분광타원법을 이용한 스퍼터된 $Ta_2O_5$ 박막의 광학적 특성
(Optical Properties of Sputtered $Ta_2O_5$ Thin Films by Using Spectroscopic Ellipsometry)
-
- 한국광학회:학술대회논문집
- /
- 한국광학회 2009년도 동계학술발표회 논문집
- /
- pp.229-230
- /
- 2009