• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.213-213
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• 2016

현재 반도체 산업에서는 디바이스의 고 집적화, 고 수율을 목적으로 패턴의 미세화 및 웨이퍼의 대면적화와 같은 이슈가 크게 부각되고 있다. 다중 패터닝(multiple patterning) 기술을 통하여 고 집적 패턴을 구현이 가능해졌으며, 이와 같은 상황에서 각 패턴의 임계치수(critical dimension) 변화는 패턴의 위치 및 품질에 큰 영향을 끼치기 때문에 포토마스크의 임계치수 균일도(critical dimension uniformity, CDU)가 제작 공정에서 주요 파라미터로 인식되고 있다. 반도체 광 리소그래피 공정에서 크롬(Cr) 박막은 사용되는 포토 마스크의 재료로 널리 사용되고 있으며, 이러한 포토마스크는 fused silica, chrome, PR의 박막 층으로 이루어져 있다. 포토마스크의 패턴은 플라즈마 식각 장비를 이용하여 형성하게 되므로, 식각 공정의 플라즈마 균일도를 계측하고 관리 하는 것은 공정 결과물 관리에 필수적이며 전체 반도체 공정 수율에도 큰 영향을 미친다. 흔히, 포토마스크 임계치수는 플라즈마 공정에서의 라디칼 농도 및 식각 선택비에 의해 크게 영향을 받는 것으로 알려져 왔다. 본 연구에서는 Cr 포토마스크 에칭 공정에서의 Cl2/O2 공정 플라즈마에 대해 O2 가스 주입량에 따른 식각 선택비(etch selectivity) 변화를 계측하여 선택비 제어를 통한 Cr 포토마스크 임계치수 균일도 향상을 실험적으로 입증하였다. 연구에서 사용한 플라즈마 계측 방법인 발광분광법(OES)과 optical actinometry의 적합성을 확인하기 위해서 Cl2 가스 주입량에 따른 actinometer 기체(Ar)에 대한 atomic Cl 농도비를 계측하였고, actinometry 이론에 근거하여 linear regression error 1.9%을 보였다. 다음으로, O2 가스 주입비에 따른 Cr 및 PR의 식각률(etch rate)을 계측함으로써 식각 선택비(etch selectivity)의 변화율이 적은 O2 가스 농도 범위(8-14%)를 확인하였고, 이 구간에서 임계치수 균일도가 가장 좋을 것으로 예상할 수 있었다. (그림 1) 또한, spatially resolvable optical emission spectrometer(SROES)를 사용하여 플라즈마 챔버 내부의 O atom 및 Cl radical의 공간 농도 분포를 확인하였다. 포토마스크의 임계치수 균일도(CDU)는 챔버 내부의 식각 선택비의 변화율에 강하게 영향을 받을 것으로 예상하였고, 이를 입증하기 위해 각각 다른 O2 농도 환경에서 포토마스크 임계치수 값을 확인하였다. (표1) O2 11%에서 측정된 임계치수 균일도는 1.3nm, 그 외의 O2 가스 주입량에 대해서는 임계치수 균일도 ~1.7nm의 범위를 보이며, 이는 25% 임계치수 균일도 향상을 의미함을 보인다.

• 대한수학회지
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• 제39권1호
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• pp.91-102
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• 2002

Let M and N be CR manifolds with nondegenerate Levi forms of hypersurface type of dimension 2m ＋ 1 and 2n ＋ 1, respectively, where 1 $\leq$ m $\leq$ n. Let f : M longrightarrow N be a CR mapping. Under a generic assumption we construct a complete system of finite order for the infinitesimal deformations of f. In particular, we prove the space of infinitesimal deformations of f forms a finite dimensional Lie algebra.

