A Study on the Corner Effect of Fin-type SONOS Flash Memory Using TCAD Simulation (TCAD 시뮬레이션을 이용한 Fin형 SONOS Flash Memory의 모서리 효과에 관한 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.25 no.2
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- pp.100-104
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- 2012