• 공기청정기술
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• 제17권4호통권67호
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• pp.39-57
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• 2004

첨단산업으로 불리는 반도체, LCD, PDP, 유기EL(OLED) 등의 생산 공정은 고도의 청정상태를 요구하며, 때문에 이들의 생산공정 중 대부분이 클린룸 내에서 이루어진다. 클린룸 내에서의 주요공정은 크게 박막형성(Layering), 노광(Photo Lithography), 식각(Etching) 등 3가지 공정으로 나눌 수 있으며, 반도체 제조공정의 경우 특별히 도핑(Doping) 공정이 추가된다. 오염물질을 함유하는 클린룸 배기는 일반적으로 산, 알칼리, Toxic(PFCs, Flammable), VOC 등으로 분류하며, 각각의 배기는 각 배기특성에 맞는 오염제어 장치를 통해, 정화된 후, 대기로 방출된다. 산, 알칼리 배기는 일반적으로 최종 단계에서 중앙집중식 습식스크러버에 의해 흡수, 중화 처리되며, VOC의 경우 농축기(Concentrator) & 축열식 열 산화장치(RTO) 설비에 의해 연소 처리된다. 하지만 CVD공정으로부터의 배기가 주를 이루는 Toxic배기의 경우, 다량의 PFCs(과불소화합물) 가스를 함유하고 있는 이유로, 대부분 클린룸 내부에 P.O.U(Point of use) 처리장치가 설치되며, P.O.U에 의해 1차 처리된 후 최종적으로 중앙집중식 습식스크러버를 거쳐 대기로 방출된다. 알칼리배기의 주성분으로는 암모니아($NH_3$), HMDS (Hexa Methyl DiSilazane), TMAH (Tetra Methyl Ammonium Hydroxide), LGL, CD 등이며 흡수액에 황산(Sulfuric Acid)용액을 공급, 중화처리하고 있다. 탄소성분을 먹이로 하는 미생물의 번식에 의한 막힘 문제를 제외하고는 큰 문제가 없다. 하지만 Toxic배기 및 산배기의 경우 처리효율이, 가스흡수 이론에 의한 계산결과와 비교할 때, 매우 저조하게 나타나는 효율부족 현상을 겪고 있으며, 이는 잔여 PFCs 가스성분 및 반응에어로졸, 응축에어로졸 등의 영향으로 추정하고 있다. 최근 Toxic 배기의 경우, P.O.U 설비를 Burn & Wet type으로 변경하여, 배기 중 PFCs 및 반응에 에어로졸($SiO_2$)의 농도를 원천적으로 감소시키는 노력이 진행 중이다. 산배기의 경우, 산결로 현상에 의한, 응축에어로졸이 문제가 되고 있으나 내식열교환기(Anti-Corrosive Heat Exchanger), 하전액적스크러버 시스템(Charged Droplets Scrubber System), Wet ESP(Wet Electrostatic Procipitator) 등의 도입을 통해 문제해결을 위한 노력을 경주하고 있다.

• 보존과학회지
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• 제7권2호
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• pp.54-59
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• 1998

경기도 박물관에서 소장하고 있는 상복의 용도를 의복의 형태와 FT-IR 분광법에 의한 비섬유질 추출물의 분석으로 조사하였으며, 상복에 사용된 섬유의 감별을 위해서 현미경법, 용해법, 정색법을 적용하였다. 음이온계 세제인 LAS 계 세제를 사용하여 습식세척 후, 전자주사현미경으로 섬유표면에서의 세척 효과를 살펴보았다. 이상의 연구에서 다음과 같은 결론을 얻었다. 의복의 형태와 비섬유질추출성분 분석 결과 수의가 아니라 상복임이 확인되었다. 비섬유질 추출성분들은 탄화수소계, 알킬 알콜, 알데히드로 수의에서 발견될 가능성이 높은 지방산과 질소화합물들이 전혀 검출되지 않았다. 섬유 감별 결과 섬유의 종류는 삼베였다. 세척후의 섬유 표면이 세척 이전의 섬유표면에 비해서 매끄럽고 이물질의 부착이 거의 없는 것으로 보아 세척 효과는 높았음을 알 수 있었다.

