• 제목/요약/키워드: 1 자유도

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저진공, 고진공, 초고진공 영역에서의 잔류가스질량분석기 설계특성

  • 박창준;안종록;조복래;한철수;안상정
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.108.2-108.2
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    • 2014
  • 잔류가스측정 질량분석기(RGA)는 진공챔버 내부의 진공상태 이상유무, 공정상태 확인 및 주입가스 농도제어 등 여러 종류의 작업에 응용되고 있다. 반도체용 박막 제조공정(PVD, CVD)에서 챔버 내의 수분 혹은 불순물 가스의 정확한 모니터링은 반도체 품질향상에 매우 중요하다. 1 Pascal 진공도의 증착용 챔버에 RGA를 직접 장착하여 작동시키기 위해서는 저진공용 RGA가 사용되어야 한다. 10-3 Pascal에서 6m 자유운동거리를 갖는 질소분자는 1 Pascal에서는 6 mm로 짧은 자유운동거리를 갖는다. 따라서 1 Pascal 저진공영역에서 이온을 생성시키고 mass filter를 사용하여 질량분석을 하기 위해서는 이온원과 mass filter 길이가 자유운동거리 수준으로 작아져야한다. 저 진공영역에서는 검출기와 전자방출용 필라멘트가 저진공에서 작동되도록 일반고진공용 RGA와는 완전히 다르게 소형으로 설계 제작되어야 한다. 10-7 Pascal 이상의 초고진공에서 사용되는 RGA는 이온원이 작동할 때 발생하는 outgassing을 낮추도록 설계가 되어야 초고진공의 유지가 가능하다. 한국표준과학연구원에서 현재 개발 중인 일반고진공용 RGA를 소개하고 저진공용과 초고진공용 RGA의 설계특성을 발표한다.

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열응력에 의한 얇은 복합적층판의 자유경계단 부위 파손 (Thermal Stress-induced Edge Failure of Thin Composite Laminates)

  • 이성혁;최낙삼
    • Composites Research
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    • 제12권1호
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    • pp.28-36
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    • 1999
  • 본 연구에서는 얇은 탄소섬유/에폭시 복합적층판(두께 1mm)의 냉각열응력으로 인한 자유경계단 근처의 파손을 유한요소 수치해석과 초음파 C-scan, 광학 및 전자현미경 관찰을 통하여 검토하였다. 수치해석 결과, 복합적층판의 자유단 근처의 내부층에서 층냄 및 층간응력이 크게 나타났다. 액체질소에 의한 저온담금질 실험결과, 적층강도가 $[0_2/90_2]_s,\;[45_2/-45_0]_s,\;[0_2/60_2]_s$인 적층판의 층간근처의 내부층 쪽에서만 모재 및 계면부에서 진전하는 층내균열이 발생하였다. 이들 결과는 위의 수치해석 결과와 일치했다.

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부산항 관세자유지대의 경제적 파급효과에 관한 연구 - 부산신항만 1단계 준공시점을 대상으로 - (The Economic Impact of Establishing a Customs Free Zone in the Port of Busan Focusing on the Time of Completion of the 1st Phase of the New Port of Pusan)

  • 이수호;손애휘
    • 한국항만경제학회지
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    • 제17권1호
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    • pp.53-72
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    • 2001
  • This study focuses on analyzing the economic effects and probes the necessity of establishing a customs free zone at the Port of Busan. It first considers the economic effects of establishing a customs free zone at the Port of Busan, then suggests policy prescriptions for introducing and operating the free zone system and improving the logistics functions of the Port. The timeline of this study is focused on 2007, when all of Busan Port will operate as a customs free zone and the first stage of the New Busan Port and distribution parks will be built and opened for operation. The regression analysis, which was conducted using the inter-industry relations table(input-output table data), provided a quantitative prediction on the effects of making Busan Port into a customs free zone. Regarding the impact of a free zone system on the domestic and regional economy, this research found that the impact of a customs free zone on domestic industries and the regional economy once the customs free zone is established throughout all of Busan Port would be highly positive. The positive economic effects on the domestic and Busan regional economy might be further strengthened if the value-added logistics function of Busan Port could be supplemented by effective linking to the hinterlands.

