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중고령자의 퇴직전환 및 노후소득보장과 점진적 퇴직지원 (Middle-Old Age's Retirement Transition, Old Age Income Security and the Support of Gradual Retirement)

  • 지은정
    • 한국사회복지학
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    • 제58권3호
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    • pp.135-168
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    • 2006
  • 우리나라는 매우 빠른 속도로 고령사회가 될 것이 예측되며, 조기퇴직과 근로계층감소에 대한 대책 및 연금개혁 또한 필요한 시점이다. 이에 본 연구는 OECD 국가의 연금개혁동향의 개괄적 특징 및 긍정적 부정적(기대)효과를 살펴본 후, 한국노동패널 $3{\sim}7$차 자료를 통해 우리나라 중고령자의 완전퇴직/점진적 퇴직현황과 그 결정요인을 분석하였다. 그리고 이러한 결과를 토대로 정책적 함의를 제시하였다. 연구결과 우리나라 50세 이상 중고령자의 약 1/4명은 퇴직 후에도 다양한 경로를 통해 근로를 지속하였고, 퇴직을 포함한 여러 종사상 지위의 재취업단계를 거친 완전퇴직자의 98%는 여전히 구직활동을 하고 있었다. 이는 우리나라 역시 노동시장 참여여부의 전통적 퇴직개념이 부적절하며, 임시 일용직 또는 자영업이 중고령자에게 근로활동을 지속할 수 있는 대안으로 활용되고 있음을 보여주는 것이다. 그러나 점진적 퇴직자의 바뀐 종사상 지위의 지속기간이 대부분 $1{\sim}2$년으로 짧다. 따라서 다양한 퇴직형태에 대한 고려 및 소득공백기간을 최소화하고 근로의지와 능력이 있는 중고령자의 근로증진에 도움이 될 수 있는 점진적 퇴직지원이 필요하다. 특히 점진적 퇴직지원의 주된 방안인 부분연금제도는 대상연령을 연금수급연령이하로 하고, 급여수준은 연금과의 연계선상에서 수리적으로 공정하게 설정하되, 실질적 혜택을 제공해야 한다. 그러나 부분연금제도만 단순히 도입하는 것으로서는 부족하며, 이에 대한 사회경제전반의 통합적 접근이 필요하다. 특히 노동시장정책과의 연계를 통해 중고령자의 양적 질적 고용확대를 보장해야 하며, 더불어 점진적 퇴직지원이 비자발적 조기퇴직경로 혹은 고령자의 파트타임근로를 강요하는데 오용되지 않도록 해야 한다.

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임플란트 인상 채득 시 트레이 종류에 따른 인상체의 정확도에 관한 비교 연구 (A comparative study on the accuracy of impression body according to the types of impression tray)

