• Journal of the Korean Vacuum Society
• /
• v.4 no.S1
• /
• pp.178-184
• /
• 1995

SiO2 위에 as-dep. 비정질 Si1-xGex 합금박막을 증착하기 위하여 Si2H6 와 GeH4 가스를 사용한 저압 화학 기상증착(LPCVD)에 관하여 연구하였다. 증착온도는 $400-500^{\circ}C$였으며, 공정압력은 0.5-1Torr 였다. 박막내의 Ge 함량은 온도 및 증착가스의 유량이 일정하면 공정압력이 증가함에 따라 증가하였고, 공정압력 및 증착가스의 유량이 일정하면 증착온도에 관계없이 일정하였다. 일정한 Si2H6가스의 표면반응은 박막내의 Ge 원자에 의해 촉진됨을 알 수 있었다. 조성이 일정한 Si1-xGex 박막의 증착속도는 증착온도 증가에 따라 Arrhenius 형태로 증가하여, Si, Si0.84Ge0.16,Si0.69Ge0.31박막증착의 활성화에너지는 각각 1.5, 1.13, 1 eV로서 박막내의 Ge함량이 증가함에 따라 활성화 에너지는 감소하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2013.08a
• /
• pp.243.2-243.2
• /
• 2013

본 실험에서 $SiO_2$, $SiN_x$ 게이트 절연막에 따른 ITZO 산화물 반도체 트랜지스터를 제작하여, 온도변화에 따라 전달 특성 변화를 측정하여 열에 대한 소자의 안정성을 비교, 분석하였다. 온도가 증가함에 따라 carrier가 증가하는 온도 의존성을 보이며, 이로 인해 Ioff가 증가하였다. multiple-trapping 모델을 적용하여, 이동도 증가와 문턱 전압이 감소를 확인하였다. 또한 M-N rule을 적용하여 $SiO_2$, $SiN_x$ 게이트 절연막을 가진 ITZO 산화물 박막 트랜지스터의 활성화 에너지를 추출하고, sub-threshold 지역에서 활성화 에너지의 변화량이 $SiO_2$, SiNX 각각 0.37 eV/V, 0.24 eV/V로 차이를 통해 $SiN_x$ 게이트 절연체를 가진 ITZO 산화물 반도체 트랜지스터의 이동도와 문턱 전압의 변화가 더 컸음을 확인하였다.

• Proceedings of the Korea Association of Crystal Growth Conference
• /
• 1997.10a
• /
• pp.135-144
• /
• 1997

표면 활성효과에 대한 비정질 규소 박막의 고성결정화 특성을 연구하였다. 증착된 비정질 규소 박막에 macro한 방법으로 wet blasting을, micro한 방법으로 자기이온주입으로 표면 활성화 처리를 행한 후 열처리를 하여 결정립의 결정화 특성을 보았다. 열처리는 관상로를 이용한 저온 열처리와 RTP를 이용한 급속 열처리의 두 가지 방법으로 하였다. 결정화의 기준으로 XRD분석을 통해 얻은 (111) 피크 강도를 이용하였으며, 결정의 품질을 비교하기 위해 Raman 분석을 하였다. 기계적 damage를 이용한 표면 활성화는 결정화를 촉진함을 확인하였으며 활성화 방법에 따른 결정화 영향 변화정도는 열처리 온도가 증가함에 따라 감소하였다.

• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
• /
• 1996.05c
• /
• pp.133-138
• /
• 1996

원자로의 중기발생기 재료로 사용되어온 Alloy 600에서의 규칙 반응에 대한 활성화 에너지 측정, aging에 따른 미세조직의 변화에 근거하여 입계 응력 부식 균열 기구를 검토하였다. Alloy 600에서는 약 50$0^{\circ}C$ 이하의 온도에서 aging 처리중 단범위 규칙 상의 존재 및 규칙 반응의 존재가 입증된 바 있다. 규칙 반응의 본성이 열적활성화 과정에 의한 것이라는 점, 규칙 반응에 대한 활성화 에너지의 크기와 입계응력부식균열의 활성화 에너지와의 유사성, 규칙 반응에 의한 쌍정의 형성, 쌍정의 형성에 기인한 결정내의 추가적 응력의 발생 등에 근거하여 Alloy 600에서 나타나는 입계응력부식균열 현상이 규칙 상의 형성과 관련되어 있음을 제안하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2012.02a
• /
• pp.376-376
• /
• 2012

본 연구는 Poly-Si에 이온 주입된 Boron의 Activation 거동을 연구하고자 SLS (Sequential Lateral Solidification) Poly-Si과 ELA (Excimer Laser Annealing) Poly-Si의 활성화 거동을 비교 분석하였다. SLS 및 ELA 결정화 방법으로 제조된 Poly-Si을 모재로 비 질량 분리 방식의 ISD (Ion Shower Doping) System을 사용하여 2.5~7.0 kV까지 이온주입 하였다. 이온주입 후 두 가지의 열처리 방법, 즉, FA 열처리(Furnace Annealing)와 RTA 열처리(Rapid Thermal Annealing)를 사용하여 도펀트 활성화 열처리를 수행하고 이온주입 조건 및 활성화 열처리 방법에 따른 결함 회복 및 도펀트 활성화 거동의 변화를 관찰하였다. TRIM-code Simulation 결과 가속 이온 에너지와 조사량이 증가 할수록 이온주입 시 발생하는 결함의 양이 증가하는 것을 정량적으로 계산하였다. 실험 결과 결함의 양이 증가 할수록 Activation이 잘되는 것을 관찰할 수 있었다. SLS Poly-Si에 비하여 ELA Poly-Si의 경우 도펀트 활성화 열처리 후 활성화 효율이 높게 나타났다. 본 결과는 Grain Boundary의 역할과 밀접한 관계가 있으며 간단한 정성적인 Model을 제시하였다. 활성화 효율의 경우 RTA 열처리 시편이 FA 시편에 비하여 높은 것이 관찰되었다. 본 결과는 열처리 온도 및 시간에 따라 변화하는 Boron의 특이한 활성화 거동인 Reverse Annealing 효과에 기인하는 것으로 규명되었다.

