• 제목/요약/키워드: Channel thickness

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테라비트급 나노 스케일 SONOS 플래시 메모리 제작 및 소자 특성 평가 (Fabrication and Device Performance of Tera Bit Level Nano-scaled SONOS Flash Memories)

  • 김주연;김문경;김병철;김정우;서광열
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제20권12호
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    • pp.1017-1021
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    • 2007
  • To implement tera bit level non-volatile memories of low power and fast operation, proving statistical reproductivity and satisfying reliabilities at the nano-scale are a key challenge. We fabricate the charge trapping nano scaled SONOS unit memories and 64 bit flash arrays and evaluate reliability and performance of them. In case of the dielectric stack thickness of 4.5 /9.3 /6.5 nm with the channel width and length of 34 nm and 31nm respectively, the device has about 3.5 V threshold voltage shift with write voltage of $10\;{\mu}s$, 15 V and erase voltage of 10 ms, -15 V. And retention and endurance characteristics are above 10 years and $10^5$ cycle, respectively. The device with LDD(Lightly Doped Drain) process shows reduction of short channel effect and GIDL(Gate Induced Drain Leakage) current. Moreover we investigate three different types of flash memory arrays.

ZnO Power FET 모델링에 관한 연구 (Study on Modeling of ZnO Power FET)

  • 강이구;정헌석
    • 전기전자학회논문지
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    • 제14권4호
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    • pp.277-282
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    • 2010
  • 본 논문에서는 차세대 전력반도체인 화합물 반도체 소자중 ZnO 전력소자에 대하여 모델링을 수행하였다. 화합물 전력 반도체 소자는 와이드 밴드 갭 소자로서 열 특성이 우수해 자동차 및 계통연계형 인버터의 차세대 핵심소자로 인정받고 있다. 모델링 결과 에피 두께가 3um, 도핑농도는 $1e17cm^{-3}$일때 내압 340V 정도 얻을 수 있었으며, 관련 I-V특성 등을 평가하였다. 실제 소자로 제작된다면 300V이내의 산업 응용에 충분히 활용할 수 있을 것으로 판단된다

하구에 있어서의 밀도유적 수리조건 (Hydraulic Conditions to Density Currents in the Estuary)

  • 이문옥;이삼노
    • 한국해안해양공학회지
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    • 제2권1호
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    • pp.1-10
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    • 1990
  • 밀도류에 대한 하구에서의 수리조건을 수리모형실험을 통하여 조사하였다. 정상염수쐐기가 존재하는 하구에서의 유하방향의 계면현상은 하구에서의 밀도 Froude수가 커짐에 따라 그 기울기가 증대하였다. 적층 두께는 하도내에서는 거의 일정하였으나, 하도내를 벗어나면서 급격히 증대하였으며, Overall Richardson number가 커짐에 따라 감소하였다. 하구에서의 밀도 Froude 수는 반드시 1.0은 아니며, 상층수량에 따라 변화를 나타내었다. 하구에서의 수위는 상대밀도차가 커짐에 따라 증가하는 경향을 보였다. 섬진강 하구에서의 현상관측결과, 하천수와 외양수와의 사이에 강한 밀도전선이 형성되어 있었다.

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이온빔 스퍼터링으로 증착한 IZTO 박막의 결정화 거동과 전기적 특성 분석 (Crystallization Behavior and Electrical Properties of IZTO Thin Films Fabricated by Ion-Beam Sputtering)

  • 박지운;박양규;이희영
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제34권2호
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    • pp.99-104
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    • 2021
  • Ion-beam sputtering (IBS) was used to deposit semiconducting IZTO (indium zinc tin oxide) thin films onto heavily-doped Si substrates using a sintered ceramic target with the nominal composition In0.4Zn0.5Sn0.1O1.5, which could work as a channel layer for oxide TFT (oxide thin film transistor) devices. The crystallization behavior and electrical properties were examined for the films in terms of deposition parameters, i.e. target tilt angle and substrate temperature during deposition. The thickness uniformity of the films were examined using a stylus profilometer. The observed difference in electrical properties was not related to the degree of crystallization but to the deposition temperature which affected charge carrier concentration (n), electrical resistivity (ρ), sheet resistance (Rs), and Hall mobility (μH) values of the films.

차천(車川) 하류 구간의 퇴적지형 변화 (The Changes of Depositional Landforms in the Downstream Reach of Cha-Cheon)

  • 유태일
    • 한국지역지리학회지
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    • 제12권3호
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    • pp.352-363
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    • 2006
  • 본 논문에서는 낙동강의 소규모 지류인 차천의 합류 구간에서, 1973년 직강화 이후 직강 하도 내에 이루어진 퇴적지형의 변화를 분석하였다. 분석결과를 요약하면 다음과 같다. 첫째, 현풍 우량 및 수위관측소의 10년간(1993$\sim$2002) 강우량과 수위자료를 분석해 보면, 1년에 1회 이상 범람하였고, 연평균 3회 이상 역류를 하였다. 둘째, 차천 직강 하도내의 범람원은 보(洑)에서 최종 여울(A 지점) 사이에서 거의 평탄한 단면을 나타낸다. 직강하도 내의 범람원의 두께는 상류로 가면서 얇아진다. 셋째, 직강 하도 내 범람원 퇴적물의 0$\sim$20cm 깊이의 평균입경은 C 지점 하류로 갈수록 점차 증가하여 본류인 낙동강의 역류에 따른 퇴적 메카니즘을 추론할 수 있다. 마지막으로, 직강 하도 내의 범람원상의 퇴적물을 분석한 결과, 낙동강의 역류에 따른 부유하중의 침전에 의한 수직퇴적과 사면에서 공급된 하상하중의 퇴적이 c번 지점을 경계로 구분을 의미한다.

