Abstract
Inclinometer sensors are widely applied in many fields. Especially in the field of construction of high-rise buildings also measure the horizontal and vertical help has been applied to monitor. Recent micro electro-mechanical system(MEMS) technology with the development of the many sensors have been developed. In this paper, a MEMS inclinometer is based on a MEMS accelerometer. The sensor can measure the angle of inclination using the relationship between static acceleration and gravity acceleration from an accelerometer. From this principle, inclinometer has been developed that has more accurate. The accuracy is proved by the experiment with laser displacement. Results in the experiment express high-accuracy, stability and economics of MEMS inclinometer. In conclusion, wireless MEMS inclinometer sensor is expected to be applicable in the areas of construction and many other industries with accurate and convenient monitoring system.
경사계 센서는 여러분야에서 널리 적용되고 있는 센서 중의 하나이다. 특히 건축분야에서는 초고층 건물의 수직도와 수평도를 계측하고 모니터링하는데 적용되어 왔다. 최근 미소전기기계 시스템(MEMS: Micro Electro-Mechanical System)기술의 발달로 인해 많은 센서들이 개발되었다. 본 논문에서 논하고자 하는 MEMS형 경사계는 MEMS형 가속도계를 기반으로 한다. 정지한 상태에서 가속도계로 계측되는 정적 가속도와 중력가속도 사이의 관계를 이용하면 센서에 발생하는 경사를 계측할 수 있기 때문이다. 이러한 원리 때문에 좀 더 정확하고 이점을 갖는 경사계가 개발되었다. 보 실험을 통하여서 레이저 변위계와의 차이를 검증하였다. 실험결과 무선 MEMS형 경사계 센서 시스템은 높은 정확도, 안정성, 장기모니터링에 대한 경제성을 갖는 유용한 시스템임을 확인할 수 있었다. 결론적으로 무선 MEMS형 경사계 센서 시스템은 건축분야에서 그리고 다른 여러 산업분야에서 정확하고 편리한 모니터링 시스템으로 적용될 수 있을 것으로 판단된다.