  • 이현정;임종화;이준석
    • 대한치과보철학회지
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    • 제48권1호
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    • pp.48-54
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    • 2010
  • 연구 목적: 보편화된 임플란트 치료의 장기적인 성공을 위해서는 임플란트와 상부 보철물의 연결 시 완전한 수동적 적합을 이루는 것이 중요하며, 이를 위해서는 정확하게 인상 채득하는 것이 필요하다. 이 연구에서는 임플란트 고정체 수준 인상 채득 방법 중 인상체 제거 후 인상용 코핑이 인상체에 남아있는 open tray 인상법과 구강 내에 남아있는 closed tray 인상법, 그리고 인상 채득 시 사용될 수 있는 여러 트레이에 대해 비교 연구해 보고자 하였다. 연구 재료 및 방법: 실험 모형은 하악 악궁 형태로 열중합형 아크릴릭 레진을 이용하여 제작하였고, vertical gap을 관찰할 20 mm 간격의 기준 구조물을 제작한 후 이를 이용하여 실험 모형에 임플란트 유사체를 매몰하였다. 실험군은 트레이 레진으로 제작한 개인 트레이, 폴리카보네이트 기성 트레이 그리고 금속 기성 트레이 등의 3가지 트레이를 이용하였고, closed tray 인상법과 open tray 인상법의 2가지 인상 채득법에 따라 5개 군으로 나누었다. 그리고 위치에 따른 오차를 관찰하기 위해 시편 모형을 전치부, 구치부로 다시 나누어 총 10개의 실험군을 구성하였다. 1군당 총 9개의 시편을 제작하였고, 시편에 기준 구조물을 한 쪽 지대주만 20 Ncm으로 고정시킨 후 관찰하는 1-screw test를 이용하여 반대쪽의 임플란트 유사체와 지대주와의 gap을 입체 광학 현미경을 이용하여 관찰하였다. 1시편당총6부위를 측정하였고, 3회씩 측정하여 동일한 결과를 얻었을 때 수치를 기록하여 통계 처리하였다. 결과: Closed tray 인상법 사용 시 폴리카보네이트 기성 트레이와 개인 트레이 간에 유의한 차이를 보였지만, open tray 인상법 사용 시 폴리카보네이트 기성 트레이와 개인 트레이 간에 유의한 차이를 보이지 않았다. 폴리카보네이트 기성 트레이를 이용한 인상 채득 시 open tray 인상법과 closed tray 인상법 간에 유의한 차이를 보였고 (P<.05), 폴리카보네이트 트레이를 이용한 closed tray 인상법을 개인 트레이를 이용한 open tray 인상법과 비교 시 전치부, 구치부 모두에서 유의한 차이를 보였다 (P<.05). 결론: 폴리카보네이트 기성 트레이를 사용 시에는 open tray 인상법이 더 추천되는 바이며, 생체 외 실험의 한계성에 유의해야 하며, 정확한 임플란트 고정체 수준 인상 채득에 대해 더 많은 연구가 필요하다고 사료된다.

백인과 흑인에 대한 가변형 치과 인상용 트레이의 적합성에 관한 연구 (Fitness of Adjustable Dental Impression Trays on the Caucasian and African American)

  • 박용석;김유리;오상천;이인섭;동진근
    • 대한치과보철학회지
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    • 제46권2호
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    • pp.185-192
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    • 2008
  • 연구목적: 본 연구는 가변형 트레이 개발의 일환으로 그 시제품을 제작하고 비가역성 하이드로콜로이드 인상재를 사용하여 백인과 흑인에 서 인상채득시 트레이의 구강내 적합성를 알아보고자 하였다. 연구재료 및 방법: 가변형 트레이는 한국 성인 악궁의 크기 분석결과를 기본으로 하여 설계하였으며, CAD-CAM 작업을 통하여 견본 모형을 제작한 후 이를 이용하여 실리콘 간이 금형을 만든후 시제품을 제작하였다. 제작된 시제품을 이용하여 국내에 거주하는 백인 60명 (남자 30명, 여자 30명)과 흑인 60명 (남자 30명, 여자 30명)의 인상을 채득한 후 측정부위별로 인상체의 두께와 길이를 측정하여 그 적합도를 평가하였다. 결과: 1. 스탑과 경사면에 의해 트레이의 폭이 적절히 조절되어 균일한 인상체의 두께를 얻을 수 있었다. 2. 백인의 상악 트레이에서는 구개부 중앙이 13.0mm, 구개부 후방이 7.4mm로 비교적 인상체의 두께가 크게 측정되었다. 3. 백인의 하악 트레이에서는 전치 설측 기저부에서 인상체의 길이가 6.7mm로 길게 나타났으며 협측 제1,2 소구치 접촉점에서 폭이 6.7mm로 측정되었다. 설측 후방에서 폭이 2.9mm, 길이는 2.8mm로 조금 작게 측정되었다. 4. 흑인의 상악 트레이에서는 전치 순측 기저부에서 폭이 11.0mm, 구개부 중앙은 12.0mm, 구개부 후방은 11.0mm로 크게 측정되었으며 최후방 변연에서는 제2 대구치에서 후방 변연까지의 거리가 0.8mm로 작게 측정되었다. 5. 흑인의 하악 트레이에서는 전치 순측 기저부에서 폭이 9.2mm, 견치 순면에서 폭이 8.2mm로 비교적 크게 측정되었으며 최후방 변연에서는 제2 대구치에서 후방 변연까지의 거리가 0.3mm로 작게 측정되었다. 결 론: 이상과 같은 연구에 의해 측정된 값을 참고로 트레이의 변연 길이나 폭을 수정하고, 악궁의 해부학적 형태를 반영한다면, 이 가변형 트레이를 사용하여 백인과 흑인에서도 임상에서 보다 쉽고 정확한 인상채득을 할 수 있을 것이다.

