Determination of Interface Layer between $Si_3N_4$ Thin Films and c-Si Substrate Using S-wave Antireflection
(s-wave 무반사 조건을 이용한 $Si_3N_4$ 박막과 c-Si 기판사이의 계면층 결정)
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- Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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- 2000.02a
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- pp.172-173
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- 2000