Detection of Resonance Frequency of Micro Mechanical Devices Using Optical Method and Their Application for Mass Detection (광학적 방법을 통한 마이크로 역학 소자의 공진주파수 측정법과 이를 이용한 마이크로 캔티레버 공진기의 질량 변화 연구)
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- v.21 no.1
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- pp.36-40
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- 2012