방사선수술치료계획 프로그램의 지시자 회전 오차 교정 기능 점검 (Verification of Indicator Rotation Correction Function of a Treatment Planning Program for Stereotactic Radiosurgery)

  • 정현태;이레나
    • Journal of Radiation Protection and Research
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    • 제33권2호
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    • pp.47-51
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    • 2008
  • 목 적: 방사선수술에 사용되는 치료계획을 위한 정위 영상 획득 때 사용되는 표시기(indicator)의 회전에 의한 오차를 분석하고 이를 교정하는 소프트웨어의 기능을 점검하는 방법을 제시한다. 이 방법을 이용하여 상용 프로그램인 렉셀감마플랜의 회전 오차 기능을 점검한다. 대상 및 방법: 상용 프로그래밍 언어인 Interactive Data Language (version 5.5)를 이용하여 소프트웨어적으로 만든 정위 영상으로 가상 팬텀을 만들었다. 영상의 두께는 0.5 mm, 픽셀 크기 0.5 mm, 필드 크기 256 mm, 그리고 분해능은 $512{\times}512$이었다. 영상은 DICOM 3.0 표준을 따라서 렉셀감마플랜이 인식할 수 있도록 하였다. 회전 교정 기능 점검을 위하여 가상 팬텀의 중심에서 상하로 50 mm와 30 mm 떨어진 곳과 중앙에 위치한 횡단면 영상에 각각 50 mm 간격으로 측정점 9개를 만들어 총 45개의 측정점을 만들었다. 기준 가상 팬텀을 x, y, z축을 중심으로 각각 $3^{\circ}$ 회전한 영상, xy, yz, zx 축을 중심으로 각각 $3^{\circ}$씩 회전한 영상, xyz세 방향으로 모두 $3^{\circ}$씩 회전한 영상을 만들어서 회전에 의한 오차를 계산하고, 렉셀감마플랜의 교정 기능을 점검하였다. 결과: 가상 영상을 렉셀감마플랜에 입력하고 정위좌표를 정의할 때 영상에 의한 등록 오차는 $0.1{\pm}0.1mm$로써 방사선수술에서 요구하는 오차 내에 있었다. x, y, z축 중 1개 축을 중심으로 $3^{\circ}$ 회전할 때 가능한 최대 오차는 2.6mm, 2개 축을 중심으로 $3^{\circ}$씩 회전할 때는 3.7mm, 3개축 모두에 대해 $3^{\circ}$씩 회전할 때는 4.5 mm이다. 이에 대해 영상의 회전을 교정하여 렉셀감마플랜에서 측정한 측정점들의 변위는 1 개축을 중심으로 회전하였을 때 $0.1{\pm}0.1mm$, 2 개 축의 경우 $0.2{\pm}0.2mm$, 3개축의 경우 $0.2{\pm}0.2mm$로서 회전의 영향을 보정하는 기능이 정확하게 작동하고 있음을 확인할 수 있었다. 결론: 방사선수술 치료계획 프로그램의 여러 소프트웨어적 기능을 점검하기 위한 가상 팬텀을 만들고 상용프로그램의 회전 오차 교정 기능을 점검한 결과 정확하게 작동하고 있음을 확인하였다. 본 연구에서 작성한 가상 팬텀은 치료계획 프로그램의 다른 여러 기능들을 점검하는 데도 사용될 수 있을 것이다.

