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He-SiH4혼합가스를 이용하여 RF-PECVD에 의해 증착된 수소화된 나노결정질 실리콘 박막의 재료적 특성에 관한 연구

  • 김인교;정호범;임종혁;김경남;염근영
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.170-170
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    • 2011
  • 태양전지와 박막 트랜지스터를 위한 유망한 재료로서 수소화된 비정질 실리콘과 나노결정 실리콘 박막이 관심을 받아 왔다. 특히, 수소화된 나노결정 실리콘 박막은 비정질 대비 높은 방향성과 조밀한 구조 덕에 박막 태양전지나 TFT(Thin film transistor) 소자의 성능 향상에 기여할 수 있는 물질로 연구되고 있다. 이러한 박막들은 보통 $SiH_4$같은 Si을 포함한 가스에 다량의 $H_2$를 희석시켜 플라즈마 화학 증착법(PECVD, Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)에 의해 성장된다. 이러한 CVD증착 방식을 이용하여 결정화된 박막을 얻기 위해서는 대개 높은 수소 희석비를 이용하는 것이 일반적이나, 이러한 공정 방식은 실리콘이 결합되어야 할 결합위치에 bonding energy가 더 높은 수소의 결합을 촉진하게 된다. 이러한 특성은 박막 태양전지에서 효율을 떨어뜨리는 주요 요소로 작용하고 있다.(1) 본 연구에서는 수소의 결합 확률을 낮춘 결정화된 박막을 성장시키기 위해 수소를 대신하여 헬륨을 희석가스로 사용하여 박막을 증착하고 그 특성을 분석해 보았다. 박막의 구조적 특성, 결정화도(Xc), 플라즈마 내 활성 라디칼(Active radical in plasma), Si-H결합 특성, 전도도(Conductivity)와 같은 박막 특성을 알아보기 위해 주사전자현미경(SEM, Scanning Electron Microscopy), 라만 분광기(Raman spectroscopy), 광 방출 분광기(OES, Optical Emission Spectrocopy), 적외선 분광기(FT-IR, Fourier Transform-Infrared Spectroscopy), Keithley measurement kit이 사용되었다. 수소를 대신하여 헬륨을 사용함으로써 동일 결정화도 대비 10%이상 낮은 microstructure factor 값을 얻을 수 있었으며 인가되는 RF 전력을 140W까지 증가시켰을 때 약 80%의 결정화도를 관찰할 수 있었다.

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Poly-$\beta$-hydroxybutyrate 생산을 위한 연속배양에서 포도당 및 암모늄 농도의 영향 (Effects of Glucose and Ammonium Concentrations in Continuous Culture for Poly-$\beta$-hydroxybutyrate Production)

  • 이용우;유영제
    • 한국미생물·생명공학회지
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    • 제20권5호
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    • pp.597-606
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    • 1992
  • Alcaligenes eutrophus 균주로 poly-Beta-hydroxybutyrate(PHB) 생산을 위한 연속배양 공정의 성능에 미치는 희석비율, 주입 포도당 및 염화암모늄농도의 영향에 대하여 연구하였다. 주입 기질농도가 일정할때( 주입 포도당농도=20g/l, 주입 염화암모늄농도=2g/l), 생체성장속도와 PHB생성속도는 희석비율이 각각 0.1, $0.06h^{-1}$에서 최고 값을 나타냈고, $0.13h^{-1}$에서 세포가 전부 배출되었다. 희석비율이 증가함에 따라 비PHB 생성속도는 계속 증가하였지만 PHB 축적비는 50%에서 25%로 감소하였다. 세포농도는 주입 염화암모늄농도가 2g/l일 때 최고값을 나타내었고, 그 이상의 농도에서는 감소하였다. 이 실험결과로 암모늄에 의한 기질저해가 있음을 알 수 있었다. 주입 포도당농도가 30g/l에서 세포농도는 최고값을 나타냈지만 PHB 농도는 계속 증가하였따. 모델속도식에 대한 매개변수는 도식적 방법과 매개변수 추정으로 구하였고 희석비율, 주입 포도당농도, 주입 염화암모늄농도의영향에 대하여 모사한 결과 실험데이타와 잘 일치하였다.

