내성율 등 중요한 역학적 지표를 알 수 없는 한계를 가지고 있다. 본 연구의 목적은 1995년 12월과 2002년도 12월 국립마산결핵병원에 입원치료중인 환자의 임상양태를 조사 비교함으로 우리나라의 다제내성 결핵을 포함한 결핵실태추이의 한 단면을 알아보고자 함이었다. 방 법 : 2002년 12월 현재 국립마산결핵병원에 입원치료 중인 결핵환자 중 NTM으로 최종 확인된 6명을 제외한 331명을 대상으로 임상양태를 조사하고 이를 1995년에 보고된 자료와 비교조사 하였다. 결 과 : 1995년 자료와 비교할 때 평균연령은 3.6세 많았으며, 결핵치료 과거력과 이전 사용 약제 수는 각각 $2.0{\pm}1.7$회, $6.1{\pm}2.3$제에서 $1.7{\pm}1.8$회, $4.6{\pm}3.6$제로 감소하였다(각각 p<0.05, p<0.001). 전체적인 약제내성율은 비슷하였으나(81.0% vs 77.6%), 초회내성율과 초회다제내성율은 각각 10.5%와 2.4%에서 21.4%와 16.5%로 현저히 증가하였다(각각 p=0.012, p=0.001). 또한 1995년도에는 보건소에서 진단을 받은 경우가 65%였으나 2002년도에는 40.5%로 크게 감소하였다(p<0.001). 결 론 : 초회 내성율이 증가하고, 민간의료기관에서 진료하는 환자의 비중이 증가하는 등 우리나라의 결핵관리상황이 이전과 다르게 변해가고 있으므로 이에 대처할 수 있는 민간 및 공공의료기관이 협력할 수 있는 국가결핵관리프로그램의 수정 및 보완이 필요할 것으로 생각된다.

60 nm 와 20 nm 두께의 수소화된 비정질 실리콘에 따른 저온 니켈실리사이드의 물성 변화 (Property of Nickel Silicide with 60 nm and 20 nm Hydrogenated Amorphous Silicon Prepared by Low Temperature Process)

  • 김종률;박종성;최용윤;송오성
    • 한국진공학회지
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    • 제17권6호
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    • pp.528-537
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    • 2008
  • ICP-CVD를 사용하여 수소화된 비정질 실리콘(a-Si:H)을 60 nm 또는 20 nm 두께로 성막 시키고, 그 위에 전자총증착장치(e-beam evaporator)를 이용하여 30 nm Ni 증착 후, 최종적으로 30 nm Ni/(60 또는 20 nm a-Si:H)/200 nm $SiO_2$/single-Si 구조의 시편을 만들고 $200{\sim}500^{\circ}C$ 사이에서 $50^{\circ}C$간격으로 40초간 진공열처리를 실시하여 실리사이드화 처리하였다. 완성된 니켈실리사이드의 처리온도에 따른 면저항값, 상구조, 미세구조, 표면조도 변화를 각각 사점면저항측정기, HRXRD, FE-SEM과 TEM, SPM을 활용하여 확인하였다. 60 nm a-Si:H 기판 위에 생성된 니켈실리사이드는 $400^{\circ}C$이후부터 저온공정이 가능한 면저항값을 보였다. 반면 20 nm a-Si:H 기판 위에 생성된 니켈실리사이드는 $300^{\circ}C$이후부터 저온공정이 가능한 면저항값을 보였다. HRXRD 결과 60 nm 와 20 nm a-Si:H 기판 위에 생성된 니켈실리사이드는 열처리온도에 따라서 동일한 상변화를 보였다. FE-SEM과 TEM 관찰결과, 60 nm a-Si:H 기판 위에 생성된 니켈실리사이드는 저온에서 고저항의 미반응 실리콘이 잔류하고 60 nm 두께의 니켈실리사이드를 가지는 미세구조를 보였다. 20 nm a-Si:H 기판위에 형성되는 니켈실리사이드는 20 nm 두께의 균일한 결정질 실리사이드가 생성됨을 확인하였다. SPM 결과 모든 시편은 열처리온도가 증가하면서 RMS값이 증가하였고 특히 20 nm a-Si:H 기판 위에 생성된 니켈실리사이드는 $300^{\circ}C$에서 0.75 nm의 가장 낮은 RMS 값을 보였다.