보조생식술 센터에서 ISO 9001 : 2000 품질경영시스템의 도입 및 시행의 효용성 (Efficacy of ISO 9001 : 2000 Quality Management System in Human Assisted Reproductive Technology Center)

  • 전진현;박용석;이형송;김순덕;황선희;한수경;김재호;송인옥;강인수;궁미경
    • Clinical and Experimental Reproductive Medicine
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    • 제34권2호
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    • pp.107-115
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    • 2007
  • 목 적: ISO 9001:2000 품질경영시스템은 국제적인 인중 기준에 의해 제품 및 서비스의 품질을 적절하게 판정하고 이를 향상시키기 위해 시행되고 있다. 본 연구에서는 이러한 품질경영시스템을 보조생식술 센터에 성공적으로 도입하고 적용하는 과정에서 확인된 효용성에 대해 기술하고자 한다. 연구방법: 제일병원 아이소망센터는 2004년 1월부터 ISO 9001:2000 인증을 위한 활동을 시작하였으며, 고객만족도조사와 주기적인 내부심사와 사후심사를 실시하였다. 심사과정에서 확인된 부적합 사항에 대한 시정 및 예방 조치와 이에 따른 효과성을 검증하였으며, 고객불만사항에 대한 지속적인 관리와 개선을 위한 프로젝트를 진행하였다. 결 과: 본 센터는 초일류 불임센터로 성장하고 최적의 품질경영시스템을 확립하기 위한 품질방침을 설정하여, 2004년 6월에 한국품질재단 (Korean Foundation for Quality)으로부터 "체외수정 및 배아이식 시술에 관련된 연구"에 대하여 ISO 9001:2000 인증을 받았다. 이러한 품질방침을 실현하기 위해 품질경영시스템에 적합한 품질매뉴얼, 프로세스, 절차서, 지침서 등에 대한 문서화를 완료하였다. 삼 년 동안의 내부심사와 사후심사에서 각각 140건과 7건의 부적합이 확인되었으며, 이에 대한 시정조치를 실시하였다. 결 론: 본 센터에서는 ISO 품질경영시스템의 도입과 운영을 통해 고객만족도의 향상, 체계적인 문서화를 통해 업무의 투명화와 효율화가 가능하였다. 보조생식술 센터에서의 ISO 품질경영시스템은 보조생식술에 대한 국가적인 관리시스템을 효율적으로 운영하기 위한 기본적인 기관별 경영시스템으로서 활용이 가능할 것으로 생각된다.

우리나라 대표적(代表的) 표본인구(標本人口)의 연간(年間) 손상(損傷) 및 중독발생율(中毒發生率)과 역학적(疫學的) 특성(特性) (National Survey of Injury and Poisoning on a Representative Sample Population of Koreans)

