Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 2009.02a
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- Pages.229-230
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- 2009
Optical Properties of Sputtered $Ta_2O_5$ Thin Films by Using Spectroscopic Ellipsometry
분광타원법을 이용한 스퍼터된 $Ta_2O_5$ 박막의 광학적 특성
- Kim, Seon-Hui ;
- Lee, Ui-Hyeon ;
- Jeong, In-U ;
- Hyeon, Jang-Hun ;
- Lee, Seong-Ryong ;
- Gang, Man-Il ;
- Ryu, Ji-Uk
- 김선희 (충남과학고등학교) ;
- 이의현 (충남과학고등학교) ;
- 정인우 (충남과학고등학교) ;
- 현장훈 (충남과학고등학교) ;
- 이성룡 (충남과학고등학교) ;
- 강만일 (공주대학교 물리학과) ;
- 류지욱 (공주대학교 물리학과)
- Published : 2009.02.12
Abstract
Keywords