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$0.18\;{\mu}m$ 공정에서 전류 피드백을 이용한 새로운 구조의 정전기 보호 소자에 관한 연구 (A Novel Electrostatic Discharge (ESD) Protection Device by Current Feedback Using $0.18\;{\mu}m$ Process)

  • 배영석;이재인;정은식;성만영
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.3-4
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    • 2009
  • As device process technology advances, effective channel length, the thickness of gate oxide, and supply voltage decreases. This paper describes a novel electrostatic discharge (ESD) protection device which has current feedback for high ESD immunity. A conventional Gate-Grounded NMOS (GGNMOS) transistor has only one ESD current path, which makes, the core circuit be in the safe region, so an GGNMOS transistor has low current immunity compared with our device which has current feedback path. To simulate our device, we use conventional $0.18\;{\mu}m$ technology parameters with a gate oxide thickness of $43\;{\AA}$ and power supply voltage of 1.8 V. Our simulation results indicate that the area of our ESD protection, device can be smaller than a GGNMOS transistor, and ESD immunity is better than a GGNMOS transistor.

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미세 구조 MOSFET에서 문턱전압 변화를 최소화하기 위한 최적의 스켈링 이론 (Scaling theory to minimize the roll-off of threshold voltage for ultra fine MOSFET)

  • 정학기;김재홍;고석웅
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제7권4호
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    • pp.719-724
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    • 2003
  • 본 논문은 halo doping profile을 갖는 나노구조 LDD MOSFET의 문턱전압에 대하여 연구하였다. 소자의 크기는 일반화된 스켈링 이론을 사용하여 100nm 에서 40m까지 스켈링하였다. Van Dort Quantum Correction Model(QM) 모델을 정전계 스켈링 이론과 정전압 스켈링 이론에 적용하여 문턱전압을 조사하였으며, gate oxide 두께의 변화 따른 direct tunneling current를 조사하였다. 결과적으로 게이트 길이가 감소됨에 따라 문턱전압이 정전계 스켈링에서는 감소하고 정전압 스켈링에서는 증가함을 알았고 direct tunneling current는 gate oxide 두께가 감소함에 따라 증가됨을 알았다. 또한 채널 길이의 감소에 따른 MOSFET의 문턱전압에 대한 roll-off특성을 최소화하기 위하여 일반화된 스켈링에서 $\alpha$값은 거의 1 이여야 함을 알았다.

Seismic behavior of steel reinforced concrete special-shaped column-beam joints

  • Liu, Z.Q.;Xue, J.Y.;Zhao, H.T.
    • Earthquakes and Structures
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    • 제11권4호
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    • pp.665-680
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    • 2016
  • This paper focuses on the study of seismic behavior of steel reinforced concrete special-shaped column-beam joints. Six specimens, which are designed according to the principle of strong-member and weak-joint core, are tested under low cyclic reversed load. Key parameters include the steel form in column section and the ratio of column limb height to thickness. The failure mode, load-displacement curves, ductility, stiffness degradations, energy dissipation capacity and shear deformation of joint core of the test subassemblies are analyzed. The results indicate that SRC special-shaped column-beam joints have good seismic behavior. All specimens failed due to the shear failure of the joint core, and the failure degree between the two sides of joint core is similar for the exterior joint but different for the corner joint. Compared to the joints with channel steel truss, the joints with solid web steel skeleton illustrate better ductility and energy dissipation capacity, but the loading capacity and stiffness are roughly close. With the increasing of the ratio of column limb height to thickness, the joints illustrate higher loading capacity and stiffness, better energy dissipation capacity, but worse ductility.

협착관내 층류유동에서 물의 결빙현상 (Ice-formation phenomena for laminar water flow in a stenotic tube)

  • 서정세;김무근;노승탁;임장순
    • 설비공학논문집
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    • 제10권1호
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    • pp.11-21
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    • 1998
  • A numerical study is made on the ice-formation for water flow inside a stenotic tube. The study takes into account the interaction existing between the laminar flow and the stenotic port in the circular tube. In the solution strategy, the present study is substantially distinguished from the existing works In that the complete set of governing equations in both the solid and liquid regions are resolved. In a channel flow between parallel plates, the agreement of predictions and available experimental data is very good. Numerical results are mainly obtained by varying the height and length of a stenotic shape and additionally for several temperatures of the wall and inlet of tube. The results show that the shape of stenotic port has the great effect on the thickness of the solidification layer in the tube. As the height of a stenosis grows and the length of a stenosis decreases, the ice layer thickness near the stenotic port is thinner due to backward flow caused by the sudden expansion of water tunnel. It is also found that the ice layer becomes more fat In accordance with Reynolds number and the temperature of the wall and inlet of tube decreased.

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유동 경계층이 다공성물질내 대류 열전달에 미치는 영향 (Effect of the Hydraulic Boundary Layer on the Convective Heat Transfer in Porous Media)

  • 진재식;이대영;강병하
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제24권8호
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    • pp.1119-1127
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    • 2000
  • Convective heat transfer in a channel filled with porous media has been analyzed in this paper. The two-equation model is applied for the heat transfer analysis with the velocity profile, considering both the inertia and viscous effects. Based on a theoretical solution, the effect of the velocity profile on the convective heat transfer is investigated in detail. The Nusselt number is obtained in terms of the relevant physical parameters, such as the Biot number for the internal heat exchange, the ratio of effective conductivities between the fluid and solid phases, and hydraulic boundary layer thickness. The results indicate that the influence of the velocity profile is characterized within two regimes according to the two parameters, the Biot number and the conductivity ratio between the phases. The decrease in the heat transfer due to the hydraulic boundary layer thickness is 15% at most within a practical range of the pertinent parameters.