Real time monitoring of In-Line type sputtering system using an in-vacuo wireless camera (내장형 무선 카메라를 이용한 In-Line type 스퍼터링 시스템 내부의 실시간 모니터링)
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- Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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- 2009.10a
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- pp.243-244
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- 2009