• 한국조명전기설비학회:학술대회논문집
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• 한국조명전기설비학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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• pp.297-300
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• 2009

본 연구는 Knife형 전극을 사용하여 $SF_6$와 $N_2/O_2$의 혼합체적률이 각각 100:0, 80:20, 60:40인 혼합가스에서의 캡 변화에 따른 연면방전 특성을 연구할 목적으로 교류고전압 인가 시 압력 (P), 전극간거리 (d) 및 사용된 가스의 변화에 따른 절연파괴특성을 연구 하였다. 본 연구를 통해 챔버 내의 P와 d가 증가할수록 연면절연파괴전압은 상승하다가 일정한 압력 이상에서는 포화하는 경향을 보였고, $N_2:O_2$의 혼합체적률이 100:0인 경우는 $SF_6$의 37%, 80:20은 47%, 60:40은 46%로 나타났다. $N_2:O_2$ 혼합가스 중에서 체적혼합비율이 80:20인 경우가 연면절연내력이 가장 좋게 나타났다.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제23권4호
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• pp.86-91
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• 2009

입력부 근방의 정전용량 변화를 감지하여 동작하는 간접접촉형 실내조명 스위치를 설계하고 제작했다. 그리고 간접접촉 스위치의 입력 전극에 설치된 커패시터의 정전용량을 변화시켜가며 간접접촉을 감지하는 입력 전극을 절연하는 물질의 두께 및 종류 변화에 따른 동작 감도를 측정한 결과를 표와 그래프로 나타냈다. 절연 물질은 유리, 아크릴, 그리고 나무(MDF)였는데, 이들의 유전율은 상당히 다르지만 스위치의 동작 감도는 유전율의 차이만큼 크지 않은 것이 확인되었다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제8권3호
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• pp.31-36
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• 2001

고온용 정전기척(high-temperature electrostatic chuck, HTESC)에 적합한 특성의 유전재료를 개발하였다. 유전층의 전기비저항과 유전상수 값은 HTESC가 적합하게 작동하기에 필요한 요구조건을 만족하였으며, 하부절연층재료와 열팽창계수가 유사하여 구조적인 안정성이 확보되었다. 유전층과 절연 층간의 접합층 재료로는 입자오염 문제의 최소화를 위해 붕규산염 유리재료를 선택하였고, 전극재료로는 은을 사용하였다. 상부유전 층과 하부절연층 사이에서 붕규산염 유리는 안정되게 접합되었으며, 우려 되었던 은전극의 유전층이나 유리층과의 확산 및 반응이 관찰되지 않았다. 제조된 HTESC의 척킹(chucking)특성은 상용 HTESC에 비하여 우수하게 나타났다.

• 한국진공학회지
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• 제7권4호
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• pp.410-414
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• 1998

본 연구에서는 플라즈마 중합 반응의 기판 재질과 전극 위치에 대한 의존성을 규명 하기 위해서 Ar방전의 발광 분석을 행하였으며 제작된 박막의 가교성을 확인하기 위해서 전자빔 노광을 시켜보았다. 기판의 재질이 도체 및 절연체인 양자의 경우를 비교해 보면 전 자는 후자에 비해서 전체적으로 발광 스펙트럼의 피이크 강도가 크게 나타났으며, 준안정상 태에 대한 피이크와 이온에 대한 피이크를 검토한 결과, 기판이 절연물일 때는 전극의 위치 를 멀게 할수록 이온의 피이크 강도가 극단까지 떨어짐을 알 수 있었다. 제작된 중합스티렌 박막을 통하여 발광 스펙트럼의 변화에 따라서 막의 가교성 변화가 생기는 것을 알 수 있었 으며 이 막을 전자빔에 노광하였을 때, 기판이 절연물인 경우에는 패턴을 제작하는 것이 가 능하였다.

• 한국마린엔지니어링학회:학술대회논문집
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• 한국마린엔지니어링학회 2011년도 전기공동학술대회 논문집
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• pp.187-187
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• 2011

선박용 전력기기의 절연진단을 위한 부분방전 측정장치를 제작하고 성능을 평가하였다. 구-구 전극계를 구성하여 전력 기기에서 발생할 수 있는 결함을 모의하였으며, 제작한 프로그램으로 부분방전 펄스의 크기와 위상을 분석할 수 있었다. 본 구-구 전극 결함계에서 부분방전펄스는 $30^{\circ}{\sim}110^{\circ}$ 및 $200^{\circ}{\sim}320^{\circ}$에 분포하였다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2005년도 하계학술대회 논문집 Vol.6
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• pp.246-248
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• 2005

