• Title/Summary/Keyword: 표면 활성화

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기계적 damage로 표면 활성화된 비정질 규소 박막의 결정화

  • 이의석;김형택;김영관;문권진;윤종규
    • Proceedings of the Korea Association of Crystal Growth Conference
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    • 1997.10a
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    • pp.135-144
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    • 1997
  • 표면 활성효과에 대한 비정질 규소 박막의 고성결정화 특성을 연구하였다. 증착된 비정질 규소 박막에 macro한 방법으로 wet blasting을, micro한 방법으로 자기이온주입으로 표면 활성화 처리를 행한 후 열처리를 하여 결정립의 결정화 특성을 보았다. 열처리는 관상로를 이용한 저온 열처리와 RTP를 이용한 급속 열처리의 두 가지 방법으로 하였다. 결정화의 기준으로 XRD분석을 통해 얻은 (111) 피크 강도를 이용하였으며, 결정의 품질을 비교하기 위해 Raman 분석을 하였다. 기계적 damage를 이용한 표면 활성화는 결정화를 촉진함을 확인하였으며 활성화 방법에 따른 결정화 영향 변화정도는 열처리 온도가 증가함에 따라 감소하였다.

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The effect of the surface activation treatment on the crystallization of amorphous silicon thin film (표면 활성화 처리가 비정질 규소 박막의 결정화에 미치는 영향)

  • 이의석;김영관
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.9 no.2
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    • pp.173-179
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    • 1999
  • The effect of the surface activation treatment on the crystallization of the amorphous silicon film was investigated. The amorphous silicon film was deposited on the silica substrate with LPCVD technique. Wet blasting with silica slurry or exposure with Nd:YAG laser beam was applied on the amorphous silicon film before annealing for the crystallization. For the analysis of the crystallinity, XRD, Raman, and SEM were employed. In this investigation, the prior surface activation treatment like silica wet blasting or Nd:YAG laser beam exposure before annealing for the crystallization were found to be effective in the enhancement of the crystallization. It is believed that these treatment lower the activation energy required for the crystallization of the amorphous silicon film.

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Spatially Selective Immobilization of Functional Materials onto Silicon Surfaces Using Electrochemical Method (전기화학을 이용한 실리콘 표면상으로 기능성 물질의 공간 선택적 고정화 연구)

  • Park, Soo-Hyoun;Ah, Chil-Seong;Kim, Kyu-Won
    • Journal of the Korean Electrochemical Society
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    • v.12 no.1
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    • pp.40-46
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    • 2009
  • We present a method for spatially selective immobilization of functional materials, such as proteins and nanoparticles, onto pre-activated silicon surfaces by electrochemical reaction. Carboxymethylbenzendiazonium (CMBD) cations, being adsorbable on silicon surfaces through electrochemically reductive deposition, is used as an anchor molecule to prepare the pre-activated silicon surfaces. It is demonstrated that the use of BD reaction is very efficient for the selective immobilization because the functional materials are immobilized exclusively onto the pre-adsorbed CMBD region. The method is applied to immobilize gold nanoparticles on the selected nanowire of the nanowire array.

Analysis for the Activation Mechanism as a Function of Activation Degrees during Activation of the Carbon Fibers (탄소섬유의 활성화 시 중량감소율에 따른 활성화기구 해석)