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 2003.07c
• /
• pp.1445-1447
• /
• 2003

산업공장에서 저압케이블이 지중에 집중 매설되어 있는 경우 운전전류에 의한 케이블 도체온도가 도체허용온도를 초과할 수 있다. 또한 절연재질의 활성화 에너지와 환경온도로 표현되는 아레니우스 모델의 환경온도 대신 운전전류에 의해 계산된 도체온도를 사용하여 케이블의 수명을 예측하여 보았다.

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• summer
• /
• pp.418-420
• /
• 2004

전기1급 케이블의 활성화에너지, 가속노화온도 및 가속노화시간 둥을 이용하여 아레니우스(Arrhenius) 방정식에 근거한 케이블 정격온도 및 실제 사용 가능한 운전온도에서 이론적 수명을 계산하고, 정격온도 이외에서의 허용전류를 계산하였다. 또한, 정격온도를 어느 정도 낮추어 사용하면 표준원전에서 기 검증된 전기1급 케이블을 차세대원전 설계수명인 60년간 사용이 가능한지 계산 및 정격온도 감소 적용시 전력케이블 설계영향 둥을 고찰해 보았다.

• Applied Chemistry for Engineering
• /
• v.9 no.3
• /
• pp.419-423
• /
• 1998

Indonesian coal-based activated carbon was manufactured with steam-reaction method. Also effects of carbonization temperature and steam amount on the process yield and quality of the product were investigated at the activation temperature of $900^{\circ}C$. The rotary kiln type furnace was used for both carbonization and activation and the optimum operation conditions were carbonization temperature of $700^{\circ}C$, steam amount of 2.7g steam/g char and activation temperature of $900^{\circ}C$. At this condition, the iodine value of activated carbon was 1,010 mg/g. Methylene Blue Adsorption Number was 230mg/g and B.E.T. surface area was $1,020m^2/g$ with the hardness about 97.

• Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
• /
• v.20 no.5
• /
• pp.75-84
• /
• 2016

This paper presents an investigation of the mechanical properties on non-sintered cement pastes immersed in sea waters at three different temperatures. The non-sintered cement pastes were synthesized using blended binder(Class F fly ash; FA and ground granulated blast furnace slag; GGBFS) and alkali activator(sodium hydroxide and sodium silicate). Binders were prepared by mixing the FA and GGBFS in different blend weight ratios of 6:4, 7:3 and 8:2. The alkali activators were used 5wt% of blended binder, respectively. Calcium carbonate was used as an chemical additive. The compressive strength, bulk density and absorption of alkali-activated FA-GGBFS blends pastes were measured at 3 and 28 days after immersed in sea waters at three different temperatures($5^{\circ}C$, $15^{\circ}C$ and $25^{\circ}C$). The XRD and SEM tests of the pastes were conducted at 28 days. Water-soluble chloride(free chloride) and acid-soluble chloride(total chloride) contents in the pastes were also measured after 28 days immersion in sea water. The experimental results showed that increasing the content of FA in alkali-activated FA-GGBFS blends pastes immersed in sea water increases the absorption, water-soluble chloride content and acid-soluble chloride content, and reduces the compressive strength and bulk density. And it was found that there was a variation of strength change for the alkali-activated FA-GGBFS blends pastes immersed in sea waters at three different temperatures that depends on the blending ratio of FA and GGBFS.

• Journal of the Korean Ceramic Society
• /
• v.40 no.5
• /
• pp.468-474
• /
• 2003

Activated carbon fibers were prepared from stabilized PAN fibers by physical and chemical activation to compare their characteristics. In this study, stabilized PAN fibers were activated by physical activation with steam and CO$_2$, and by chemical activation with KOH. The fabricated activated carbon fibers were evaluated and compared such as specific surface area, pore size distribution, pore volume, and amount of iodine adsorption. In the steam activation, a specific surface area of 1635 m$^2$/g was obtained after heat treatment at 990$^{\circ}C$. Otherwise, in the CO$_2$ activation, produced activated carbon fibers had been a specific surface area of 671 m$^2$/g after heat treatment at 990$^{\circ}C$. In chemical activation using KOH, a specific surface area of 3179 m$^2$/g was obtained with a KOH/ stabilized PAN fiber ratio of 1.5 : 1 at 900$^{\circ}C$. Nitrogen adsorption isotherms for fabricated activated carbon fibers showed type I and transformation from type I and II in the Brunauer-Deming-Deming-Teller (B.D.D.T) classification. Increasing specific surface area Increased the amount of iodine adsorption in both activation methods. Because the ionic radius of iodine was smaller than the interior micropore size of activated carbon fibers.