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산국(山菊)의 자유라디칼 소거 물질 분리 및 동정 (Isolation and Structure Elucidation of Radical Scavengers from Chrysanthemum boreale Makino)

  • 한완수
    • 한국약용작물학회지
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    • 제11권1호
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    • pp.1-4
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    • 2003
  • 천연물로부터 항산화 활성물질을 목적으로 DPPH 자유 라디칼 소거활성 검색법을 이용하여 검색을 실사하고, 유의한 활성을 나타낸 산국 메탄올 추출물로부터 2종의 화합물을 분리하고 기기분석을 이용하여 화합물 1과 2의 구조를 apigenin과 acacetin-7-O-rutinoside (Linarin)으로 동정하였다. 이들 화합물은 각각 13.3 및 $42.1{\mu}g$의 농도에서 DPPH 라디칼을 50% 소거하는 활성을 나타내었으며, 화합물 1은 양성 대조양물인 L-ascorbic acid $(RC_{50}\;=\;13.1{\mu}g)$에 비하여 강한 활성을 나타내었다.

EMF 방법에 의한 $BaCuO_2$의 생성자유에너지 측정 (Measurement of Formation Free Energy of $BaCuO_2$ by EMF Method)

  • 김수권
    • 한국재료학회지
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    • 제6권2호
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    • pp.228-234
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    • 1996
  • BzCuO2 의 생성 자유에너지를 이중 이온교환된 Ba2+-$\beta$/$\beta$"-AI2O3를 전해질로 사용하여 다음과 같은 생성셀로부터 측정하였다. Au(po2=10-3)/Au+BaCuO2+CuO// Ba2+-$\beta$/$\beta$"-Au이 갈바닉셀에서 BzCuO2 의 임의의 생성식과 생성자유에너지는 다음과 같다. BaO+CuO=BaCuO2 $\Delta$fGo/kJ.mol-1=-77.3-3.3x10-3T/K.3x10-3T/K.

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비등방성 반도체 양자우물에서의 자유전자 흡수에 의한 광자의 흡수계수의 모델링 (Modeling of free carrier absorption coefficients in anisotropic semiconductor quantum well structures)

  • 김경염
    • 한국광학회지
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    • 제10권1호
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    • pp.80-86
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    • 1999
  • 비등상성 반도체 양자우물에서의 자유전자 흡수에 의한 광자의 흡수계수를 모델링하였다. Intravalley scattering과 interalley scattering에 의한 자유전자 흡수가 모두 고려되었고 양자우물내의 각각의 부밴드가 광자의 흡수에 기여하는 정도도 따로 계산되었다. 또한 이 모델의 타당성을 검증하기 위해, Si에 $\delta$-도핑을 이용하여 형성한 얀자우물에 대하여 시물레이션을 수행하고 문헌의 실현결과와 비교하여 그 적절성을 보였다.

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Manta 형상 무인잠수정의 설계과정 및 제어실험에 관한 연구 (A Study on Design Process and Control Test of Manta-type Unmanned Underwater Test Vehicle)

  • 변승우;임종국;김준영
    • 한국산학기술학회:학술대회논문집
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    • 한국산학기술학회 2009년도 추계학술발표논문집
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    • pp.152-155
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    • 2009
  • 본 논문에서는 Manta 형상 무인잠수정의 자유항주모델을 설계하였고 이를 이용하여 제어실험을 실시하였다. 제작된 MUUTV모형은 직진방향으로 1개의 추진기를 가지고 있으며, 승강타와 방향타를 이용하여 수심 및 방향 제어를 실시하게된다. MUUTV는 수심제어시 사용되는 수심을 측정하기 위한 압력센서, 방향제어를 위해 방향각 측정을 위한 마그네틱 컴파스가 설치되어있으며, 잠수정의 전체적인 운용을 위한 Windows XP기반의 소형 On-board PC104가 장착되어있다. 시뮬레이션에 사용된 6자유도 운동모델은 PMM실험과 이론적 추정을 통해 얻어진 유체동역학계수와 파라미터를 이용하여 구성된다. 잠수정의 운동성능과 제어응답을 비교하기 위해 PID, 슬라이딩모드, 퍼지, 제어기가 설계되었으며, 이를 통해 제어 성능을 비교하고자 하였다. 또한 제작된 모델을 이용하여 수심 및 방향제어 실험을 수조에서 실시하였다.