• Korean Chemical Engineering Research
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• 제45권2호
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• pp.203-207
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• 2007

불산과 오존 세정 시 실리콘 웨이퍼 표면의 미세입자를 효과적으로 제거할 수 있는 세정 방법에 대하여 연구하였다. 불산의 농도가 0.3 vol% 이상이 되어야 미세입자가 제거 되었으며, 초음파가 인가된 오존수를 사용 시 제거 효율은 증가되었다. 오존과 불산 세정 단계 이후에 추가로 극미량의(0.01 vol%) 희석 암모니아수 세정을 하면 미세입자가 99%이상 제거됨을 확인하였다. 이는 암모니아수에 의한 웨이퍼 표면의 미세 에칭 효과와 알칼리 영역에서의 재흡착 방지 효과가 동시에 작용함에 기인된다고 보인다. 한편, 불산-오존-희석 암모니아수 세정은 통상의 SC-1 세정과 비교할 때 표면 미세 거칠기가 개선되는 경향을 보였다. 불산-오존-희석 암모니아수 세정은 상온에서도 미세입자를 효과적으로 제거할 수 있는 세정 방법으로, 고온 공정 및 과다한 화학액을 사용하는 기존 습식세정의 대안으로서 기대된다.

• 보존과학회지
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• 제33권2호
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• pp.97-106
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• 2017

본 연구는 출토직물의 세척을 위한 천연계면활성제 선정을 위하여 그 특성과 세척성을 알아보는데 목적이 있다. 이를 위해 대조군으로 합성계면활성제인 SDS (Sodium dodecyl sulfate)와 천연계면활성제 중 LES (Disodium laurethsulfosuccinate), apple wash (Sodium cocoyl apple amino acids), tea saponin (Saponin), cornacopa (Decyl glucoside), coco betain (Cocamidopropyl betaine) 등 5종을 선별하여 계면활성제의 FT-IR (Fourier transform infrared spectroscopy) 분석으로 구조를 확인하고, pH와 표면장력 측정으로 특성을 파악하였다. 인공오염포 4종과 출토직물편에 대한 세척성 실험을 수행하였다. 그 결과 인공오염포에 대해서는 apple wash, tea saponin, cornacopa가 세척성에 있어서 SDS만큼 좋은 것으로 나타났으며 출토직물편에 대해서는 tea ssponin과 coco betain의 세척성이 좋은 것으로 나타났다. 따라서 세제의 안전성과 세척성을 감안할 때 천연계면활성제 중 tea saponin이 출토복식 세척을 위한 천연계면활성제로써 적합한 것으로 사료되었다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제28권2호
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• pp.45-50
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• 2021

Flip chip 제품의 난이도 증가에 따라 solder wetting 및 신뢰성 관점에서 강점을 갖는 flux 소재에 대한 관심이 높아지고 있다. 지용성 flux의 경우 별도의 세정 공정이 없기 때문에 공정 효율화 측면에서 유리하나, 리플로우 공정이후 반응을 마친 잔여물이 잔존하게 되는 경우 Cu migration 및 delamination을 발생시킬 수 있다. 본 연구에서는 저잔사 flux 구현을 위해 신규 resin에 적합한 solvent 및 activator를 변경 하였으며, package 환경에서 non-wet 및 신뢰성 개선 유무를 확인하였다. 저장 안정성 평가를 통해 신규 소재에 대한 안정성을 확보하였으며, boiling point가 상이한 solvent와 activator 2종 적용 및 activator 함량 증대를 통해 non-wet 미 발생 flux 소재를 확보하였다. 해당 소재에 대한 신뢰성 검증 이후 평면 분석 결과 flux residue 기인성 delamination 현상은 발견되지 않았으며, 이를 통해 저잔사 flux에 대한 최종 조성을 확보하였다.

• 보존과학연구
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• 통권33호
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• pp.125-148
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• 2012

월정사팔각구층석탑 부재인 화강암의 구성광물은 석영, 사장석, 미사장석, 흑운모이다. 이 석탑은 금속 장식물과 보조물에서 생성된 녹흔에 의한 황갈색 변색과 기단부와 옥개석 상부에 서식하는 침해생물로 인하여 표면이 훼손되어 있다. 세척 예비실험 결과 옥살산을 사용한 습포법은 제거횟수에 따라 철이온의 용출량이 증가하고 암석의 구성성분인 Mg, Al, Ca 이온의 용출량은 미약하므로 이 세척법은 제거횟수가 증가함에 따라 제거효과가 높고 암석에 끼치는 영향은 미미하다고 판단된다. 침해생물 제거에 이용한 건식세척은 생물제거는 가능하나 미소토양 제거가 어렵고, 증류수를 사용한 습식세척은 미소토양 제거가 가능하였다. 이를 근거로 보존 처리에서 침해생물은 건식세척과 습식세척으로 제거하였고 녹흔은 옥살산을 사용한 습포법으로 제거하였다. 그리고 녹흔의 원인이 되는 금속물의 녹을 물리적으로 제거한 후 철제 금속물은 renaissance wax를 사용하고, 동제 금속물은 B.T.A법을 사용하여 방청처리 하였다.