  • 노재승
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2003.11a
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    • pp.240-240
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    • 2003
  • 탄소재료의 가스화속도는 근본적으로 활성자리의 수와 관련되어 있으며, 또한 가스화속도는 활성자리 뿐 아니라 확산제한에 따라 달라진다. 대부분의 탄소재료의 활성화 초기단계는 제한된 활성자리 때문에 반응속도는 느리고, 다음 단계는 총 활성자리가 증가하여 반응속도는 급격히 증가하고, 마지막으로 활성자리가 감소하여 활성화 속도는 감소한다. 이러한 sigmoidal특성을 나타내는 활성화 단계를 기공발달과정으로 설명하면, 활성화 초기에 탄소재료 내부에 이미 존재하는 닫힌 기공이 열리고, 일단 기공이 열리면 성장하게 된다. 이렇게 기공 수가 증가하는 것 뿐 아니라 기공 직경이 증가하여 활성화 과정이 진행될수록 비 표면적 및 기공부피는 증가하는데 이런 일련의 과정을 통하여 활성자리 수는 증가하고 또는 감소한다. 이렇게 기공이 발달하는 과정은 각각의 활성화 단계에서 탄소재료의 비 표면적 측정으로 알 수 있으며, 전반적인 산화속도 변화를 측정하여 반응단계를 추정하게 된다. 대부분의 연구자들은 반응 전체의 평균 산화속도를 측정한 후 활성화 에너지를 구하여 반응조절단계로 활성화 기구를 설명한다. 이 연구에서는 활성화 과정 중에 발생하는 중량감소 단계, 즉 각각의 활성화 단계에 따라 달라지는 반응속도상수를 측정하고, 반응단계별 활성화 에너지를 비교 해석하여 피치계 탄소섬유의 기공발달에 영향을 미치는 활성화 기구를 고찰하고자 하였다.

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A Study on the ultrasonic wave-assisted pd activation for electroless Ag plating (무전해 은도금시 팔라듐 활성화 단계에서의 초음파의 영향 고찰)

  • Lee, Chang-Myeon;Lee, Hong-Gi;Heo, Jin-Yeong;Lee, Min-Hyeong;Lee, Ho-Nyeon
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2011.05a
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    • pp.149-150
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    • 2011
  • 미세화된 반도체 배선에 무전해 은도금을 적용하고자 새로운 Pd 활성화 공정을 제안하였다. 시편 표면에 작은 크기의 Pd 입자를 균일하게 분포시키기 위하여 Pd 활성화 도중 초음파을 가하였다. 추가적인 무전해 은 도금을 실시하여, 초음파에 의한 Pd 입자 분산이 은도금 피막 형성에 미치는 영향에 대하여 고찰하였다.

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Behavior of Solid Phase Crystallizations in Mechanical Damage Induced Hydrogenated and Non-Hydrogenated Amorphous Amorphous Silicon Thin Films (기계적 Damage 활성화 효과에 대한 수소화 및 비수소화 비정질 규소 박막의 고상 결정화 거동)

  • Kim, Hyeong-Taek;Kim, Yeong-Gwan
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.6 no.4
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    • pp.436-445
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    • 1996
  • 비정질 실리콘박막의 고상결정화 특성에 대한 비정질 박막의 증착방법, 수소화 정도, 표면결정 활성화 에너지 변화 및 열처리 환경 영향을 X선 회절, EDAX, Raman 분광 분석으로 조사하였다. 저온(58$0^{\circ}C$)열처리 corning 시료에서 기판 barium(Ba), aluminum(AI) 성분의 막내 확산 임계열처리시간 및 확산에 기인 한 불안정 결정화 특성을 관찰하였다. 화학기상증착 석영 수소화 시료에서 hard damage 기계적 활성화 효과로 얻어진 조대결정립 결정화 특성을 X선 회절의 (111) 배향 상대강도 변화로 관찰 할 수 있었으며, 이는 활성화 효과에 의한 고상 결정화 시 핵생성과 성장속도변화로 다결정 실리콘의 전기적물성 향상 가능성을 보여주었다. Soft damage, bare 활성화 처리 수소화막의 결정화는 비정질 상의 혼재, 박막 응력등의 저품위 입계특성 및 미세결정립 성장 특성으로 관찰되었으나, 활성화 전처리에 의한 저온 및 고온(875$^{\circ}C$)단시간(30분) 결정화는 확인 되었다. 스퍼터링 비수소화 막의 결정화는 상변태 상태의 Raman 결정피크로 분석 되었으며, 결정화 거동에 선행막의 스퍼터링 및 비수소화 영향은 활성화효과에 관계없이 불완전 저품위 결정특성으로 확인되었다. AFM 표면형상은 3차원 island 성막특성을 보여주었고 표면거칠기정도는 높은 것으로 관찰되었다.

