반도체 물류 제어 시스템을 위한 RTLAD(Real Time Look Ahead Dispatcher) 핵심 기법 개발

  • Published : 2004.05.21

Abstract

반도체 및 LCD 제조 라인의 물류 제어 시스템을 위하여 시스템의 현재 및 미래의 Look ahead 정보를 사용하고 반송장비의 운반 상황을 동시에 고려하면서 디스패칭(dispatching) 과정을 수행하는 RTLAD(Real Time Look Ahead Dispatcher)를 위한 핵심 기법들을 개발한다. 특히, 베이(bay) 내에서 로트의 가공이 완료 되었을 때 다음 스텝 공정을 위하여 목적지 장비를 실시간으로 결정하는 절차를 제시하며, 동시에 목적지 장비까지의 반송장비를 선택하는 절차를 제시한다. 목적지 장비 결정 과정에서 반송장비의 상황을 함께 고려한다.

Keywords