Proceedings of the Korea Association of Crystal Growth Conference (한국결정성장학회:학술대회논문집)

The Korea Association of Crystal Growth (한국결정성장학회)
권호 표지

기계적 damage로 표면 활성화된 비정질 규소 박막의 결정화

  • 이의석 (인천대학교 재료공학과) ;
  • 김형택 (인천대학교 재료공학과) ;
  • 김영관 (인천대학교 재료공학과) ;
  • 문권진 ((주)오리온 전기 평판연구실) ;
  • 윤종규 (서울대학교 금속공학과)
  • Published : 1997.10.01
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Abstract

표면 활성효과에 대한 비정질 규소 박막의 고성결정화 특성을 연구하였다. 증착된 비정질 규소 박막에 macro한 방법으로 wet blasting을, micro한 방법으로 자기이온주입으로 표면 활성화 처리를 행한 후 열처리를 하여 결정립의 결정화 특성을 보았다. 열처리는 관상로를 이용한 저온 열처리와 RTP를 이용한 급속 열처리의 두 가지 방법으로 하였다. 결정화의 기준으로 XRD분석을 통해 얻은 (111) 피크 강도를 이용하였으며, 결정의 품질을 비교하기 위해 Raman 분석을 하였다. 기계적 damage를 이용한 표면 활성화는 결정화를 촉진함을 확인하였으며 활성화 방법에 따른 결정화 영향 변화정도는 열처리 온도가 증가함에 따라 감소하였다.

Keywords