차세대 반도체 공정인 450mm 웨이퍼 생산 환경의 가장 큰 특징은 반도체 생산의 전 공정에 대한 완전 자동화이다. 이러한 완전 자동화는 작업자의 공정개입을 불가능하게 하고 개별 웨이퍼의 중요도를 크게 증가시키며 전체 반도체 생산 공정에 대한 견고한 디스패칭 시스템을 필요로 한다. 또한, 차세대 반도체 공정의 디스패칭 시스템은 개별 웨이퍼에 대한 실시간 모니터링과 데이터 수집이 가능해야 하며, 수집된 반도체 공정의 정보를 반영한 실시간 디스패칭이 가능해야 한다. 본 연구에서는 차세대 반도체 환경인 450mm 웨이퍼 생산 환경에서 중요한 역할을 하는 클러스터 툴에 대해 분석하고 클러스터 툴에서 웨이퍼의 작업순서를 결정할 수 있는 디스패칭 알고리즘을 제안한다.
이 연구의 모형은, 자원(기계, 인력), 주문(작업)의 의미를 확정한 "일반화된 job-shop"이다. 이 모형의 제약조건을 파악한 후, 불확정 제약조건의 표현과 추론방법을 연구하였으며, 이를 위하여 일정계획 수립 기능들을 모듈화하였다. 불확정제약조건에 따라 모듈들을 선택적으로 사용하기 위한 추론 과정은, 먼저, 납기만족이 우선이며 제약만족(CSP) 일정계획 모듈을 사용하고 그렇지 않으면 디스패칭 모듈을 사용한다. 그리하여, 납기, 작업시간의 불확정성과 자원의 변동, 새 주문의 추가, 일정계획 목표의 변경등을 반영하는 일정계획 수립방법을 제시하였다. 이 논문은 제약만족 일정계획과 디스패칭 일정계획을 하나의 틀에서 함께 사용함으로써, 일정계획 목표의 변경이나 제조환경이 변화에 대처할 수 있음을 보인다.수 있음을 보인다.
재작업은 제품의 품질 만족을 위해 요구되는 활동으로 제조 현장에서 필수적인 공정이다. 사전에 수행 여부의 파악이 어려운 재작업은 공정시간의 증가 및 제품의 납기 지연으로 이어질 수 있어 이를 고려한 스케줄링이 중요하다. 본 연구에서는 자동차 배관 생산라인인 재작업이 존재하는 유연흐름라인을 대상으로 Dispatching을 통한 평균 흐름시간과 납기지연의 가중합을 최소화하는 스케줄링 연구를 진행하였다. 본 연구에서는 제품별 납기 등 고객 요구와 재작업 및 가공시간 등의 변동성이 존재하는 제조환경에서 Dispatching을 위한 가중치 기반 Dispatching 규칙(WDR)을 제안한다. WDR은 여러 단일 Dispatching 규칙의 가중합으로 구성되며 본 연구는 가중치 탐색을 위해 시뮬레이션 기반 유전알고리즘을 적용하였다. 시뮬레이션 실험을 통해 WDR이 단일 Dispatching 규칙에 비해 우수한 성능을 보임을 확인하였다.
In this paper, we propose a dispatching algorithm for constructing a Factory Operating System (FOS) which can operate semiconductor fabrication factories more efficiently and effectively. We first define ten dispatching criteria and propose two methods to apply the defined dispatching criteria sequentially and simultaneously (i.e. fixed dispatching architecture). However the fixed type methods cannot apply the criteria adaptively by considering changes in the semiconductor fabrication factories. To overcome this type of weakness, an adaptive dispatching architecture is proposed for applying the dispatching criteria dynamically based on the factory status. The status can be determined by combining evaluation results from the following three status criteria; target movement, workload balance, and utilization rate. Results from the shop floor in past few periods showed that the proposed methodology gives a good performance with respect to the productivity, workload balance, and machine utilization. We can expect that the proposed adaptive dispatching architecture will be used as a useful tool for operating semiconductor fabrication factories more efficiently and effectively.
반도체 및 LCD 제조 라인의 물류 제어 시스템을 위하여 시스템의 현재 및 미래의 Look ahead 정보를 사용하고 반송장비의 운반 상황을 동시에 고려하면서 디스패칭(dispatching) 과정을 수행하는 RTLAD(Real Time Look Ahead Dispatcher)를 위한 핵심 기법들을 개발한다. 특히, 베이(bay) 내에서 로트의 가공이 완료 되었을 때 다음 스텝 공정을 위하여 목적지 장비를 실시간으로 결정하는 절차를 제시하며, 동시에 목적지 장비까지의 반송장비를 선택하는 절차를 제시한다. 목적지 장비 결정 과정에서 반송장비의 상황을 함께 고려한다.
