Effect of Surface States of the Substrate on the Temperature Rampup Rate During Rapid Thermal Annealing by Halogen Lamps (할로겐 램프에 의한 급속 열처리에서 기판 표면 상태에 따른 온도 상승 효과에 관한 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics A
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- v.28A no.10
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- pp.840-846
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- 1991