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해리온도와 반응성 희석제 함량에 따른 저점도 폴리우레탄 핫멜트 접착제의 접착특성 (Adhesion Property of Low-Viscosity Polyurethane Hot-Melt Adhesive in according to the Deblocking Temperature and Content of Reactive Diluents)

  • 최민지;정부영;천정미;하창식;천제환
    • 접착 및 계면
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    • 제17권2호
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    • pp.67-71
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    • 2016
  • 본 연구에서는 반응성 희석제 함량에 따라 접착강도 및 물성을 향상시키기 위해 polyether polyol/polyester polyol, 4,4-dicyclohexylmethane diisocyanate ($H_{12}MDI$), 2-butanone oxime (MEKO)를 사용하여 저점도 폴리우레탄 핫멜트를 합성하였다. 합성된 저점도 폴리우레탄 핫멜트의 물성은 FT-IR, viscosity meter 및 UTM 등을 통해 확인하였다. 반응성 희석제의 함량이 증가하고 NCO-blocked prepolymer가 감소함에 따라 저점도 폴리우레탄 핫멜트 접착제의 점도는 증가하였으며, OH-terminated oligomer, NCO-blocked prepolymer, 반응성 희석제 함량의 비가 1 : 0.5 : 0.5일 때 1.1 kgf/cm 접착강도를 나타내었다.

단색에너지(keV)와 조영제 희석비율 변화에 따른 HU(Hounsfield Unit)값 분석: Spectral CT 이용 (Spectral CT Analysis of Hounsfield Unit (HU) according to MonoE (keV) and Dilution Ratio of the Contrast Agent: Use of Spectral CT)

  • 정희라;강진우;권오준;김호진;정다빈;이재현;허영철
    • 한국방사선학회논문지
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    • 제14권5호
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    • pp.669-676
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    • 2020
  • 본 연구의 목적은 Spectral CT에서 단색에너지(keV)와 조영제 희석비율의 변화에 따른 HU 값의 변화를 분석하고자 하였다. 검사장비로는 Spectral CT를 사용하였고, 20 cc syringe의 팬텀을 이용하여 조영제의 희석비율을 8:2, 7:3, 6:4, 5:5, 4:6, 3:7 총 6단계로 설정하였다. 이때 조영제는 비이온성 요오드 조영제(350 mg/ml)를 이용하였다. 획득한 데이터를 IQon-Spectral CT V4.7.5 프로그램을 사용하여 Monoenergy(MonoE) 40 keV, 45 keV, 50 keV, 55 keV, 60 keV, 65 keV, 70 keV, 75 keV, 80 keV 총 9단계로 변화시켜 syringe axial 영상을 재구성하였다. 재구성한 syringe axial 단면 영상의 세 위치에서 HU 값을 측정하였으며, 총 1,620회 측정하였다. keV와 조영제 희석비율의 변화에 따른 HU 값을 분석한 결과, MonoE별 희석비율에 따른 HU 비교에서 모든 MonoE에서의 HU 값이 희석비율 8:2에서 가장 높았으며 3:7에서 가장 낮았다(p<0.05). 희석비율별 MonoE에 따른 HU 비교에서 모든 희석비율에서의 HU 값이 40 keV에서 가장 높았으며 80 keV에서 가장 낮았다(p<0.05). 인자별 상관성은 keV에 따른 HU 값은 -15.014 ± 0.298의 음의 상관성(R2=0.519)이 있었고 희석비율에 따른 HU값 은 -61.372 ± 3.608의 음의 상관성(R2=0.152)이 있었다(p<0.05). 결론적으로 keV 값과 조영제 희석비율이 증가할수록 HU 값은 감소하는 것을 확인하였으며 본 연구가 Spectral CT의 HU 값 관련 인자 연구에 있어 기초자료를 제공할 수 있을 것이라 사료된다.

충남 지역 하수 슬러지의 물리$\cdot$화학적 특성에 따른 재활용 방안 연구 - 무기물을 중심으로 -

  • 이기환;이태호;조헌영;한기석
    • 한국환경과학회:학술대회논문집
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    • 한국환경과학회 2000년도 정기총회 및 봄 학술발표회
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    • pp.259-260
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    • 2000
  • 충남 지역에서 발생되는 하수 슬러지의 물리$\cdot$화학적 특성을 고려하여 적정 처분 방안을 검토하기 위하여 중금속 및 비휘발성 고형물 분석을 수행하였다. 충남 지역에서 발생되는 하수 슬러지의 중금속 함유량은 기준치 이하로서 다소 안전하다 할 수 있으나 지속적인 관리가 요구되며, 이러한 중금속의 함유량도 타폐기물과의 혼합으로 희석효과를 가질 수 있을 것으로 사료된다. 또, 하수 슬러지의 광물 낙석 결과 하수 슬러지의 비휘발성 고형분의 성분은 시멘트 원료로 쓰이는 점토질과 유사하며 소각후에 연소재를 이용한 경량 골재 및 다른 2차 제품의 제조 가능성이 높은 것으로 판단된다.

