Interfacial reaction between TSV filled Sn alloy and Ti/Cu UBM

Sn 합금 충진된 TSV와 Ti/Cu UBM의 계면 특성 연구

  • 고영기 (한국생산기술연구원 마이크로조이닝센터) ;
  • 유세훈 (한국생산기술연구원 마이크로조이닝센터) ;
  • 강명석 (과학기술연합대학원대학교 전자패키징공학과) ;
  • 유동열 (과학기술연합대학원대학교 전자패키징공학과) ;
  • 김정한 (한국생산기술연구원 마이크로조이닝센터) ;
  • 이창우 (한국생산기술연구원 마이크로조이닝센터)
  • Published : 2012.10.24