• 제목/요약/키워드: 인듐옥사이드

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분무열분해법(Spray Pyrolysis)에 의한 주석산화물이 도핑된 $In_2O_3$(ITO: Indium Tin Oxide)의 분말 제조에 대한 연구 (The Studies on synthesis of $SnO_2$ doped $In_2O_3$ (ITO: Indium Tin Oxide) powder by spray pyrolysis)

  • 김상헌
    • 한국응용과학기술학회지
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    • 제31권4호
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    • pp.694-702
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    • 2014
  • 마이크론 크기를 가지는 ITO(indium tin oxide) 입자들은 인듐과 틴의 수용성 전구체들과 유기 첨가제를 분무 열분해하여 얻었다. 유기 첨가제로서는 에틸렌글리콜과 시트르산을 이용하였다. 분무 열분해 시 에틸렌글리콜과 시트르산과 같은 유기첨가제를 첨가하지 않고 얻어진 ITO 입자들은 구형이며 속이 꽉찬 형태를 가지는데 비해 유기 첨가제를 첨가하여 분무 열분해를 하면 얻어지는 ITO 입자들은 유기 첨가제의 양이 증가 할수록 껍질이 얇고 다공성이 증대된 중공 입자가 얻어진다. 유기첨가제를 첨가하지 않고 분무 열분해를 통해 얻어지는 마이크론 크기를 가지는 ITO는 $700^{\circ}C$에서 두 시간 동안의 후소성과 24 시간동안의 습식 볼밀링에 의해 나노 크기의 ITO로 전환되지 않으나, 유기첨가제를 첨가하고 분무 열분해를 통해 얻어지는 마이크론 크기를 가지는 ITO는 $700^{\circ}C$에서 두 시간 동안의 후소성과 24 시간 동안의 습식 볼밀링에 의해 나노 크기의 ITO로 쉽게 전환되었다. 응집된 나노 크기의 ITO의 일차 입자의 크기를 Debye-Scherrer 식에 의해 계산하였고 ITO 입자를 압축하여 만든 펠렛의 표면저항을 측정하였다.

ITO를 대체한 고효율 유기박막 태양전지 (Replacement of ITO for efficient organic polymer solar cells)

  • 김재령;박진욱;이보현;이표;이종철;문상진
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 한국신재생에너지학회 2010년도 춘계학술대회 초록집
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    • pp.69.1-69.1
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    • 2010
  • We have fabricated organic photovoltaic cells (OPVs) with highly conductive poly 3,4-ethylenedioxythiophene : poly styrenesulfonate (PEDOT:PSS) layer as an anode without using transparent conducting oxide (TCO), which has been modified by adding some organic solvents like sorbitol (So), dimethyl sulfoxide (DMSO), N-methyl-pyrrolidone (NMP), dimethylformamide (DMF), and ethylene glycol (EG). The conductivity of PEDOT:PSS film modified with each additive was enhanced by three orders of magnitude. According to atomic force microscopy (AFM) study, conductivity enhancement might be related to better connections between the conducting PEDOT chains. TCO-free solar cells with modified PEDOT:PSS layer and the active layer composed of poly(3-hexylthiophene) (P3HT) and phenyl [6,6] C61 butyric acid methyl ester (PCBM) exhibited a comparable device performance to indium tin oxide (ITO) based organic solar cells. The power conversion efficiency (PCE) of the organic solar cells incorporating DMSO, So + DMSO and EG modified PEDOT:PSS layer reached 3.51, 3.64 and 3.77%, respectively, under illumination of AM 1.5 (100mW/$cm^2$).