  • 김정순;김성수;장성칠
    • Journal of Preventive Medicine and Public Health
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    • 제27권3호
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    • pp.447-463
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    • 1994
  • Despite the public health importance of injury and poisoning in terms of its high mortality and incidence, epidemiologic information to be utilized are scarce in Korea. This study was carried out in 1990 on a representative sample population (about 55,000 persons) along with the 6th National Tuberculosis Prevalence Survey in order to estimate the magnitude of injury and poisoning occurrence and to identify its epidemiologic characteristics which can be aided for establishing preventive strategy. Pre-tested and structured Questionnaire was used by trained interviewer to collect data including general information of the person, various information on the injury and poisoning during the past one year such as time and place of its occurrence, its nature and external causes, type of medical institute attended, duration of treatment and outcome of the accident occured. In analysis of the data collected incidence rates per 1000 persons by sex, age group and its nature as well as external causes, and relative frequencies were calculated. The result obtained are as followings; 1. The incidence rate per 1000 was 30 for both sexes, 39 for male and 22 for female, male being 1.8 times more frequent than female. Age adjusted incidences were not much different from the crude rates. Age group specific rate curve showed bimodal shape in both sexes, small peaks in preschool children and higher peaks in older ages. The incidence rate per 1000 people by area was highest in Jeon-bug province (57/1000) and the lowest in Daegu city(11/1000). 2. The place where the injuries occured were road in 46%, within the boundary of house in 25%, and working place in 12% The injuries and poisoning had occured more frequently during the months from March to August of the year than other months. 3. The relatively frequent injuries by its nature were contusion with intact skin surface (19%), fracture of upper limb (13%), open wound of head, neck and trunk (12%) and fracture of lower limb (11%) among males; contusion with intact skin surface (28%), sprains and strains of joints and adjacent muscle (14%), fracture of upper limb (10%) and fracture of lower limb (9%) among females. Higher incidence rate among males than females were fracture of skull (4.5 times), open wound and fractures of limbs ($2{\sim}3$ times). Age specific rate of injuries and poisoning by its nature showed increasing pattern by age in fractures of upper and lower limbs and sprains & strains of joints whereas the age group of 30's showed highest incidence in open wounds of upper limb. Fractures of radius and ulna in upper limb, fractures of tibia & fibula and ankle in lower limb were most frequent among fractures of upper and lower limbs. The frequent injuries among sprains and strains of joints and adjacent muscles were that of ankle, foot and back, and among open wound were that of head and fingers. 4. Relative frequency of injuries and poisoning by external causes showed following order : other accidents (25%), accidental falls (23%), motor vehicle accident (22%) and other road vehicle accident (14%) among males and accidental falls (37%), motor vehicle accident (24%) and other accident (18%) among females. The external causes revealing higher incidences among males than females, were other road vehicle accident (4.8 times), vehicle accident not elsewhere classifiable (4.4 times), accidental poisoning (4.4 times), accidents due to natural and environmental factors (2.8 times), and sucide & self-inflicted injuries (2.8 times). Age specific incidence by external causes for frequent injuries showed that incidence of other accident steadily increased from 10's till age 50's; motor vehicle traffic accident increased from age 20's and dropped after age 60's; on the other hand accidental fall increased strikingly by age. The most frequent external causes among motor vehicle traffic accidents was motor vehicle traffic accident involving collision with pedstrain (69%), pedal cycle accident (30%) and other road vehicle accident (71%) among other road vehicle accidents; falls on same level from slipping, tripping or standing (44%) and other falls from one level to another among accidental falls; accidents caused by machinary (32%) for male and striking against or struck accidentally by objects or person for female among other accidents. 5. Seventy nine percent of the injuries and poisonings were treated in general hospital or hospital/clinic. The duration of treatment ranged from a few days to 123 weeks; the majority(52%) took under 2 weeks, 36% for $3{\sim}8$ weeks and 4% over 21 weeks. 6. The accident resulted in full recovery of normal healthy state in 62%, residual functional defects in 21% and on process of treatment in 16%.

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Al$_2$O$_3$ 표면 보호층이 박막형 $SnO_2$ 가스센서의 감지 특성에 미치는 영향 (Effects of an $Al_2$O$_3$Surfasce Protective Layer on the Sensing Properties of $SnO_2$Thin Film Gas Sensors)

  • 성경필;최동수;김진혁;문종하;명태호
    • 한국재료학회지
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    • 제10권11호
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    • pp.778-783
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    • 2000
  • 고주파 스피터 방법으로 제조된 SnO$_2$감지막 위에 에어로졸 화염 증착법으로 알루미나 표면 보호층을 증착하여 SnO$_2$박막 가스 센서의 감지 특성에 미치는 영향에 대햐여 조사하였고, 표면 보호층에 귀금속 Pt를 도핑하여 Pt의 함량이 CO 및 CH(sub)4 가스들의 선택성에 미치는 영향에 대하여 조사하였다. SnO$_2$박막은 R.F power 50 W, 공정 압력 4 mtorr, 기판온도 20$0^{\circ}C$에서 30분간 0.3$\mu\textrm{m}$ 두께로 Pt 전극 위에 제조하였고, 질산알루미늄(Al(NO$_3$).9$H_2O$) 용액을 희석하여 에어로졸 화염증착법으로 알루미나 표면 보호층을 만든후 $600^{\circ}C$에서 6시간동안 산소분위기에서 열처리하였다. 알루미나 표면 보호층이 증착된 SnO$_2$가스 센서소자의 경우 보호층이 없는 가스 센서와 비교하여 CO 가스에 대한 감도는 매우 감소하였으나 CH$_4$가스에 대한 감도 특성은 순수한 SnO$_2$센서 소자와 비슷하였다. 결과적으로 보호층을 이용하여 CH$_4$가스에 대한 상대적인 선택성 증가를 이룰 수 있었다. 특히 표면 보호층에 Pt가 첨가된 센서 소자의 경우 CO 가스에 대해서는 낮은 감도 특성을 나타내었으나 CH$_4$에 대한 감도는 매우 증가하여 CH$_4$가스의 선택성을 더욱 증대시킬 수 있었다. CH$_4$가스 선택성 향상에 미치는 알루미나 표면 보호층과 Pt의 역할에 대하여 고찰해 보았다.