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A Study on the Mechanical Properties of Surface Activated Waste EPDM and The Analysis of Odor Materials (표면 활성화된 폐 EPDM 분말의 물성과 냄새 성분 분석 연구)

  • Choi, J.;Kim, S.;Chung, K.;Chung, J.;Yoo, T.;Yang, J.
    • Elastomers and Composites
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    • v.42 no.4
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    • pp.249-258
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    • 2007
  • In this study, the EPDM powder which was surface activated by high temperature and shear pulverization process was prepared and the mechanical properties and odor material analysis were investigated. Analysis for particle size and size distribution of waste of the EPDM powder has been performed. The waste EPDMs used in this study were 4 types of solid, sponge, solid+sponge, and solid+metal. According to the results, the solid type showed the smallest particle size among the 4 types of EPDM powder. Effective surface devulcanization of EPDM powder could be obtained by the addition of the reclaiming agent. The dicumyl peroxide was considered as the best crosslink agent for dynamic vulcanization when the surface activated EPDM powder was blended with polyolefin in order to make TPE. Also, the optimum amounts of DCP was 6 phr in terms of surface crosslink reaction and mechanical properties of EPDM powder. The processes of water adsorption and rose oil addition were employed to remove the odor of EPDM powder caused by reclaiming agent. The GC/MS was used to analyze the odor compounds.

산화물 음극 표면의 과잉 바륨 형성 메커니즘 규명

  • Won, Byeong-Muk;;Park, Gong-Seok;Hwang, Cheol-Ho;Han, Su-Deok;Kim, In-U;Gwon, Yong-Beom;Seol, Seung-Gwon;Jo, Chang-Sik;Je, Jeong-Ho;Hwu, Y.;Tsai, W.L.;Ruterana, P.
    • Information Display
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    • v.4 no.4
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    • pp.6-10
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    • 2003
  • 우리는 연-X-선 흡수 분광법(soft-X-ray Absorption Spectroscopy ; XAS)을 사용하여 실제 산화물 음극 전자 방출 물질 표면의 화학 구조에 대해 연구하였다. 바륨 3d 흡수단의 고-에너지 분해 스펙트럼은 활성화 과정(온도와 전압 인가) 후에 산화물 음극표면에서 수십 나노미터 깊이 아래까지 바륨 함량이 현저히 증가한다는 것을 보여주었다. 바륨과 산소의 XAS 데이터를 비교해보면 표면에서 과잉 바륨이 형성되는 것을 확실히 입증하고 있다. 게다가 우리는 표면에서의 과잉 바륨의 증가가 활성화 과정에서 열에너지에 의한 것이 아니라 인가된 전압에 의한 것임을 밝혀냈다. 이 결과로 우리는 표면의 과잉 바륨 형성 전체 과정을 규명하고 활성화 동안 표면의 바륨 증가가 분말 입자로부터 니켈 계면으로의 바륨 이온의 전해 이동 속도에 의해 제어된다는 것을 제안한다. 우리는 또한 표면 바륨 증가가 전해 이동에 의한 분말 입자 내의 바륨의 고갈에서 비롯되는 것으로 추정한다.

