• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.138-138
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• 2010

이중 주파수를 이용한 고주파 용량성 결합 플라즈마 장치는 반도체 및 디스플레이 생산 공정에서 널리 사용되는 장치 형태이며 일반적으로 이온 플라즈마 주파수보다 높은 주파수의 고주파 전력과 이온 플라즈마 주파수보다 낮은 주파수의 저주파 전력을 인가하여 플라즈마 발생 밀도 및 입사 이온 에너지를 독립적으로 조절할 수 있다. 용량성 결합 플라즈마 장치에서는 전극의 쉬스 임피던스가 비선형적으로 변화함에 따라 전극의 전압, 전류 및 플라즈마 전위는 수많은 고조파를 포함하게 되며, 이중 주파수가 인가된 경우 이러한 고주파와 저주파 신호의 고조파가 상호 변조된 형태로 나타나게 된다. 본 연구에서는 주파수에 따른 이온의 거동 특성 차이를 이용하여 변조된 형태의 Lieberman의 비균일 RF쉬스 모델을 가정한 고주파 쉬스를 단순한 저주파 쉬스로 모사하였다. 단순화된 저주파 쉬스 임피던스를 이용한 회로 모델을 구성하여 100MHz와 2MHz RF전력을 사용하는 용량성 결합 플라즈마 장치에서 측정된 전극 전압, 전류 및 플라즈마 전위 신호의 위상차 및 고조파 발생 특성을 분석하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.195-195
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• 2011

플라즈마를 이용한 반도체 이온 주입 공정(Plasma Immersion Ion Implantation)에서 이온 도즈량(DOSE) 측정은 공정 신뢰성 및 재현성 확보를 위해 중요하다. 본 연구에서는 도즈량 측정을 위해 패러데이컵과 같이 측정 장비를 챔버에 직접 삽입 시키지 않고 챔버 외부에서 이온 주입을 위한 바이어스 전극의 직류 펄스 전압 및 전류 신호 측정을 통해 실시간으로 도즈량을 추출하는 방법을 개발하였다. 펄스 전압 신호에서 전압 신호 상승, 하강 시간에 의해 발생된 변위 전류와 플라즈마 발생 소스의 RF잡음등을 제거한 후 이온 포격으로 인한 2차 전자 방출 계수를 고려하여 펄스 동작 기간 추출을 통해 실시간으로 측정하는 알고리즘을 구현하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2002.07d
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• pp.2310-2312
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• 2002

전류 신호에 대한 고속 퓨리에 변환(FFT)은 유도전동기의 고장 검출에 널리 사용되어 왔다. 본 논문에서는 고정자 전류 스펙트럼 중에서 회전자 고장에 의해서 많은 영향을 받는 주파수 성분들로 특징 벡터를 구성하고, 이를 단순한 산술 연산만으로 처리함으로써 회전자 고장을 검출한다. 제안한 방법에서는 고장의 유무를 검출하기 위해서 기준 벡터와 입력 고정자 전류 신호로부터 추출된 특징 벡터 간의 차이 신호만을 이용하기 때문에 신경망에 의한 고장 검출 알고리즘 등에 비해서 훨씬 적은 계산량 만으로도 모터의 고장을 효율적으로 검출할 수 있다.

• Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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• v.15 no.5
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• pp.1119-1124
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• 2011

The operation of current conveyor circuit is similar to an operational amplifier and a current conveyor circuit has the characteristics such as good linearity and stability. In this paper, a frequency-to-voltage converter circuit is designed by using a current conveyor circuit. The supply voltage is 5volts and the designed circuit is simulated by HSPICE. The range of the input frequency is from 4kHz to 200kHz. From the simulation results the error of the output voltages is less than from -1.3% to +2.5% compared to the calculated values.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2005.07c
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• pp.2069-2071
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• 2005

본 연구에서는 플라즈마 식각 공정 시 식자률, 선택비, wafer 손상등과 중요한 관련이 있는 이온 에너지 분포(IED)를 측정하기 위해서 챔버 내에 직접적으로 분석기를 설치하지 않고 챔버 외부에서 비 침투적(noninvasive)인 방법을 사용하여 측정하였다. 이 방범은 신호선 중 한 곳에 측정 점을 잡기 위한 연결 장치만 필요하며 그곳에서의 전안 신호와 전류 신호를 오실로스코프에서 측정한 후 미리 얻어진 챔버 구조 모델링 계수 등을 통해 실제 바이어스 전극에 걸리는 전압 및 전극에서 플라즈마로 흐르는 전류를 유추한다. 전압 및 전류측정값과 power balance와 particle balance를 적용하여 얻은 플라즈마 특성 상태 변수들을 사용하여 oscillating step sheath model을 기반으로 한 분석 프로그램을 통해 실시간 이온에너지 분포 결과를 얻었다. 실제 공정 시 바이어스 주파수 변화, 바이어스 파워 변화, 소스 파워변화 조건 등에 따른 이온 에너지 분포 측정 및 분석을 통해 비 침투적측정방법 적용의 가능성과 장점을 확인하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2007.07a
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• pp.2088-2089
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• 2007

