• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2015.05a
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• pp.186-186
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• 2015

레이저 홀로그램에서 추출한 입자 데이터와 Langmuir probe로 측정한 이온 플럭스간의 개선된 상관관계를 보고한다. 레이저 홀로그램 센서 시스템을 이용하여 척 온도 변화에 따른 플라즈마 공간에서의 입자에너지 분포를 이미징하였다. 진공에너지분포를 뺀 에너지분포에 나타나는 두 종류의 분포에 관여하는 전체 입자수 분포는 이온플럭스 데이터와 전체 온도 범위에서 매우 유사한 경향성을 보였다.

• Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers
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• v.50 no.10
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• pp.124-131
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• 2013

The most important thing in Plasma simulation is the etching process in which etch rate is calculated based on feature profile. Although there are various components to consider in calculating etch rate such as Ion Flux, Neutral, gas, and temperature, Addressing of this paper is limited to Ion Flux. This paper propose a scan method to compute Ion Flux faster for Plasma simulation. Also, this paper experiments and compares generally used Monte Carlo method and the proposed method based on gaussian and cosine distribution. Lastly, this paper proves that the proposed method can calculate accurate Ion Flux more efficiently than Monte Carlo method.

• Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers
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• v.52 no.3
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• pp.105-115
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• 2015

In semiconductor etching simulation, The source modeling for generating plasma species is required. In this paper, we modeled the source of plasma etching process with probability distribution and the feature profile with simple geometry objects, then got the flux on the feature profile. The distance between the source and the cell on the modeling parameters of the source, there are a number of particles to be emitted from a source, there is a number (area of the cell) of the cell on the profile with additional parameters to give the calculation of flux. The flux error ratio on both gaussian(Incident Flux) and cosine probability distribution(Incident Neutral Flux) is much decreased as the number of ray is increased but the processing time is more increased than that. The increase of the number of cell and distance makes increase the flux error ratio and the processing time moderately. In view of the processing time through the experimental results in this paper, it is possible to analogize the calculation of appropriate fluxes.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2010.05a
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• pp.1585-1590
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• 2010

토양으로부터 발생하는 증발과 식물에서 일어나는 증산을 모두 포함하는 증발산은 일반적으로 연구된 물리식과 경험식 등을 이용하여 산정하고 lysimeter 실측 자료를 이용하여 지역 특성에 맞게 검증하는 방법을쓰고 있다. 하지만 이와 같은 방법은 어느 한 점에만 국한되어 적용되기 때문에 공간적인 제약이 있으며 외부환경의 영향을 크게 받는 증발산의 특성상 이를 일반화하는 데에도 어려움이 따른다. 따라서 이러한 점들을 보완하고 해결하기 위해 원격탐사 (Remote Sensing)를 이용하여 넓은 지역에 분포되어 있는 증발산량을 공간적으로 산정하고자 한다. 증발산량은 크게 물수지, 에너지수지 방법을 이용하여 구할 수 있으며, 본 연구에서는 에너지수지 방법을 기반으로 한 원격 이미지 처리 모형을 이용하여 에너지 수지식의 각 항을 이루는 순복사 에너지, 토양열 플럭스, 현열 플럭스와 함께 증발산을 나타내는 잠열 플럭스를 통합적으로 처리하여 산정, 이를 지도로 나타내고 기본적인 통계분석을 실시하였다. 작성된 지도는 유역 내 토지 피복, 식생 분포, 고도 등 외부 인자들의 변화에 따라 증발산량이 공간적으로 어떻게 변화하는지를 알아볼 때 유용하게 쓰일 것이며, 다른 증발산 지도와의 비교를 통해 연구지역에서의 시간 변동성을 파악하는 데에도 도움이 될 것이다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2004.07c
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• pp.1927-1929
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• 2004

현재 널리 쓰이는 고밀도 플라즈마 장치의 식각 시뮬레이션은 식각 패턴으로는 level set method이며 바이어스가 인가된 sheath model로는 Riley sheath model 이 보편적으로 받아들여지고 있다. 이러한 식각 시뮬레이션은 RF(Radio Frequency) sheath로부터 가속된 이온이 단위 입체각당 특정 지점에 이온 플럭스 분포함수, 이온 에너지 분포함수와, 중성종의 수송모델로 etch rate을 결정하는 과정과 level set method을 이용하여 식각 형태를 계산하는 과정으로 구성되어있다. 본 연구는 식각 형태 계산 이전의 단계로서 $Ar^+,\;Cl_2{^+},\;Cl^+$이온의 유동속도와 밀도를 장치의 radial방향으로 불균일하게 가정하였고, 가정한 값으로 이온 플럭스와 에너지 플럭스에 대한 영향을 알아보았다.

• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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• 1997.04b
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• pp.48-49
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• 1997

막분리에 있어 막오염 현상은 공정의 경제성을 좌우하는 중요한 요소이다. 이에따라 막오염에 따른 플럭스 변화를 예측하기 위한 다양한 방법을 시도하고 있다. 그러나 대부분의 동력학적 해석식들은 여과초기에만 적용되는 단점이 있었다. 최근에는 콜로이드 입자에 의한 막오염 과정을 그대로 모사하여 여과개시 후 상당한 시간 후의 플럭스를 예측하려는 시도를 하고 있다. 그러나 지금까지 연구된 모델들은 2차원입자를 사용하거나 혹은 단일입자분포를 갖는 3차원입자를 사용한 것들이었다. 2차원 모사인 경우 세공막힘현상을 설명할 수 없으며 3차원 단일분포 입자시스템은 현실과는 거리가 먼 단점이 있었다. 이에따라 본 연구에서는 다중분포(multi-disperse)를 갖는 입자의 정밀여과 (microfiltration)를 모사하여 시간에 따른 플럭스의 변화를 예측해 보고자 하였다.

