Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2012.02a
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pp.232-232
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2012
반도체 공정에서 일반적으로 오염입자를 측정하는 방법은 테스트 웨이퍼를 ex-situ 방식인 surface scanner를 이용하여 분석하는 particle per wafer pass (PWP) 방식이 주를 이루고 있다. 이러한 오염입자는 반도체 수율에 결정적인 역할을 하는 것으로 알려져 있으며 반도체 선폭이 작아지면서 제어해야하는 오염입자의 크기도 작아지고 있다. 하지만, 현재 사용하는 PWP 방식은 실시간 분석이 불가능하기 때문에 즉각적인 대처가 불가능 하고 이는 수율향상에 도움이 되지 못하는 후처리 방식이다. 따라서 저압에서 오염입자를 실시간으로 측정할 수 있는 장비에 대한 요구가 늘어나고 있는 실정이다. 저압에서 나노입자를 측정할 수 있는 장비로 PBMS가 있다. PBMS는 electron gun을 이용하여 입자를 하전시킨 후 편향판을 이용하여 크기를 분류하고 Faraday cup으로 측정된 전류를 환산하여 입자의 농도를 측정하는 장비이다. 편향판에 의하여 Faraday cup으로 이동되는 입자들은 농도 차에 의한 확산현상이 발생한다. 본 연구에서는 Faraday cup 이동 시 발생하는 확산현상을 여러 크기의 Faraday cup과 polystyrene latex (PSL) 표준입자를 이용하여 분석하였다. Faraday cup을 고정 식이 아닌 이동 식으로 설계를 하여 축의 원점을 기준으로 이동시켜 가면서 입자 전류량을 측정하였으며, 이를 기준 (reference) Faraday cup의 측정량과 비교하여 효율을 계산하였다. PSL 표준 입자 100, 200 nm 크기에 대하여 cup의 크기를 바꿔 가면서 각각 평가 하였다. 그 결과 입자의 크기가 작을 수록 더 넓은 구간으로 확산되었고 크기가 작은 Faraday cup의 경우에 정밀한 결과를 얻을 수 있었다. 본 연구를 통하여 편향판을 지나면서 발생하는 입자의 확산현상에 대한 정량적 평가를 수행할 수 있었으며, 추후 PBMS 설계 시 Faraday cup 크기를 결정하고 Faraday cup array 기술을 적용하는데 유용하게 활용 될 수 있을 것으로 기대 된다.
In this study, we investigated the influence of smart factory's implementing energy management system on innovation resistance and work performance. We surveyed and analyzed 211 employees of system construction companies in the metropolitan area. In order to increase the introduction performance through diffusion of the energy management system, it is found that it is important to support the organizational-level management strategy to reduce the user's resistance to innovation. In conclusion, this study has implications for positively leading to the efficiency and management performance of the manufacturing process of the manufacturing enterprises, and it is necessary to follow - up studies considering the characteristics of the energy management system and the expansion of the research scope in the future.
Journal of Korean Society of Coastal and Ocean Engineers
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v.6
no.3
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pp.245-259
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1994
This paper is concerned with the development of a three-dimensional numerical model for coastal circulation and heat transport with improved prediction ability. The model uses fully nonlinear, time-dependent three-dimensional, $\sigma$-transformed equations of motion and equation of heat transport The model was verified with experimental data for wind-driven current in a one-dimensional channel and thermal jets flowing into stagnant waters and applied for unsteady flow induced by tide and thermal jets in coastal waters around Kori nuclear power plant. The model results were in good agreements with experimental data sets for wind-driven current and thermal jet, and field observed data sets in coastal waters. This study has shown that the $\kappa$-$\varepsilon$ turbulence model is applicable to various coastal conditions without any modification of turbulence constants.
In this dissertation, shallow $p^+-n$ junctions were formed by ion implantation and dual-step annealing processes and a new simulator is designed to model boron diffusion in silicon. This simulator predicts the boron distribution after ion implantation and annealing. The dopant implantation was performed into the crystalline substrates using $BF_2$ ions. The annealing was performed with a RTA(Rapid Thermal Annealing) and a FA(Furnace Annealing) process. The model which is used in this simulator takes into account nonequilibrium diffusion, reactions of point defects, and defect-dopant pairs considering their charge states, and the dopant inactivation by introducing a boron clustering reaction. FA+RTA annealing sequence exhibited better junction characteristics than RTA+FA thermal cycle from the viewpoint of sheet resistance and the simulator reproduced experimental data successfully. Therefore, proposed diffusion simulator and FA+RTA annealing method was able to applied to shallow junction formation for thermal budget. process.