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경제적 철골제작$\cdot$설치 및 공기단축 사례분석연구 (Case Study on Economical Fabrication and Erection of Steel Structure and Reduction in Field Erection Time)

  • 안재봉;최윤기
    • 한국건설관리학회논문집
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    • 제5권5호
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    • pp.183-192
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    • 2004
  • 현재 국내에도 건물의 특성에 알맞은 가변적이며 대공간 확보가 가능하고 사용부재의 두께가 수mm에서 100mm에 이르는 극후판 두께의 건축 철골구조의 건축물 및 Box형 강재교량으로 구축되는 사례가 증가하면서 철골부재의 제작 및 가공기술이 예전보다 더욱 향상되고 구조물로서의 품질관리에 대한 신뢰성의 요구도 증가되고 있는 실정이다, 그러나 국내의 철골조 건축부재의 구조설계는 설계사대로 각기 이루어지고 해당 부재는 공장별로 제작진행되어 그 기술수준에는 보이지 않는 상당한 격차가 있다고 보여지며 업체별로 경제성 등을 고려하여 기본적이며 일반적 철골제작기법을 간결하게 적용하는 것에 머물러 고도한 선진적인 기술의 채용은 대부분 주저할 수 밖에 없는 상황이다 또한, 중소규모의 빌딩 건축물들의 철골조 설계적용을 고려해볼 때 수많은 접합부의 표준화를 비롯하여 구조체 전체의 표준화 및 내$\cdot$외장재까지 포함된 시스템건축의 건축물설계와 부재의 제작 및 설치기술 개발경향도 엿보이고 있는 가운데 특히, 철골부재의 공장제작과 현장설치의 보다 경제적이고 짧은 공기내에 완전한 품질을 확보할 수 있는 부재간의 접합부 설계에 대한 연구검토는 철골분야에 종사하는 업계는 물론 현장 관계자에게도 의미있는 일일 것이다. 본 논문에서는 철골조 건축물의 특성을 알아보고 철골구조물 공장제작 및 현장설치공기를 최대한 단축할 수 있는 철골기둥과 기둥, 기둥과 큰보부재 접합부 변경사례 및 Box Column의 용접자동화, 로봇화에 의한 철골기둥 부재제작사례와 금후 철골구조물 제작상의 문제점과 대응방안에 대하여 서술하고자 한다.

용융탄산염 연료전지용 in-situ 소결된 Ni-Al 합금 연료극 개발 (Development of in-situ Sintered Ni-Al Alloy Anode for Molten Carbonate Fuel Cell)