• 대한수학회보
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• 제42권4호
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• pp.777-787
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• 2005

In this paper we study (n + 1)-dimensional compact contact CR-submanifolds of (n - 1) contact CR-dimension immersed in an odd-dimensional unit sphere $S^{2m+1}$. Especially we provide necessary conditions in order for such a sub manifold to be the generalized Clifford surface $$S^{2n_1+1}(((2n_1+1)/(n+1))^{\frac{1}{2}})\;{\times}\;S^{2n_2+1}(((2n_2+1)/(n+1)^{\frac{1}{2}})$$ for some portion (n1, n2) of (n - 1)/2 in terms with sectional curvature.

• 대한수학회보
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• 제52권1호
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• pp.215-222
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• 2015

We show that homology group on a contact CR-warped product submanifold in odd dimensional sphere is zero under certain conditions in terms of warping function and the dimension of the submanifold.

• 대한수학회논문집
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• 제13권3호
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• pp.561-577
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• 1998

We study (n＋3)-dimensional contact three CR submanifolds of a Riemannian manifold with Sasakian three structure and investigate some characterizations of $S^{4r＋3}$(a) $\times$ $S^{4s＋3}$(b) ($a^2$＋ $b^2$=1, 4(r ＋ s) = n - 3) as a contact three CR sub manifold of a (4m＋3)-dimensional unit sphere.

• 대한수학회보
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• 제47권3호
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• pp.541-549
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• 2010

In this paper we derive an integral formula on an (n + 1)-dimensional, compact, minimal contact CR-submanifold M of (n - 1) contact CR-dimension immersed in a unit (2m+1)-sphere $S^{2m+1}$. Using this integral formula, we give a sufficient condition concerning with the scalar curvature of M in order that such a submanifold M is to be a generalized Clifford torus.

• 대한수학회보
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• 제44권1호
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• pp.109-116
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• 2007

We study an (n+1)($(n{\geq}3)$-dimensional contact CR-submanifold of (n-1) contact CR-dimension in a (2m+1)-unit sphere $S^{2m+1}$, and to determine such sub manifolds under conditions concerning the second fundamental form and the induced almost contact structure.

• 대한수학회지
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• 제37권4호
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• pp.503-519
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• 2000

It is well-known that an analytic generic CR submainfold M of codimension m in Cn+m is locally transformed by a biholomorphic mapping to a plane Cn$\times$Rm ⊂ Cn$\times$Cm whenever the Levi form L on M vanishes identically. We obtain such a normalizing biholomorphic mapping of M in terms of the defining function of M. Then it is verified without Frobenius theorem that M is locally foliated into complex manifolds of dimension n.

• 한국재료학회지
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• 제4권6호
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• pp.704-709
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• 1994

Crystal Structure and Magnetic Properties of $(LaS)_xCrS_2(x \approx 1.20$)가 1273K에서 $La_S_3$ , Cr, S의 혼합물의 반응으로부터 합성되었다. $(LaS)_xCrS_2( x\approx 1.20$)의 XRD회절 pattern은 monoclinic의 LaS-부격자, triclinic의 $CrS_{2}$-부격자와 그들의 초격자로서 해석되었다. 부격자의 온도의존성을 저온에서 X-선 회절분석으로 조사하였다. 77K~실온의 온도역에서 $(LaS)_xCrS_2(x \approx 1.20$)의 자기자화율을 Faraday balance법으로 측정하였다. $(LaS)_xCrS_2(x \approx 1.20$)은 실온 $\sigma$ -H plot에서 paramagnetic한 거동을 나타내었다. 관측된 유효자기 moment($\mu_{eff}$)는 $Cr^{3+}$을 spin-only에 의한 것과 $La^{3+}$을 spin-only와 orbital에 의한 것으로 계산할 경우 잘 일치되었다.

• 대한수학회보
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• 제48권3호
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• pp.585-600
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• 2011

In this paper we derive an integral formula on an (n + 3)-dimensional, compact, minimal contact three CR-submanifold M of (p-1) contact three CR-dimension immersed in a unit (4m+3)-sphere $S^{4m+3}$. Using this integral formula, we give a sufficient condition concerning the scalar curvature of M in order that such a submanifold M is to be a generalized Clifford torus.