Study on the Electrical Properties of a-IGZO TFTs Depending on Processing Parameters |
Chong, Eu-Gene
(Electronic Materials Center, Korean Institute of Science and Technology)
Jo, Kyoung-Chol (Electronic Materials Center, Korean Institute of Science and Technology) Kim, Seung-Han (Electronic Materials Center, Korean Institute of Science and Technology) Lee, Sang-Yeol (Electronic Materials Center, Korean Institute of Science and Technology) |
1 | S. Y. Lee, Y. W. Song, and S. P. Chang, J. KIEEME 21, 3 (2008). |
2 | J. K. Jeong, Information Display, 10, 42 (2009). |
3 | J. S. Park, J. K. Jeong, Y. G. Mo, H. D. Kim, andC. J. Kim, Appl. Phys. Lett. 93, 033513 (2008). DOI |
4 | M. K. Kim, J. H. Jeong, H. J. Lee, T. K. Ahn, H. S.Shin, J. S. Park, J. K. Jeong, Y. G. Mo, and H. D.Kim, Appl. Phys. Lett. 90, 212114 (2007). DOI |
5 | T. Kamiya, K. Nomura, and H. Hosono, J. Display Technol. 5, 468 (2009). DOI |
6 | P. Barquinha, L. Pereira, G. Goncalves, R. Martins, andE. Fortunato, J. Electrochem. Soc. 156, H161 (2009). DOI |
7 | E. Ziegler, A. Heirich, H. Oppermann, and G. Stover,Phys. Stat. Sol. (a) 66, 635 (1981). DOI |
8 | S. Y. Lee, Y. W. Song, and S. P. Chang, J. of IEEK 35, 60 (2008). |
9 | Y. Orikasa, M. Hayashi, and S. Muranaka, J. Appl. Phys. 103, 113703 (2008). DOI |
10 | K. W. Kim, Y. W. Song, S. P. Chang, I. H. Kim, S. S.Kim, and S. Y. Lee, Thin Solid Films 518, 1190 (2009). DOI |
11 | E. Fortunato, A. Pimentel, A. Goncalves, A. Marques,and R. Martins, Thin Solid Films 502, 104 (2006). DOI ScienceOn |
12 | B. D. Ahn, J. H. Kim, H. S. Kang, C. H. Lee, S. H.Oh, K. W. Kim, G. E. Jang, and S. Y. Lee, Thin Solid Films 516, 1382 (2008). DOI |
13 | Y. K. Moon, S. Lee, J. W. Park, D. H. Kim, J. H.Lee, and C. O. Jeong, J . Korean Phys. Soc. 54, 121(2009). DOI |