인터넷을 이용한 전자상거래(e-commerce)가 확산되면서 중소규모의 다중 서버를 클러스터화하여 클라이언트의 요청에 대한 응답을 수행하는 네트웍 서비스에 대한 요구가 증대하고 있다. 이러한 웹서버 클러스터 환경의 요청을 위해서는 TCP정보나 요청되는 대상의 컨텐트(content) 정보를 이용하여 라우팅을 수행하는 라우터의 구현이 필수적이다. 이러한 TCP 라우팅이나 컨텐트 라우팅의 구현을 전적으로 소프트웨어에 의존하는 경우 전송속도의 저하가 발생할 우려가 있다. 이는 기존의 TCP 커넥션 설정과 이 TCP 커넥션을 이용한 데이터 전송이 라우팅을 고려하지 않은 가상의 점대점(point-to-point) 연결구조를 갖기 때문이다. 따라서, 본 논문에서는 보안세션 라우팅을 고속화시키기 위하여 TCP 커넥션 고속화를 기반으로 보안세션의 재사용성을 향상시키는 웹서버 클러스터 환경에 최적화된 디스패칭(dispatching) 기법을 제시하고자 한다.
A semiconductor production system has sophisticated manufacturing operations and needs high capital investment for its expensive equipment, which warrants efficient real-time flow control for wafers. In the bay, we consider material handling equipment that can handle multiple carriers of wafers. The dispatching logic first determines the transportation time of each carrier to its destination by each unit of transportation equipment and uses this information to determine the destination machine and target carrier. When there is no available buffer space at the machine tool, the logic allows carriers to stay at the buffer of a machine tool and determine the delay time, which is used to determine the destination of carriers in URL. A simulation study shows this dispatching logic performs better than the procedure currently in use to reduce the mean flow time and average WIP of wafers and increase efficiency of material handling equipment.
This research develops dispatching rule for a wafer FABs with dedication constraints. Dedication, mostly considered in a photolithography step, is a feature in a modern FABs in order to increase the yield of machines and achieve the advance of manufacturing technology. However, the dedication has the critical problem because it causes dedication load of machines to unbalance. In this paper, we proposes the dedication load based dispatching rule for load balancing in order to resolve the problem. The objective of this paper is to balance dedication load of photo machines in wafer FABs with dedication constraint. Simulation experiments show that the proposed rule improves the performance of wafer FABs as well as load balance for dedication machines compared to open-loop control based conventional dispatching rule.
This paper considers an inbound lot-sizing and outbound dispatching problem for a single product in a thirdparty logistics (3PL) distribution center. Demands are dynamic and finite over the discrete time horizon, and moreover, each demand has a delivery time window which is the time interval with the dates between the earliest and the latest delivery dates All the product amounts must be delivered to the customer in the time window. Ordered products are shipped by multiple vehicle types and the freight cost is proportional to the vehicle-types and the number of vehicles used. First, we formulate a mixed integer programming model. Since it is difficult to solve the model as the size of real problem being very large, we design a conventional genetic algorithm with a local search heuristic (HGA) and an improved genetic algorithm called adaptive genetic algorithm (AGA). AGA spontaneously adjusts crossover and mutation rate depending upon the status of current population. Finally, we conduct some computational experiments to evaluate the performance of AGA with HGA.
Presented in the paper is a reservation based dispatching rule to achieve the on-time delivery in system LSI (large scale integrated circuit) semiconductor fabrication (FAB) with urgent orders. Using the proposed reservation based dispatching rule, urgent lots can be processed without waiting in a queue. It is possible to achieve the on-time delivery of urgent orders by reserving a proper tool for the next step in advance while urgent lots are being processed at the previous step. It can cause, however, tardiness of normal lots, because the proposed rule assign urgent lots first. To solve this problem, the proposed rule tries to find the best tool for the reservation in the tool group, which can minimize idle time, and the reservation rule is applied at all tools except for photolithography tools (bottleneck). $MOZART^{(R)}$ which is developed by VMS solutions are used for simulation experiments. The experimentation results show that the reservation based dispatching rule can achieve the on-time delivery of normal lots as well as urgent lots.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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