A study on the characteristics of negative photoresist using inorganic a-$Se_{75}Ge_{25}$ thin film
(무기질 a-$Se_{75}Ge_{25}$ 박막을 이용한 네가티브형 포토레지스트의 특성연구)
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- Electrical & Electronic Materials
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- v.1 no.4
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- pp.295-302
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- 1988