This paper presents the results of a sea trial for long range underwater acoustic communication conducted in the East Sea in November 2020. Signals were collected through a moving transmitter and 16 vertically arranged receivers, and the range between the transmitter and receiver was about 20 km. The signal in the experiment is a conventional Direct Sequence Spread Spectrum (DSSS) method and a superimposed DSSS method that increases data rate by superimposing of multiple circulated Pseudo Noise (PN) sequences for each symbol. The results show that the uncoded bit error rate averaged over 16 channels to which the channel coding technique was not applied was 0.0005 for the conventional direct sequence spreading method, and was 0.00124 for the superimposed direct sequence spreading method.
This paper presented an efficient transceiver structure of multiband Frequency Shift Keying (FSK) signals with direct sequence spread spectrum for maintaining covertness and performance. In aspect to covertness, direct sequence spread spectrum method, which multiplying by Pseudo Noise (PN) codes whose rate is much higher than that of data sequence, is employed. In aspect to performance, in order to overcome performance degradation caused by multipath and Doppler spreading, we applied multiband, turbo equalization, and weighting algorithm are applied. Based on the simulation results, by applying 4 number of multiband and number of chips are 8 and 32, experiments were conducted in a lake with a distance of moving from 300 m to 500 m between the transceivers. we confirmed that the performance was improved as the number of bands and chips are increased. Furthermore, the performance of multiband was improved when the proposed weighting algorithm was applied.
Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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2006.05a
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pp.1187-1190
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2006
전 세계적으로 큰 파장을 일으키고 있는 P2P 비즈니스는 인터넷의 급속한 보급과 더불어 고속 인터넷 접속 서비스가 확산되고, 고성능 PC 보급을 통한 사용자 환경이 강화되면서 가능하게 되었다. P2P란 서버와 클라이언트 개념에서 벗어나 개인 컴퓨터끼리 직접 연결하고 검색함으로써 모든 접속자가 공급자인 동시에 수요자가 되는 형태를 말한다. 최근 P2P는 개인 간의 단순한 파일 공유 서비스가 아닌 기업 간 전자거래에 응용하는 등 다양한 시스템이 개발되고 있다. 본 연구에서는 기존의 P2P의 기능을 보완한 보다 효율적인 시스템을 제안한다.
디지털 시대를 맞이한 오늘의 패션기업은 정보화ㆍ글로벌화 및 양극화된 고객의 욕구에 효율적으로 대응하기 위한 글로벌 전략이 요구되고 있는 실정이며, 아웃소싱은 차별화 된 소비자의 기호와 경쟁환경에 효율적으로 대응할 수 있어 경쟁력 강화의 주요한 수단으로 부각되고 있다. 지금까지 아웃소싱에 관한 많은 연구가 IT산업을 중심으로 수행되어 온 반면, 패션분야에서의 아웃소싱에 관한 연구는 초기단계에 있어, 점차 확산되어 가는 패션산업에서의 아웃소싱에 대하여 학문적 자료의 제시가 필요한 상황이다. (중략)
Proceedings of the Korea Multimedia Society Conference
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2003.11a
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pp.132-135
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2003
컴퓨터와 네트워크 발전으로 인한 인터넷의 확산은 오프라인으로 제공되던 많은 서비스들을 온라인화로 변화하는 계기가 되었다. 이러한 다양한 온라인 서비스중의 하나가 전자 경매이다. 전자 경매란 오프라인 경매 시스템의 취약점을 보완하여 온라인으로 경매가 가능하도록 하는 서비스이다. 따라서 본 논문에서는 상호 인증서 교환을 가정으로 하여 안전하고 효율적인 전자 경매 시스템 구축을 위해 공개키 암호화 방식과 해쉬 함수를 이용하면서 사용자의 편리성이 제공되는 전자경매 시스템을 제안 및 구성하였다.
2009년 아이폰 출시로 시작된 국내 스마트폰은 트워터, 페이스북과 같은 SNS와 더불어 급속하게 보급되어 1,000만 사용자 시대를 맞이하고 있으며, 스마트폰의 경험을 그대로 활용할 수 있는 태블릿의 출연으로 인해 개인적인 활용에서 업무의 효율성과 형태에 대한 변화도 가져오고 있다. 모바일 오피스, 스마트워크 등 정부와 기업의 업무 효율화에 대한 관심과 녹색 성장 정책에 따라 스마트 기기의 확산과 활용은 더 급물살을 탈 것으로 보인다. 스마트 기기는 PC와 많은 부분이 닮아 있지만 이동성과 개인화된 기기라는 점에서 개인정보 유출이나 금전적인 피해에 노출되기 쉬워 이에 대한 대책 수립이 필요하다. 본 고에서는 스마트 기기로 인한 패러다임의 변화와 보안 위협과 보안 위협의 대표적인 모바일 악성코드의 트렌드를 알아보고자 한다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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