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활성층 두께 및 열처리 온도에 따른 비정질 인듐갈륨징크옥사이드 박막트랜지스터의 전기적 특성 변화 (Electrical Properties Depending on Active Layer Thickness and Annealing Temperature in Amorphous In-Ga-Zn-O Thin-film Transistors)

  • 백찬수;임기조;임동혁;김현후
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제25권7호
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    • pp.521-524
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    • 2012
  • We report on variations of electrical properties with different active layer thickness and post-annealing temperature in amorphous In-Ga-Zn-O (IGZO) thin-film transistors (TFTs). In particular, subthreshold swing (SS) of the IGZO-TFTs was improved as increasing the active layer thickness at an given post-annealing temperature, accompanying the negative shift in turn-off voltage. However, as increasing post-annealing temperature, only turn-off voltage was shifted negatively with almost constant SS value. The effect of the active layer thickness and post-annealing temperature on electrical properties, such as SS, field effect mobility and turn-off voltage in IGZO-TFTs has been explained in terms of the variation of trap density in IGZO channel layer and at gate dielectric/IGZO interface.

공정 변수에 따른 비정질 인듐갈륨징크옥사이드 산화물 반도체 트랜지스터의 전기적 특성 연구 (Study on the Electrical Properties of a-IGZO TFTs Depending on Processing Parameters)

  • 정유진;조경철;김승한;이상렬
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제23권5호
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    • pp.349-352
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    • 2010
  • Thin-film transistors (TFTs) were fabricated using amorphous indium gallium zinc oxide (a-IGZO) channels by rf-magnetron sputtering at room temperature. We have studied the effect of oxygen partial pressure on the threshold voltage($V_{th}$) of a-IGZO TFTs. Interestingly, the $V_{th}$ value of the oxide TFTs are slightly shifted in the positive direction due to increasing $O_2$ partial pressure from 0.007 to 0.009 mTorr. The device performance is significantly affected by varying $O_2$ ratio, which is closely related with oxygen vacancies provide the needed free carriers for electrical conduction.

게이트 절연막의 표면처리에 의한 비정질 인듐갈륨징크옥사이드 박막트랜지스터의 계면 상태 조절 (Interface State Control of Amorphous InGaZnO Thin Film Transistor by Surface Treatment of Gate Insulator)

  • 김보슬;김도형;이상렬
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제24권9호
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    • pp.693-696
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    • 2011
  • Recently, amorphous oxide semiconductors (AOSs) based thin-film transistors (TFTs) have received considerable attention for application in the next generation displays industry. The research trends of AOSs based TFTs investigation have focused on the high device performance. The electrical properties of the TFTs are influenced by trap density. In particular, the threshold voltage ($V_{th}$) and subthreshold swing (SS) essentially depend on the semiconductor/gate-insulator interface trap. In this article, we investigated the effects of Ar plasma-treated $SiO_2$ insulator on the interfacial property and the device performances of amorphous indium gallium zinc oxide (a-IGZO) TFTs. We report on the improvement in interfacial characteristics between a-IGZO channel layer and gate insulator depending on Ar power in plasma process, since the change of treatment power could result in different plasma damage on the interface.

비정질 하프늄인듐징크옥사이드 산화물 반도체의 공정 파워에 따른 트랜지스터의 전기적 특성 연구 (Study on the Electrical Properties of Amorphous HfInZnO TFTs Depending on Sputtering Power)

  • 유동윤;정유진;김도형;주병권;이상렬
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제24권8호
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    • pp.674-677
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    • 2011
  • The dependency of sputtering power on the electrical performances in amorphous HIZO-TFT (hafnium-indium-zinc-oxide thin film transistors) has been investigated. The HIZO channel layers were prepared by using radio frequency (RF) magnetron sputtering method with different sputtering power at room temperature. TOF-SIMS (time of flight secondary ion mass spectrometry) was performed to confirm doping of hafnium atom in IZO film. The field effect mobility (${\mu}FE$) increased and threshold voltage ($V_{th}$) shifted to negative direction with increasing sputtering power. This result can be attributed to the high energy particles knocking-out oxygen atoms. As a result, oxygen vacancies generated in HIZO channel layer with increasing sputtering power resulted in negative shift in Vth and increase in on-current.

