Electrical & Electronic Materials (E2M - 전기 전자와 첨단 소재)
- Volume 1 Issue 4
- /
- Pages.295-302
- /
- 1988
- /
- 2982-6268(pISSN)
- /
- 2982-6306(eISSN)
A study on the characteristics of negative photoresist using inorganic a-$Se_{75}Ge_{25}$ thin film
무기질 a-$Se_{75}Ge_{25}$ 박막을 이용한 네가티브형 포토레지스트의 특성연구
- Published : 1988.12.01
Abstract
본 연구에서는 미세패턴 형성을 위한 비정질
Keywords