Development of a process for the implementation of fine electronic circuits on the surface of nonconductive polymer film (비전도성 폴리머 필름 표면상에 미세 전자회로 구현을 위한 공정개발)

  • Jeon, Jun-Mi;Gu, Seok-Bon;Heo, Jin-Yeong;Lee, Chang-Myeon;Lee, Hong-Gi
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2017.05a
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    • pp.121-121
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    • 2017
  • 본 연구는 비전도성 폴리머 표면을 개질하여 감광성 금속을 유전체 표면에 흡착시키고, 감광성 금속의 광화학 반응을 이용하여 귀금속 촉매를 비전도성 폴리머 표면에 선택적으로 흡착시켜 무전해 Cu 도금을 수행하여 금속패턴을 형성하였다. 기능성 유연 필름은 일반적으로 투명한 플라스틱 고분자 기판을 기반으로 전기 전자, 에너지, 자동차, 포장, 의료 등 다양한 분야에서 폭넓게 활용 되고 있으며, 본 연구에서는 습식 도금 공정을 이용하여 폴리이미드 필름상에 $10{\mu}m$ 이하의 미세패턴을 형성하기 위한 공정을 개발하고자 하였다. 비전도성 폴리머 표면에 무전해 도금을 위해서 우선 폴리머 필름의 표면을 개질하는 공정이 필요하다. 이에 KOH 또는 NaOH 알카리 용액을 이용하여 표면을 개질하였으며 개질된 표면에 감광성 금속이온의 흡착시키기 위한 감광성 금속이온은 주석을 사용하였으며, 주석 용액의 안정성 및 퍼짐성 향상을 위해 감광성 금속 용액의 제조 및 특성을 관찰하였으며, 감광성 금속화합물이 흡착된 비전도성 유전체 표면을 포토마스크를 이용하여 특정 부위, 즉 표면에 금속패턴 층을 형성하고자 하는 곳은 포토마스크를 이용하여 광원을 차단하고 그 외 부분은 주 파장이 365nm와 405nm 광원을 조사하여 선택적으로 감광성 금속화합물의 산화반응을 유도하는 광조사 공정을 수행하였다. 광원이 조사되지 않은 부분에 귀금속 등의 촉매 입자를 치환 흡착시켜 금속 패턴이 형성될 수 있는 표면을 형성하였다. 위의 활성화 공정이후에 활성화 처리된 표면을 세척하는 수세 공정을 거친 후 무전해 도금공정에 바로 적용할 경우 미세한 귀금속 입자가 패턴이 아닌 부분 즉 자외선(UV) 조사된 부분에도 남아있어 도금시 번짐 현상이 발생한다. 이에 본 연구에서는 활성화 처리 후 약 알칼리 용액에 카르복실산을 혼합하여 잔존하는 귀금속 입자를 제거한 후 무전해 Cu 도금액을 이용하여 $10{\mu}m$ 이하의 Cu 금속 패턴을 형성하였다.

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The effect of brightness contrast on resolving the correspondence problem (상의 대응 문제 해결에 미치는 밝기 대비의 영향)

  • 감기택;정찬섭
    • Korean Journal of Cognitive Science
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    • v.12 no.4
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    • pp.49-56
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    • 2001
  • When multiple features are presented in the image the computational models for stereopsis select the most activated matches through the excitatory and inhibitory interactions among all possible matches. Using the random-dot stereogram with two surfaces. we investigate whether human binocular mechanism selects the most activated matches. The dots consisting a surface lying in a fixation plane were selected randomly while each of the dots consisting the other surface was paired with each of the original dots in the following manner. After finding the position of each dots in the original random pattern we placed an additional dot to the left and to the right of the original position in each of the left and right image of a stereogram respectively. The luminance of additional dots was varied while that of the original random dots was fixed so that the hypothetical matches presumably could be activated differently. Across the luminance condition the depth of each surface was measured to examine whether matches to be selected were changed depending on the activation level of possible matches. When the luminance of two patterns was within 30% of one another observers perceived an opaque surface. Beyond this value two transparent surfaces were seen with the magnitude of perceived depth varying with relative luminance of two patterns. When original pattern was brighter one additional surface was perceived at the depth corresponding to the disparity of original pattern. When original dot was dimmer. however the depth of an additional surface corresponded to the disparity of newly introduced pattern. These results suggest that there are dynamic interactions within the matching process whereby highly activated matches inhibit weaker one.

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