Characteristics of $SiN_x$ films on wet-etched Si for field emission device
(전계 방출 소자용으로 제조한 단결정 실리콘 기판에 증착된 실리콘 질화막에 대한 특성 연구)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 1995.07c
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- pp.1137-1139
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- 1995