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악취오염물질의 업종별 배출특성에 관한 연구 (A Study on Emissive Characteristics of Odor Pollutants from Various Facilities)

  • 이용기;이기종;우정식;손진석
    • 한국대기환경학회:학술대회논문집
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    • 한국대기환경학회 2003년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.413-414
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    • 2003
  • 산업이 발달하고 경제가 성장될수록 환경을 오염시키는 신종 오염물질은 계속 증가하는 반면 인간의 삶의 질 향상으로 대기질 개선에 대한 욕구는 과거에 비하여 훨씬 더 높아지고 있다. 산업화이전 악취에 대한 오염문제는 다른 환경 오염에 비하여 아주 작은 위치를 차지하였지만 현대에 와서는 대기오염문제에서 빼놓을 수 없는 사회문제로 대두되고 있다. 악취 원인물질을 정확하게 분석하는 것은 매우 어렵다. 악취에 관한 국내의 측정방법은 대기오염공정시험법에서 직접관능법과 공기희석관능법, 그리고 일부항목에 대한 기기분석법이 제시되고 있다. (중략)

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$SiH_4+H_2$ 대한 플라즈마 장치의 수치 모델링

  • 주정훈
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.410-410
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    • 2010
  • 한TFT-LCD, Solar cell, 반도체 등에 사용되는 Si 박막은 주로 PECVD로 형성한다. 이 때 사용되는 원료 가스로 $SiH_4$가 있으며 대개 $H_2$로 희석해서 사용한다. 저온 증착의 경우 전자 충돌 해리과정을 이용하여 증착이 이루어지며 이 때 중간 생성물로 $SiH_3$, $SiH_2$와 고차유도체($Si_xH_y$)가 생성된다. 고밀도 플라즈마를 이용하는 경우에는 이들의 이온(양, 음)의 비율도 막질 형성에 중요한 요소가 된다. 본 발표에서는 안테나가 외부 및 내부에 있는 경우에 대해서 모델링하였으며 해리된 유도체의 비율은 $SiH_3$ > $SiH_2$의 순서였고 가스 조성비(수소 희석비), U-type 내장형 안테나와 기판 사이의 거리, 챔버 내의 펌핑 포트의 위치 등에 의한 차이가 플라즈마 온도 및 밀도의 균일도에 미치는 영향을 분석하였다. 수치 모델상의 가장 중요한 변수의 하나인 이온, 라디칼의 표면 재결합 상수는 문헌에서 보고된 값을 구하기 어려운 경우에는 가장 실제와 근접한 경향이 나타나는 값을 사용하였다. 이 부분은 분자 동력학 등의 기법을 이용하여 보다 상세한 데이터를 만들어 낼 수 있는 방법의 적용이 필요하다. 기본적인 $SiH_4$의 화학 반응식은 이원기[1]등의 데이터를 이용하였다. 계산 결과 중의 특이한 점의 하나는 고차 유도체인 $Si_2H_4$의 경우 중성보다 오히려 양이온의 밀도가 1 order이상 높았다. 내장형 Y-type 안테나의 경우 전력 흡수 밀도가 $10^7\;W/m^3$ 수준으로 높은 영역이 안테나 주변으로 나타났으며 안테나와 기판 사이의 거리와 압력에 따라서 기판에서의 균일도가 결정 되었다.

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혈관조영검사에서 매개변수 변화에 따른 Roadmap 영상의 화질평가 (Evaluation of Roadmap Image Quality by Parameter Change in Angiography)