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2003년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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• pp.126-126
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• 2003

유기트랜지스터에 관한 연구는 1980년 이후부터 시작되었으나 근래에 들어 전 세계적으로 본격적인 연구가 진행되고 있다. 제작공정이 간단하고 비용이 저렴하며 충격에 의해 깨지지 않고 구부리거나 접을 수 있는 전자 회로 기판이 미래의 산업에 필수적인 요소가 될 것으로 예상되고 있으며 이러한 요구를 충족시킬 수 있는 유기트랜지스터의 개발은 아주 중요한 연구분야로 대두되고 있다. 본 연구에서는 표면처리에 따른 contact angle, I-V 특성곡선, 표면 morphology 등의 결과로부터 dry cleaning 한 것이 wet cleaning한 것보다 왜 좋은지를 논하고자 한다. 먼저 N-type SiO$_2$ 기판을 이용하여 back면의 oxide층을 제거한 후, back gate용으로 사용하기 위하여 sputtering장치로 Au/Cr을 증차하였다. 그리고 기판에 앞면을 photolithography 공정을 이용하여 Au/Cr를 1000$\AA$ 증착 하여 source-, drain-eldctrode를 제조하였다. 그리고 SiO$_2$ 기판의 표면처리를 달리하여 그 위에 유기박막을 증착하여 특성을 비교하였다.

• 복식문화연구
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• 제11권6호
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• pp.902-912
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• 2003

The purpose of this research was two-folds; first, to investigate the type of soil contaminated in the Hunsang excavated from the Milchang-gun burial of Mapo for the purpose of proposing the adequate washing method, second, to utilize the chemical degradation result obtained from the previous research to identify the natural dye source used in the Hunsang textile. The application of KS K0251 test showed that the soil was more oleophilic than hydrophilic thus indicating that wet cleaning was more adequate that dry cleaning for the removal of Hunsang soil. The GC-MS result of the Hunsang extraction showed dimethyl phthalate and 2,4-di-tert-butylphenol as its degradation product and these coincided with the degradation products from the alizarin standard data of previous research. The comparison of the two suggested that it is likely that Hunsang was dyed with madder which has alizarin as its major chromophore.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 1999년도 추계학술대회 논문집
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• pp.617-620
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• 1999

To reduce the consumption of chemicals and ultra pure water(UPW) in cleaning process used in device manufacturing, we proposed wet processes that use electrolytic ionized water(EIW), which is generated by electrolysis of a diluted electrolyte solution or UPW and systemically investicate the EIW\`s characteristics. EIW\`s pH values are increased in cathode chamber and decreased in anode chamber according to the electrolysis time and its varied ratio is reduced with time increasement. The variation of pH and ORP is increased accordin to the applied voltage until critical voltage. But more than that voltage, the variation is decreased because of ion\`s scattering effect. When electrolyte is added, the effects of electrolysis is increased because electrolyte acts as catalyst. But when the density of electrolyte is increased more than critical value, ion\`s flowage is obstructed and the effects of electrolysis is decreased.

• Fibers and Polymers
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• 제6권4호
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• pp.318-321
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• 2005

Demand for the fabric wipes is growing continuously. Wipes in industry are used for cleaning purpose. Cleaning involves rubbing action, so it is very important to know how much frictional force is encountered during the cleaning action. In this study the effects of normal load, sliding speed on frictional characteristics of nonwoven and woven wipes, both dry and wetted with different liquids, against glass and floor tile surfaces have been reported. With the increase in the normal load the coefficient of friction goes on decreasing for both nonwoven and woven wipes and this trend is observed in both dry and wet wipes. The coefficient of friction of both nonwoven and woven wipes against glass surface is in general higher than the floor tile surface. The wipes wetted with water shows an increase in coefficient of friction as compared to dry sample, but there is reduction in the coefficient of friction when the wipe samples are wetted with vegetable oil. In case of dry wipes, the coefficient of friction in case of nonwoven wipe is higher than the woven wipe. In case of woven wipes, the ranges of coefficient of friction either due to change in liquid type, normal load or sliding speed are in general smaller than that in case of nonwoven fabrics.