인듐틴옥사이드와 몰리브데늄을 이용한 외부 기준 저항이 필요 없는 온도센서 (Temperature sensor without reference resistor by indium tin oxide and molybdenum)

  • 전호식;배병성
    • 센서학회지
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    • 제19권6호
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    • pp.483-489
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    • 2010
  • Display quality depends on panel temperatures. To compensate it, temperature sensor was integrated on the panel. The conventional temperature sensor integrated on the panel needs external reference resistor. Since the resistance of external resistor can vary according to the variation of the environment temperature, the conventional temperature sensor can make error in temperature sensing. The environmental temperatures can change by the back light unit, driving circuits or chips. In this paper, we proposed a integrated temperature sensor on display panel which does not need external reference resister. Instead of external reference resistor, we used two materials which have different temperature coefficient in resistivity. They are connected serially and the output voltage was measured at the point of connection with the applied voltage to both ends. The proposed sensor was fabricated with indium tin oxide(ITO), and Mo metal electrode temperature sensor which were connected serially. We verified the temperature senor by the measurements of sensitivity, lineality, hysteresis, repeatability, stability, and accuracy.

구리 기저 층이 In2O3/Cu 박막의 광학적, 전기적 특성에 미치는 영향 (Effect of the Cu Bottom Layer on the Optical and Electrical Properties of In2O3/Cu Thin Films)

  • 김대일
    • 한국진공학회지
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    • 제20권5호
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    • pp.356-360
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    • 2011
  • 유리 기판 위에 RF와 DC 마그네트론 스퍼터링 방법으로 100 nm 두께의 $In_2O_3$ 단층 박막과 $In_2O_3$ 100 nm/Cu 3 nm의 두께를 갖는 적층박막을 증착하고, 구리 기저 층 증착에 따른 상부 $In_2O_3$ 박막의 광학적, 전기적 특성의 변화를 연구하였다. 상온에서 증착 된 $In_2O_3$ 박막의 가시광 투과도와 면 저항은 79%와 2,300 ${\Omega}/{\square}$이었다. 구리 기저 층의 광 흡수에 의하여, $In_2O_3$/Cu 적층박막의 가시광 투과도는 71%로 감소하였으나, 면 저항은 110 ${\Omega}/{\square}$로 측정되어 상대적으로 우수한 전기적 특성을 구할 수 있었다. 본 연구에서 Figure of Merit 분석을 통하여 구리 기저 층이 상부 $In_2O_3$ 투명전극의 전기적, 광학적 특성을 개선 할 수 있음을 확인하였다.

자체-감지능 및 광투과도를 지닌 CNT 및 ITO/PET 다기능성 나노복합소재의 계면 조절 연구 (Interfacial Control of Multi-functional CNT and ITO/PET Nanocomposites having Self-Sensing and Transparency)

  • 왕작가;권동준;구가영;박종만
    • Composites Research
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    • 제24권1호
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    • pp.45-50
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    • 2011
  • 자체-감지능 있는 다기능성 나노복합소재를 위해, 투명하고 전도성 있는 카본나노튜브 (CNT)로 코팅된 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET)를 함침 방법으로 제조하였다. CNT 코팅의 전기적 광학적 특정의 변화는 함침 횟수와 CNT용액의 농도에 주로 의존하였다. 결과적으로, CNT 코팅의 표면저항과 투과도는 제조공정의 변수들에 따라 예민하게 조절되었다. CNT 코팅의 표면저항은 4점법과 이중 배열법에 의해 측정되었으며, 광학적 투과도는 UV 스펙트럼을 사용하여 평가하였다. CNT 코팅의 표면특성을 측정한 정적 및 동적 접촉각은 상호 일치함을 보여주었다. 함침 코팅수가 증가함에 따라, CNT코팅한 PET의 표면저항은 현저하게 저하했으나, 투명도는 CNT 네트워크의 특성으로 거의 감소하지 않았다. CNT와 인듐틴옥사이드 (ITO)의 계면 및 전기적 특성들은 피로 시험을 통하여 비교하였다. CNT는 2000회 반복 후에도 표면저항의 변화가 없는 반면에, ITO는 1000회 반복까지 표면저항의 급격한 증가를 보여주었다가 안정화하였다. 이는 형상비가 큰 CNT는 전기 접촉점을 계속 유지하는 반면에, 취성이 있는 ITO는 미세 균열이 발생하여 전지 접촉점을 많이 상실하기 때문이다.