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원호형 곡선보의 면외 자유진동에 관한 수치해석적 연구 (Out of Plane Free Vibrations of Circular Curved Beams)

  • 이병구;오상진
    • 전산구조공학
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    • 제9권1호
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    • pp.133-139
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    • 1996
  • 이 논문은 원호형 곡선보의 면외 자유진동에 관한 연구이다. 곡선보 요소의 동적 평형방정식에 Timoshenko 이론을 적용하여 원호형 곡선보의 자유진동을 지배하는 상미분방정식을 유도하고 이를 수치해석하여 고유진동수를 산출할 수 있는 개략해법 중 하나인 수치해석기법을 개발하였다. 수치해석기법에서 미분방정식의 수치적분은 Runge-Kutta method를 이용하였고, 고유진동수의 결정은 Regular-Falsi method를 이용하였다. 실제 수치해석예에서는 회전-회전보, 고정-고정보에 대하여 시행하고 고유진동수에 미치는 무차원 변수들의 영향을 고찰하였다.

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자유흐름장 내의 회전하는 와류쌍에 의한 근거리 및 원거리 음장해석 (Calculation of Near and Far Acoustic Fields Due to a Spinning Vortex Pair in Free Field)

  • 구삼옥;유기완;이덕주
    • 한국전산유체공학회지
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    • 제2권1호
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    • pp.29-36
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    • 1997
  • 자유흐름장에 놓여 있는 회전 와류쌍을 음원으로 갖는 비정상 유동장에서 사극음원이 음장에 미치는 효과를 알아보기 위해 이차원 음장 수치해석을 시도하였다. 비압축성 유동장에 대한 비정상 수력정보를 기반으로 오일러식에서 교란 압축성 소음항을 도출하였다. 원거리 자유 경계면은 비반사 경계조건을 이용하여 매우 안정된 해를 얻을 수 있었다. 계산된 결과들은 MAE 방법과 비교하여 정확도를 입증하였다. 본 연구를 통해 비압축성 압력교란을 원천항으로 하여 물체가 존재하지 않는 경우에도 사극음원에 의한 음장을 수치적으로 계산이 가능함을 입증하였다.

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초격자 반도체에서 전기장에 의한 Continuum Transitions들의 Dephasing (Dephasing of continuum transitions induced by an electric field in semiconductor superlattices)

  • 제구출;박승한
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2000년도 제11회 정기총회 및 00년 동계학술발표회 논문집
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    • pp.26-27
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    • 2000
  • 층 성장 방향으로 정전기장을 걸어준 GaAs/AlGaAs 초격자 반도체에서, 두 개의 100 fs 광학 펄스에 의해 생성된 four-wave-mixing(FWM) 신호의 dephasing 현상을 반도체 블록 방정식을 사용해서 분석하고자 한다. 이 FWM 신호의 이완은 전하-전하와 전하-포논 충돌과 같은 phase-breaking 충돌 과정들에 의해서 야기되는 비선형적인 광분극의 dephasing에 의해서 결정되어 진다.$^{(1)}$ 이 비선형적인 광분극은 펄스들에 의해서 동시에 여기되어 나타나는 자유전하 분극과 엑시톤 분극으로 구성되는데, 이 두 분극의 이완시간 특성은 서로 다른 거동을 보인다.$^{(2,3)}$ GaAs/AlGaAs 초격자 반도체에서 이 자유 전하 분극의 dephasing이 엑시톤 분극의 dephasing 보다 훨씬 빠르게 일어나고, 엑시톤이 자유 전하의 특성을 갖게 될수록, 즉 온도가 높을수록 또 엑시톤이 3차원의 특성을 가질수록 이 dephasing은 빠르게 일어난다.$^{(4)}$ (중략)

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