반응성 화학기상증착법을 이용한 에피택셜 $CoSi_2$ 박막의 형성 및 성장에 관한 연구
(Formation and Growth of Epitaxial $CoSi_2$ Layer by Reactive Chemical Vapor Deposition)
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- 한국재료학회지
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- 제10권11호
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- pp.738-741
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- 2000