• The Bulletin of The Korean Astronomical Society
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• v.37 no.2
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• pp.129.1-129.1
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• 2012

서포트 벡터 머신(Support Vector Machine, SVM)과 인공신경망 모형(Neural Network, NN)을 사용하여 태양 양성자 현상(Solar proton event, SPE)의 플럭스 세기를 예측해 보았다. 이번 연구에서는 1976년부터 2011년까지 10MeV이상의 에너지를 가진 입자가 10개 cm-1 sec-1 ster -1 이상 입사할 경우를 태양 양성자 현상으로 정의한 NOAA의 태양 고에너지 입자 리스트와 GOE위성의 X-ray 플레어 데이터를 사용하였다. 여기에서 C, M, X 등급의 플레어와 관련있는 178개 이벤트를 모델의 훈련을 위한 데이터(training data) 89개와 예측을 위한 데이터(prediction data) 89개로 구분하였다. 플러스 세기의 예측을 위하여, 우리는 로그 플레어 세기, 플레어 발생위치, Rise time(플레어 시작시간부터 최대값까지의 시간)을 모델 입력인자로 사용하였다. 그 결과 예측된 로그 플럭스 세기와 관측된 로그 플럭스 세기 사이의 상관계수는 SVM과 NN에서 각각 0.32와 0.39의 값을 얻었다. 또한 두 값 사이의 평균 제곱근 오차(Root mean square error)는 SVM에서 1.17, NN에서는 0.82로 나왔다. 예측된 플럭스 세기와 관측된 플럭스 세기의 차이를 계산해 본 결과, 오차 범위가 1이하인 경우가 SVM에서는 약 68%이고 NN에서는 약 80%의 분포를 보였다. 이러한 결과로부터 우리는 NN모델이 SVM모델보다 플럭스 세기를 잘 예측하는 것을 알 수 있었다.

• Economic and Environmental Geology
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• v.53 no.5
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• pp.543-552
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• 2020

In this study, we measured groundwater fluxes with a passive flux meter and a borehole dilution test in the Upper Floridan Aquifer. In addition, the feasibility of the passive flux meter is also evaluated within matrix and non-matrix zones. The results of the PFM (5.96 ± 1.75 cm/day) showed good agreement with those of the BHD (4.68 ± 2.99 cm/day) in matrix zones, whereas the results of the PFM (9.94 ± 0.90 cm/day) showed poor agreement with those of the BHD (1817.37 ± 1795.50 cm/day) in non-matrix zones. We assumed that the groundwater passes through the sorbent material inside the PFM. However, it could not pass through the sorbent when the groundwater flux is faster than 11 cm/day. The flow might bypass between monitoring well and the PFM. The PFM used in this study might be suitable for measuring the groundwater fluxes under 11 cm/day. Therefore, more extensive research is needed in the future to measure fast groundwater fluxes (> 11 cm/day).

• The Sea:JOURNAL OF THE KOREAN SOCIETY OF OCEANOGRAPHY
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• v.4 no.3
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• pp.188-197
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• 1999

In order to estimate the uranium flux from seawater to sediments, we took pore water samples and deployed benthic chambers on seafloor of Chonsu Bay, Korea. The uranium flux across the sediment-water interface was estimated from the pore water to be 0.112-0.566 mg/$m^2yr$, corresponding to a removal flux of $4.3-21.5{\times}10^7$ gU/yr for the entire Yellow Sea. Nutrient fluxes from sediment to bottom water were estimated to be 135.6 mmol/$m^2yr$ for ammonia, 228.2 mmol/$m^2yr$ for nitrate, 36.8 mmol/$m^2yr$ for phosphate and 23.9 mmol/$m^2yr$ for silicate. The redox boundary, based on the distribution of pore water nitrate and solid phase manganese, was located at 3-5 cm below the sediment surface. Phosphate flux obtained by benthic chambers was 28.S mmol/$m^2yr$. On the other hand, estimates of uranium and silicate fluxes were orders of magnitude greater than those based on pore water profiles. Flux estimates on the basis of pore water concentration is believed to have greater reliability than those obtained from benthic chamber data.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.498-498
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• 2012

직류 아크 토치를 이용하여 열플라즈마를 발생시키는 방법은 전극의 구성에 따라 크게 비이송식(non-transferred)과 이송식(transferred)의 2가지 형태로 나눌 수 있다. 1950년대 H. Maecker 등에 의해 이론적 기초가 형성되기 시작한 이송식 아크 플라즈마 발생장치는 처리 대상물질을 전극으로 사용하여 양극에서의 에너지 전달을 직접 이용할 수 있으므로 열효율이 매우 높기 때문에 이를 이용한 고출력 토치에 관한 활발한 연구가 지속되고 있다. 본 연구에서는 대기압 아르곤 자유연소아크 방전에 의해 발생되는 열플라즈마의 열유동 특성을 수치적으로 해석하기 위하여 아크 기둥의 온도, 압력 및 속도 특성을 Navier-Stokes 방정식과 Maxwell 방정식을 연계 계산하였다. 또한 아크-전극 상호작용(arc-electrode interaction) 모델링을 통한 양극(anode)인 처리 대상물질로의 에너지 플럭스 유입을 고려하여 전극 내부의 온도분포를 계산하였다. 해석결과를 검증하기 위하여 음극과 양극 사이 플라즈마 기둥(column)의 중심축 온도는 Haddad & Farmer(1984)의 실험데이터와 비교하였고, 양극으로의 에너지 플럭스 및 온도분포 데이터는 Bini 등(2006)의 실험 및 해석데이터와 비교하여 만족스런 일치를 확인하였다.