  • 공창기;송종남;한재복
    • 한국방사선학회논문지
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    • 제14권1호
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    • pp.53-60
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    • 2020
  • 이 연구의 목적은 Roadmap 영상에서 화질에 영향을 미치는 인자들을 알아보기 위한 것으로, 조영제의 희석률, Collimation Field, Flow Rate를 변화하여 연구를 하였다. 화질의 정량적인 평가를 위해, 아크릴를 이용하여 3mm 혈관모형의 Water Phantom을 자체 제작하였고, 자체 제작한 혈관모형의 Water Phantom으로 Roadmap 영상을 획득하고, SNR(Signal to Noise Ratio)과 CNR(Contrast to Noise Ratio)을 분석하였다. CM : N/S 희석률 변화에 대한 연구에서 CM : N/S 희석률을 (100%~10% : 100%)로 변화를 주었으며, 혈관모형 Water Phantom을 이용하여 촬영한 Roadmap 영상의 SNR과 CNR의 측정 결과 CM에 N/S 희석률이 높아질수록 SNR의 측정값이 점차적으로 낮아짐을 나타났고, CNR의 측정값도 점차적으로 낮아짐을 나타났다. 결론적으로 CM : N/S의 희석률이 높아질수록 SNR과 CNR 낮아짐을 확인하였고, CM : N/S의 희석률(100%~70 : 30%)에서 유의한 이미지를 얻을 수 있음을 확인하였다. Collimation Field 변화에 대한 연구에서 혈관모형 Water Phantom을 이용하여 Colimation Field를 혈관모형 중심으로 좌, 우 2 cm 간격으로 좁히면서 0 cm, 2 cm, 4 cm, 6 cm, 8 cm 10 cm, 12 cm으로 각각 변화를 주었으며, Roadmap을 촬영한 영상의 SNR과 CNR의 측정 결과는 Collimation Field를 혈관모형 중심으로 좁힐수록 SNR과 CNR의 측정값이 증가하는 것을 확인할 수 있었다. Flow rate 변화에 대한 연구에서 Autoinjector의 Volume을 15로 일정하게 하고, Flow Rate를 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10 으로 각각 변화를 주었다. 혈관모형 Water Phantom을 이용하여 Roadmap 영상을 촬영한 이미지의 SNR과 CNR의 측정 결과 Flow Rate를 증가했을 때, SNR의 측정값이 점차적으로 감소하다가 Flow Rate 9~10에서 SNR의 측정값이 점차적 증가를 보였고, CNR의 측정값도 점차적으로 감소하다가 Flow Rate 9~10에서 CNR의 측정값이 점차적으로 증가를 보였다. 그러나 ROI Mean 값과 Background Mean 값으로 SNR과 CNR의 상관관계를 확인할 수 없었다. 상관관계를 확인하기 위해 Flow Rate 변화에 따른 Roadmap 연구는 향후 더 많은 연구로 확인해야 할 것으로 사료된다. 결론적으로 Roadmap 영상의 화질에 영향을 미치는 인자들을 알아보기 위해 조영제의 희석률, Collimation Field, Flow Rate 변화에 대한 연구에서 조영제에 N/S의 희석률이 증가할수록 SNR과 CNR이 낮아져 화질과 대조도가 낮아지는 것을 확인하였으며, Collimation Field를 좁힐수록 SNR과 CNR이 증가하여 화질과 대조도가 높아지는 것을 확인하였다. 그러나 Flow Rate 변화에 대한 연구에서는 상관관계를 확인할 수 없었다. 검사 및 시술을 할 때 신장의 영향을 최소화하기 위해 적절한 조영제 농도 선택과 대조도 향상 및 피폭 감소를 위한 적절한 Collimation Field를 사용하는 것이 유용할 것으로 판단된다.

한정된 공간에서의 희석 고분자 용액의 흐름 (Flow of Dilute Polymer Solutions in the Confined geometry)

  • 박오옥
    • 유변학
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    • 제4권1호
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    • pp.62-69
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    • 1992
  • 한정된 공간 속을 희석 고분자 용액이 흐를 때 그공간의 특성 길이가 고분자의 그 것과 비슷한 경우에는 실험적으로 무한 공간에비하여 점도가 작게 됨을 보였다, 잔탄 검 용 액과 폴리아크릴 아미드 용액이 원통형 다공을 가진 고분자 막을 통해 흐를때의 점도를 뉴 톤 영역뿐 아니라 비뉴톤 영역에서도 한꺼번에 측정할 수 있는 흐름장치를 만들어 실험하였 다, 뉴톤 점도는 다공의 크기가 줄어들수록 줄어드는 경향을 보였는데 이는 두 특성 길이의 비로서 설명할수 있었다, 비뉴톤 점도 영역에서의 지표(power law index)는 폴리아크릴 아 미드 용액에서는 차이가 발견되지 않았으나 잔탄 검용액에서는 다공의 크기가 감소할수록 점점 작은 값을 보였다, 이것은 두 고분자 사슬의 경직성 차이에 기인된다 하겠다. 결론적으 로 벽 근처에 분차 크기 정도의 고분자 희박 영역이 존재하고 그 영역내에서는 고분자 사슬 의 배향 구조가 제한적이다고 하는 이론적 설명과 부합되는 결과를 얻었다.

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고려인삼이 벼의 생장 및 수확에 미치는 영향 (The Effect of Korean Ginseng on Growth and Harvest of the Rice Plant)

  • 주충노;임수길
    • Journal of Ginseng Research
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    • 제11권1호
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    • pp.66-76
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    • 1987
  • 벼씨를 고려인삼차(영수삼차, 고려인삼제품(주)제품) 수용액(100배 희석)으로 28시간 불린 다음 파종하면 벼의 초기발육에 좋고 특히 파종직후 인삼차수용액(30배 희석)로 철포(10l/a)하면 그 효과가 더욱 좋았으며 병충해에 대한 내성이 증가하였다. 수확면으로 보면 무처리군에 비하며 벼씨만 인삼차수용액으로 처리한 것이 9.4% 증산, 인삼차수용액으로 처리한 것이 9.4% 증산, 인삼차수용액으로 처리한 벼씨를 파종한 직후 다시 진한 인삼차수용액을 철포한 것이 17.7% 증산의 성적을 보였다.

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