본 논문은 직렬 아크고장 신호분석과 관련된 연구로서, 정상상태와 아크고장 상태에서 발생하는 전압 전류를 검출하여 아크고장 전류의 특이점을 분석하였다. 역률이 1인 저항성 부하와 L성 부하, C성 부하를 구성하고, 순시 임피던스 분석, FFT 분석, 웨이블렛 분석 방법을 사용하였다. 분석결과 순시 임피던스 분석방법과 FFT 분석방법에서는 직렬 아크고장 신호의 특이점을 찾을 수 있었으나 정량화하기가 어렵고, 웨이블렛 분석방법으로는 직렬 아크고장 신호의 특이점 검출 및 정량화 가능성을 발견할 수 있었다.

• Proceedings of the KIPE Conference
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• 2019.07a
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• pp.402-403
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• 2019

2개의 S/H (Sample and Hold)회로를 내장한 ADC (Analog to Digital converter)는 전동기의 3상 전류를 동시점에서 샘플링(sampling)할 수 없다. 또한 전류 센서 및 아날로그 신호처리 회로의 이득은 오차가 있다. 이러한 이유로 3상 측정 전류의 불평형 상태가 야기될 수 있으며 이 불평형은 전동기 전류제어에 영향을 미친다. 이 논문에서는 2개의 S/H 회로를 이용한 3상 전류 측정의 동기화 및 이득 오차의 보정 방법을 제안하고 컴퓨터 모의 실험을 통하여 제안된 방법을 검증하였다.

• The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication
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• v.9 no.1
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• pp.39-45
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• 2009

OFDM is used for achieving a high-speed data transmission in mobile wireless communication systems. Conventionally, fast Fourier transform that is the main signal processing of OFDM is implemented using digital signal processing. The DSP FFT LSI requires large power consumption. Current-mode FFT LSI with analog signal processing is one of the best solutions for high speed and low power consumption. However, for the operation of current-mode FFT LSI that has the structure of parallel-input and parallel-output, current-mode serial-to-parallel and parallel-to-serial converter are indispensable. We propose a novel current-mode SPC and PSC and full chip simulation results agree with experimental data. The proposed current-mode SPC and PSC promise the wide application of the current-mode analog signal processing in the field of low power wireless communication LSI.

• The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication
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• v.8 no.4
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• pp.89-95
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• 2008

In the maritime communication, Orthogonal Frequency Division Multiplexing (OFDM) communication terminal should be operated with low power consumption, because the communication should be accomplished in the circumstance of disaster. Therefore, Low power FFT processor is required to be designed with current mode signal processing technique than digital signal processing. Current- to-Voltage Converter (IVC) is a device that converts the output current signal of FFT processor into the voltage signal. In order to lessen the power consumption of OFDM terminal, IVC should be designed with low power design technique and IVC should have wide linear region for avoiding distortion of signal voltage. To design of one-chip of the FFT LSI and IVC, IVC should have a small chip size. In this paper, we proposed the new IVC with wide linear region. We confirmed that the proposed IVC operates linearly within 0.85V to 1.4V as a function of current-mode FFT output range of -100~100[uA]. Designed IVC will contribute to realization of low-power maritime data communication using OFDM system.

• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.13 no.1
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• pp.46-52
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• 1999

A new current controlled PWM t'||'&'||'pound;rlmique with NPC(Neutral Point Qarll)ed) structure is IrOIX>Sed in this paper. A current controlled PWM technique with neutral-JXlint-cIamped pulse-width modulation inverter composed of main switching devices which operates as switch for PWM and auxiliary switching devices to clamp the output terminal potential to the neutral point potential is described. The proposed current controller has a first and second current band The switching pattern will be made by the first current band. According to the second current band, the output state of the switching pattern is changed into positivee and negative state. This inverter output contains less hanronic content and lower switching frequency than that of conventional current controlled PWM technique at the same current limit. Thbe induction machine drive with proposed technique is investigated by commputer simulation.