Ion Beam을 이용한 사파이어($Al_2O_3$ ) 표면개질 및 금(Au) 박막증착: 접합성 향상 및 접학기구에 대한 연구
(Ion beam induced surface modifications of sapphire and gold film deposition: studies on the adhesion enhancement and mechanisms)
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- 한국진공학회지
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- 제8권4B호
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- pp.514-518
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- 1999