본 논문은 23kV 가스절연개폐기에서의 윤활제 고착시 발생되는 현상을 조사하였다. 내부 개폐접점부의 마찰저항을 줄이고 가동전극의 윤활한 동작을 위해 사용되는 그리스 (grease)를 과다하게 도포할 경우 고착과 함께 가동전극의 미끄럼운동에 영향을 주는 것이 확인되었다. 영향 평가로는 물성시험과 투 개방 음향특성을 분석하였다. 본 논문의 결과는 개폐장치의 제조품질 개선 및 정전감소에 기여할 것으로 사료된다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문집
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• pp.685-688
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• 2005

In the micro electrochemical machining (MECM) using ultra short pulses, the machining rate is closely related to the tool electrode area. The machining rate varies according to the machining depth or the immersion depth. When using insulated tool electrodes, those depths do not matter. In addition, micro structures with high machining depth can be fabricated because the machining characteristics do not vary with the machining depth. Another advantage of insulated electrodes is prevention of taper shape. Micro structures with high machining depth or high aspect ratio were fabricated using insulated tool electrodes.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제15권3호
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• pp.47-52
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• 2008

높은 종횡비를 갖는 비아 및 트렌치 상에 절연 막으로서 $SiO_2$를 증착하고 증착 특성 및 막의 특성을 연구하였다. 실리콘 관통 전극에서 절연 막은 전극의 벽면과 그 내부에 충진 된 물질간의 상호 확산 감소와 물질 간 접착, 전기적 절연, 디바이스로의 전기적 누수 차단 등의 역할을 해야 한다. 따라서 이러한 특성을 확인하기 위해 3종의 화학 기상 증착법인 PECVD, PETEOS, ALD을 선정하고 절연 막 증착 후 특성평가를 진행 하였다. 특성평가 항목 중 step coverage는 PECVD : <30%, PETEOS : 45%, ALD : 75%, 표면 거칠기는 PECVD : 27.8 nm, PETEOS : 2.1 nm, ALD : <2.0 nm으로 측정되어 막질의 특성은 ALD가 가장 우수하게 평가 되었으나, 실제 기술의 적용에서 가장 중요한 요소인 증착률에서 ALD는 $18\;\AA/1cycle$로서 $10\;\AA/min$ 이라는 대략적 시간이 소요되어 $5000\;\AA/min$의 증착률을 보인 PETEOS에 비해 매우 낮은 수준으로 최소 $1000\;\AA$ 이상의 두께가 요구되는 절연 막의 적용에는 어려움이 있고, 따라서 PETEOS가 본 연구에서 최적의 recipe라 평가되었다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1997년도 하계학술대회 논문집 C
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• pp.1615-1617
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• 1997

절연재료로서 널리 쓰이는 XLPE(Crosslinked Polyethylene)의 경우, 내부에 발생하는 수트리에 의해 절연체로서의 성능 및 내구성이 많은 영향을 받게 된다. 이에 대한 연구가 진행되어 왔지만 수트리 발생과 진행에 관한 메커니즘은 아직까지 정확하게 알려지지 않은 상태이다. 이 논문에서는 몇 가지의 수트리 억제 컴파운드를 선정하여 시간과 온도에 따른 수트리 발생을 관찰하고, 컴파운드 내의 공간전하 및 전도전류가 수트리 억제에 미치는 영향을 조사하였다. 수트리가속을 위하여 주파수가속열화 방법을 사용하고 온도와 시간에 따른 발생 및 진전을 관찰하였다. 실험에서는 압축성형된 평판형 시편을 사용하였으며 상부전극으로는 $AgNO_3$ 수용액을, 하부전극으로는 금속전극을 사용하였다. 그리고 컴파운드 내부의 공간전하 분포 및 전도전류 측정을 하기위해 PEA(Pulsed Electro Acoustic) 방법을 이용하였다.

• 한국컴퓨터산업학회논문지
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• 제3권12호
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• pp.1747-1758
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• 2002

실리콘 젤의 경화조건에 따른 전기적 특성을 조사하기 위하여 절연파괴특성에 대한 실험을 실시하였다. 실험을 위해 온도 100[$^{\circ}C$], 125[$^{\circ}C$], 150[$^{\circ}C$], 160[$^{\circ}C$], 170[$^{\circ}C$], 180[$^{\circ}C$]에서 각각 30[Min], 1[H], 2[H]동안 경화된 여러 시료를 제작하였다. 절연파괴실험에서 사용된 전극의 재료는 순도 99.9[%]의 구리이며, 전극간 간격은 1~3[mm]로 하였고, 전극의 두께는 0.2[mm]이다. 실험결과 온도 170[$^{\circ}C$]에서 2[H] 경화된 시료의 전기적 특성이 가장 우수하였다.