  • 천현아;윤성필;한종희;남석우;임태훈
    • 전기화학회지
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    • 제9권3호
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    • pp.124-131
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    • 2006
  • 기존의 용융탄산염 연료전지용 연료극인 Ni-Cr전극은 제조과정이 복잡하며, 운전조건에서 전극의 소결과 creep현상으로 인하여 전극의 기공률과 두께가 감소하는 문제점이 있어 상용화에 걸림돌이 되고 있다. 이에 본 연구에서는 Ni-Cr계 전극보다 creep저항성이 우수하다고 알려져 있는 Ni-Al계 합금을 사용하였다. 또한 공정의 단순화로 비용을 절감시키기 위해, 소성과정을 제외하고 tape casting과 건조과정을 거친 green sheet를 단위전지에 장착하여 전처리 과정 중에 소결시키는 in-situ 소결법에 대해 연구하였다. 그러나 기존의 전처리 방법을 이용한 단위전지 평가에서 Ni-Al 합금의 상분리 현상으로 인해 기대하였던 creep저항성 향상을 확인하지 못했고, 운전중 Ni-Al합금 연료극에 단위전지의 구성요소인 matrix 기공크기보다 작은 기공(${\leq}0.4{\mu}m$)이 다량 생성되어 전해질 재분배를 일으켜 성능이 하락하는 문제점이 나타났다. 따라서 이러한 문제점을 해결하고자 전처리 조건을 변화시키며 실험을 수행하였다. 그 결과, 비활성 기체인 질소를 일정한 구간에 사용함으로써 기존 전처리에서 발생하였던 Ni-Al 합금의 상분리 현상을 억제할 수 있었으며 이로 인해 creep저항성 또한 향상시킬 수 있었다. 그러나 운전 중 생성되는 matrix기공크기보다 작은 기공(${\leq}0.4{\mu}m$) 형성비율은 억제할 수 없었다. 위의 전처리 조건을 가지고 단위전지 운전실험을 하였고, 전해질 함침비율을 조절함에 따라 성능을 향상시킬 수 있었으며 2000시간 동안 일정하게 유지함을 확인하였다. 이로부터 기존의 소성전극과 비교하여 많은 장점을 가지고 있는 in-situ 소결법의 가능성을 확인할 수 있었다.

반응가스조성이 PET기판위에 ECR 화학증착법에 의해 제조된 SnO2 박막특성에 미치는 영향 (Reaction Gas Composition Dependence on the Properties of SnO2 Films on PET Substrate by ECR-MOCVD)

  • 김연석;이중기
    • 전기화학회지
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    • 제8권3호
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    • pp.139-145
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    • 2005
  • 전자싸이크로트론공명(ECR: Electro Cyclotron Resonance)상온화학증착법에 의해 PET 폴리머기판위에 $SnO_x$ 박막을 제조하고, Sn의 전구체인 TMT(Tetra-methyl Tin)에 대한 산소와 수소의 몰 비 변화가 박막의 특성에 미치는 영향을 조사하였다 비화학양론적인 결합에 의해 성장된 투명 주석 산화막은 주입되는 산소/TMT, 수소/TMT몰 비에 의하여 조성비가 결정되고, 결정된 조성비에 의해 전기적 성질이 결정되는 것을 확인할 수 있었다. 산소/TMT의 몰 비 변화에 대하여 PET(polyethylene terephthalate)에 증착된 $SnO_x$ 박막의 최적 조성비는 1:2.4이다. 조성비는 반응에 참가하는 산소의 양이 증가할수록 점차적으로 증가하고, 과량의 몰 비로 산소가 주입될 경우 박막내의 Sn과 결합하지 않고 잉여 산소전하밀도를 증가시켜 bulk한 박막을 형성해 전기 비저항을 증가시키는 주요 원인이 된다. 수소/TMT의 몰 비는 산소 몰 비와 같이 증착되는 $SnO_x$의 몰 비에 영향을 주어 조성비를 변화시킴으로서 전기비저항을 결정하는데 크게 기여한다. 반응기내에 공급되는 수소량이 적으면 TMT의 불완전한 분해를 초래하여 반응에 필요한 $Sn^+$ 이온농도가 낮아지게 되고,상대적으로 잉여 산소함량이 증가하면서 높은 저항을 나타낸다. 임계값 이상으로 많은 양의 수소를 공급하면 플라즈마 내에 존재하는 $O^-$ 이온을 환원시켜 주석 산화막의 형성에 필요한 $O^-$ 이온의 감소로 전기저항이 오히려 증가하게 된다. 따라서 박막의 Sn:O의 조성비는 주입되는 산소량이 증가할수록 더욱 큰 값을 갖게 되고, 주입되는 수소량이 증가할수록 작은 값을 갖게 된다. 본 연구범위에서 TMP에 대한 산소의 몰 비는 80배, 수소의 몰 비는 40배일 때 가장 투명도와 전기전도도를 지니는 박막 특성을 나타내었다.